| 1 |
1
플렉서블 기재; 및상기 플렉서블 기재 상에 적층되는 복수의 압전 소자층;을 포함하며,상기 복수의 압전 소자층은 상기 플렉서블 기재의 상면에 적층되는 제1 압전 소자층 및 상기 제1 압전 소자층의 상면 또는 상기 플렉서블 기재의 하면에 적층되는 제2 압전 소자층을 포함하고,상기 제1, 2 압전 소자층 상에 각각 형성되는 전극; 및 상기 전극이 형성된 제1, 2 압전 소자층을 각각 코팅하는 보호층;을 더 포함하고,상기 제1,2 압전 소자층 각각의 두께는 2
|
| 2 |
2
제 1 항에 있어서,상기 복수의 압전 소자층은 광 감수성 접착제를 통해 상기 플렉서블 기재 상에 적층되거나 또는 각 압전 소자층 간에 적층되며,상기 제2 압전 소자층에서 상기 제1 압전 소자층을 향해 광이 조사되어 이루어지는,3차원 적층형 플렉서블 나노 제너레이터
|
| 3 |
3
제 1 항에 있어서,상기 복수의 압전 소자층은 압전 소자의 면적이 점점 감소하는 방향으로 적층이 이루어지는,3차원 적층형 플렉서블 나노 제너레이터
|
| 4 |
4
플렉서블 기재 상면에 제1 압전 소자층을 적층하는 단계;레이저 리프트 오프 공정을 이용하여 상기 제1 압전 소자층의 상단으로부터 희생기판을 제거한 이후에 상기 제1 압전 소자층 상에 전극을 형성하는 단계;상기 플렉서블 기재의 하면 상에 제2 압전 소자층을 적층하는 단계; 및레이저 리프트 오프 공정을 이용하여 상기 제2 압전 소자층의 상단으로부터 상기 희생기판을 제거한 이후에 상기 제2 압전 소자층 상에 전극을 형성하는 단계;를 포함하고,상기 제2 압전 소자층의 적층 단계에서는,광 감수성 접착제를 이용하여 상기 제2 압전 소자층을 부착한 후에 상기 제2 압전 소자층에서 상기 제1 압전 소자층으로 광을 조사하는,3차원 적층형 플렉서블 나노 제너레이터의 제조 방법
|
| 5 |
5
제 4 항에 있어서,상기 제1,2 압전 소자층의 적층 단계에서는 광 감수성 접착제를 통해 적층이 이루어지는,3차원 적층형 플렉서블 나노 제너레이터의 제조 방법
|
| 6 |
6
제 5 항에 있어서,상기 광 감수성 접착제는 UV로 경화되는 UV감수성 접착제인,3차원 적층형 플렉서블 나노 제너레이터의 제조 방법
|
| 7 |
7
제 6 항에 있어서,상기 제1 압전 소자층의 적층 단계에서는,상기 플렉서블 기재의 하부 측으로부터 광을 조사하는,3차원 적층형 플렉서블 나노 제너레이터의 제조 방법
|
| 8 |
8
제 4 항에 있어서,상기 제2 압전 소자층의 적층시에는 상기 제1 압전 소자층의 적층시보다 광을 더 긴시간 조사하는,3차원 적층형 플렉서블 나노 제너레이터의 제조 방법
|
| 9 |
9
제 4 항에 있어서,상기 제1, 2 압전 소자층을 보호하기 위하여 상기 제1, 2 압전 소자층 각각의 상면 상에 보호층을 형성하는 단계를 더 포함하는, 3차원 적층형 플렉서블 나노 제너레이터의 제조 방법
|
| 10 |
10
제 4 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 따라 제조된 플렉서블 나노 제너레이터를 포함하는 유비쿼터스 및 무선 모바일 장치
|
| 11 |
11
제 4 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 따라 제조된 플렉서블 나노 제너레이터를 포함하는 웨어러블 전자소자
|
