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플라스틱 나노제너레이터 제조방법으로서, 층상기판 상에 압전물질층 및 금속층을 적층시켜 압전소자를 형성하는 단계;상기 압전소자 상에 분리유도금속을 접합시키는 단계;상기 층상기판을 제거하는 단계;상기 압전소자를 플라스틱 기판 상에 전사시키는 단계; 및상기 압전소자 상에 접합된 분리유도금속을 제거하는 단계;를 포함하며,상기 압전물질층은 단결정 PMN-PT (Pb(Mg1/3Nb2/3)O3 - PbTiO3)를 포함하는 것을 특징으로 하는, 플라스틱 나노제너레이터 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기의 압전소자를 상기 플라스틱 기판 상에 전사시키는 단계는,상기 플라스틱 기판의 양측 면에 압전소자를 각각 전사시키는 것을 특징으로 하는, 플라스틱 나노제너레이터 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 제조방법은,상기 압전소자의 금속층에 금속선을 연결시키는 단계; 및상기 압전소자를 밀봉부재로 밀봉시키는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 플라스틱 나노제너레이터 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 층상 기판은 운모 기판이며, 상기 층상 기판의 제거는 물리적 방식의 박리에 의하는 것을 특징으로 하는, 플라스틱 나노제너레이터 제조방법
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제 4 항에 있어서,상기 층상 기판은 실리콘 웨이퍼 및 실리콘 옥사이드가 순차적으로 적층된 구조인 것을 특징으로 하는, 플라스틱 나노제너레이터 제조방법
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제 5 항에 있어서,상기 층상 기판의 제거는 상기 압전소자에 증착된 응력 분리 금속의 잔류 응력으로 인하여 상기 분리유도금속과 상기 상기 층상 기판과의 응력 방향의 차이가 발생함으로써 박리가 가능한 것을 특징으로 하는, 플라스틱 나노제너레이터 제조방법
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제 6 항에 있어서,상기 분리유도금속은 니켈(Ni)인 것을 특징으로 하는, 플라스틱 나노제너레이터 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 분리유도금속을 제거하는 것은 에칭에 의한 것을 특징으로 하는, 플라스틱 나노제너레이터 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 층상기판을 제거하는 단계는,상기 분리유도금속 상에 분리 테이프를 접합하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는, 플라스틱 나노제너레이터 제조방법
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제 1 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 따른 제조방법을 이용하여 제조된, 플라스틱 나노제너레이터
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제 10 항에 있어서,상기 플라스틱 나노제너레이터는 상기 플라스틱 기판 상에 상기 압전 소자가 놓여 있는 것을 특징으로 하는, 플라스틱 나노제너레이터
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제 10 항에 있어서,상기 압전소자는 상기 압전물질층을 중심으로 하여 그 양측면에 상기 금속층이 배치되는 것을 특징으로 하는, 플라스틱 나노제너레이터
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제 10 항에 있어서,상기 금속층은 상기 압전물질층 상에서 공간적으로 분리 이격된 구조인 것을특징으로 하는, 플라스틱 나노제너레이터
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제 10 항에 따른 플라스틱 나노제너레이터를 포함하는 에너지 수확기로서,상기 에너지 수확기는 진동, 음파, 구부러짐, 수축, 신장 등을 포함하는 주위의 물리적인 에너지를 수확(harvest)하여 전기에너지로 변환하고 이를 저장(Storage)하는 것을 특징으로 하는, 에너지 수확기
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제 10 항에 따른 플라스틱 나노제너레이터를 포함하는, 유비쿼터스 및 무선 모바일 장치
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