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생체용 플라스틱 나노제너레이터 제조방법 및 이에 의해 제조된 나노제너레이터(Bio-Plastic Nanogenerator manufacturing method and Nanogenerator manufactured by the same)

  • 기술번호 : KST2015230917
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따른 생체용 플라스틱 나노제너레이터 제조방법은 층상기판 상에 압전물질층 및 금속층을 적층시켜 압전소자를 형성하는 단계; 상기 압전소자 상에 분리유도금속을 접합시키는 단계; 상기 층상기판을 제거하는 단계; 상기 압전소자를 플라스틱 기판 상에 전사시키는 단계; 및 상기 압전소자 상에 접합된 분리유도금속을 제거하는 단계;를 포함한다.
Int. CL H01L 41/25 (2013.01) H01L 41/22 (2006.01) H01L 41/338 (2013.01)
CPC H01L 41/25(2013.01) H01L 41/25(2013.01) H01L 41/25(2013.01) H01L 41/25(2013.01) H01L 41/25(2013.01)
출원번호/일자 1020140072387 (2014.06.13)
출원인 한국과학기술원, 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1622202-0000 (2016.05.12)
공개번호/일자 10-2015-0143978 (2015.12.24) 문서열기
공고번호/일자 (20160519) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.06.13)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
2 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이건재 대한민국 대전광역시 유성구
2 정보영 대한민국 서울특별시 서대문구
3 변명환 대한민국 대전광역시 유성구
4 황건태 대한민국 대전광역시 유성구
5 정창규 대한민국 대전광역시 유성구
6 박혜림 대한민국 서울특별시 서대문구
7 박혜원 대한민국 서울특별시 서대문구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 다해 대한민국 서울시 서초구 서운로**, ***호(서초동, 중앙로얄오피스텔)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
2 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.06.13 수리 (Accepted) 1-1-2014-0555545-19
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.09.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5114224-78
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
6 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2015.01.16 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
7 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2015.03.13 수리 (Accepted) 9-1-2015-0017745-57
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.08.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0547187-15
9 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2015.10.19 수리 (Accepted) 1-1-2015-1011362-15
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.11.16 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-1111915-76
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.11.16 수리 (Accepted) 1-1-2015-1111907-11
12 등록결정서
Decision to grant
2016.03.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0216874-23
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
생체용 플라스틱 나노제너레이터 제조방법으로서, 층상기판 상에 압전물질층 및 금속층을 적층시켜 압전소자를 형성하는 단계;상기 압전소자 상에 분리유도금속을 접합시키는 단계;상기 층상기판을 제거하는 단계;상기 압전소자를 플라스틱 기판 상에 전사시키는 단계; 및상기 압전소자 상에 접합된 분리유도금속을 제거하는 단계;를 포함하며,상기 층상기판을 제거하는 단계에서는,상기 분리유도금속의 잔류응력으로 인한 응력 부조화에 따라 상기 압전소자와 상기 층상기판과의 사이에서 박리가 일어나는 것을 특징으로 하는 생체용 플라스틱 나노제너레이터 제조방법
2 2
제 1 항에 있어서,상기의 압전소자를 상기 플라스틱 기판 상에 전사시키는 단계는,상기 플라스틱 기판의 양측 면에 압전소자를 각각 전사시키는 것을 특징으로 하는 생체용 플라스틱 나노제너레이터 제조방법
3 3
제 1 항에 있어서,상기 제조방법은,상기 압전소자의 금속층에 금속선을 연결시키는 단계; 및상기 압전소자를 밀봉부재로 밀봉시키는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 생체용 플라스틱 나노제너레이터 제조방법
4 4
제 1 항에 있어서,상기 층상 기판은 운모 기판이며, 상기 층상 기판의 제거는 물리적 방식의 박리에 의하는 것을 특징으로 하는 생체용 플라스틱 나노제너레이터 제조방법
5 5
제 4 항에 있어서,상기 층상 기판은 실리콘 웨이퍼 및 실리콘 옥사이드가 순차적으로 적층된 구조인 것을 특징으로 하는 생체용 플라스틱 나노제너레이터 제조방법
6 6
제 5 항에 있어서,상기 층상 기판의 제거는 상기 압전소자에 증착된 응력 분리 금속의 잔류 응력으로 인하여 상기 분리유도금속과 상기 상기 층상 기판과의 응력 방향의 차이가 발생함으로써 박리가 가능한 것을 특징으로 하는 생체용 플라스틱 나노제너레이터 제조방법
7 7
제 6 항에 있어서,상기 분리유도금속은 니켈(Ni)인 것을 특징으로 하는, 생체용 플라스틱 나노제너레이터 제조방법
8 8
제 1 항에 있어서,상기 분리유도금속을 제거하는 것은 에칭에 의한 것을 특징으로 하는, 생체용 플라스틱 나노제너레이터 제조방법
9 9
제 1 항에 있어서,상기 층상기판을 제거하는 단계는,상기 분리유도금속 상에 분리 테이프를 접합하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 생체용 플라스틱 나노제너레이터 제조방법
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