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광을 출사하는 광원과; 상기 광원에서 출사되는 광을 측정 대상물에 집속시키는 대물렌즈와; 상기 대물렌즈에 의해 상기 측정 대상물에 집속된 후 반사되어 나온 광의 경로를 변화시키는 분할기와; 비점수차렌즈로 이루어지며 상기 분할기에 의해 경로가 변화된 광을 집속시키는 집광렌즈와; 상기 집광렌즈에 의해 집속된 광의 광량을 측정하는 광검출기와; 상기 집광렌즈에 의해 집속되는 광의 경로 상에 위치하도록 상기 집광렌즈와 상기 광검출기 사이에 설치되는 슬릿을 구비하는 것을 특징으로 하는 단행정 변위측정센서
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제1항에 있어서, 상기 비점수차렌즈는 원통 렌즈와 볼록렌즈의 조합으로 구성된 렌즈인 것을 특징으로 하는 단행정 변위측정센서
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제1항에 있어서, 상기 광검출기는 사분할 광검출기인 것을 특징으로 하는 단행정 변위측정센서
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측정 대상물에 고정설치되며 일정한 주기와 길이를 갖는 격자와; 광을 출사하는 광원과, 상기 광원에서 출사되는 광을 상기 격자에 집속시키는 대물렌즈와, 상기 대물렌즈에 의해 상기 격자에 집속된 후 반사되어 나오는 광의 경로를 변화시키는 분할기와, 비점수차렌즈로 이루어지며 상기 분할기에 의해 경로가 변화된 광을 집속시키는 집광렌즈와, 상기 집광렌즈에 의해 집속된 광의 초점 근처에서의 광량을 측정하는 광검출기와, 상기 집광렌즈에 의해 집속되는 광의 경로 상에 위치하도록 상기 집광렌즈와 상기 광검출기 사이에 설치되는 슬릿을 포함하는 단행정 변위측정센서와; 상기 단행정 변위측정센서가 상기 격자의 길이 방향과 나란하게 직선운동 가능하도록 상기 단행정 변위측정센서에 부착설치되는 직선운동가이드를 구비하는 것을 특징으로 하는 장행정 직선변위측정센서
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제6항에 있어서, 상기 비점수차렌즈는 원통 렌즈와 볼록렌즈의 조합으로 구성된 렌즈인 것을 특징으로 하는 장행정 직선변위측정센서
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제6항에 있어서, 상기 광검출기는 사분할 광검출기인 것을 특징으로 하는 장행정 직선변위측정센서
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회전가능한 디스크의 앞면에 설치되며, 일정한 주기의 격자를 가지는 격자디스크와; 상기 디스크의 측면으로 광을 출사하는 광원과, 상기 광원에서 출사되는 광을 상기 격자디스크에 집속시키는 대물렌즈와, 상기 대물렌즈에 의해 상기 격자디스크에 집속된 후 반사되어 나오는 광의 경로를 변화시키는 분할기와, 비점수차렌즈로 이루어지며 상기 분할기에 의해 경로가 변화된 광을 집속시키는 집광렌즈와, 상기 집광렌즈에 의해 집속된 광의 초점 근처에서의 광량을 측정하는 광검출기와, 상기 집광렌즈에 의해 집속되는 광의 경로 상에 위치하도록 상기 집광렌즈와 상기 광검출기 사이에 설치되는 슬릿을 포함하는 단행정 변위측정센서; 를 구비하는 것을 특징으로 하는 장행정 회전변위측정센서
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회전가능한 디스크의 측면에 설치되며, 일정한 주기의 격자를 가지는 격자디스크와; 상기 격자디스크의 측면에 광을 출사하는 광원과, 상기 광원에서 출사되는 광을 상기 격자디스크에 집속시키는 대물렌즈와, 상기 대물렌즈에 의해 상기 격자디스크에 집속된 후 반사되어 나오는 광의 경로를 변화시키는 분할기와, 비점수차렌즈로 이루어지며 상기 분할기에 의해 경로가 변화된 광을 집속시키는 집광렌즈와, 상기 집광렌즈에 의해 집속된 광의 초점 근처에서의 광량을 측정하는 광검출기와, 상기 집광렌즈에 의해 집속되는 광의 경로 상에 위치하도록 상기 집광렌즈와 상기 광검출기 사이에 설치되는 슬릿을 포함하는 단행정 변위측정센서; 를 구비하는 것을 특징으로 하는 장행정 회전변위측정센서
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제11항 또는 제12항에 있어서, 상기 비점수차렌즈는 원통 렌즈와 볼록렌즈의 조합으로 구성된 렌즈인 것을 특징으로 하는 장행정 회전변위측정센서
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제11항 또는 제12항에 있어서, 상기 광검출기는 사분할 광검출기인 것을 특징으로 하는 장행정 회전변위측정센서
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