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제1 기판;상기 기판 상에 구비되며, 제1 전극, 제2 전극 및 상기 제1 전극과 제2 전극 사이에 구비된 중간층을 포함한 유기 발광 소자;상기 유기 발광 소자를 덮으며, 상기 제1 기판과 마주보도록 배치되는 제2 기판; 및상기 제1 기판과 상기 제2 기판을 접합시키는 실런트;를 포함하고,상기 실런트의 적어도 일부분은 유기물에 무기물이 침투되어 형성된 혼합막인, 유기 발광 표시 장치
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제1 항에 있어서,상기 실런트는,상기 유기물의 자유체적(Free volume)에 상기 무기물이 채워져서 상기 혼합막을 형성하는, 유기 발광 표시 장치
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제1 항에 있어서,상기 유기물은 아크릴계 수지, 메타크릴계 수지, 폴리이소프렌, 비닐계 수지, 에폭시계 수지, 우레탄계 수지, 셀룰로오스계 수지 및 페릴렌계 수지로 이루어진 군으로부터 선택되는 하나 이상의 물질로 형성되는, 유기 발광 표시 장치
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제1 항에 있어서,상기 무기물은 실리콘 질화물, 알루미늄 질화물, 지르코늄 질화물, 티타늄 질화물, 하프늄 질화물, 탄탈륨 질화물, 실리콘 산화물, 알루미늄 산화물, 티타늄 산화물, 주석 산화물, 세륨 산화물 및 실리콘 산화질화물 (SiON)로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상의 물질로 형성되는, 유기 발광 표시 장치
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제1 항에 있어서,상기 혼합막은 순차기상침투법을 이용하여 상기 무기물을 상기 유기물에 침투시킨, 유기 발광 표시 장치
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제1 항에 있어서,상기 혼합막의 두께는 상기 유기물에 의해 형성된 유기막의 두께보다 작게 형성되는, 유기 발광 표시 장치
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제1 항에 있어서,상기 혼합막은 상기 실런트의 외측에 형성되는, 유기 발광 표시 장치
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제 1항에 있어서,상기 실런트의 단위부피당 상기 무기물의 부피는 상기 유기 발광 표시 장치의 최외곽에서 내측 방향으로 감소하는,유기 발광 표시 장치
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9
제1 기판;상기 기판 상에 구비되며, 제1 전극, 제2 전극 및 상기 제1 전극과 제2 전극 사이에 구비된 중간층을 포함한 유기 발광 소자;상기 유기 발광 소자를 덮으며, 상기 제1 기판과 마주보도록 배치되는 제2 기판; 및상기 제1 기판과 상기 제2 기판을 접합시키며, 상호 마주보도록 배치되는 제1 실런트와 제2 실런트를 포함하고,상기 제1 실런트 및 상기 제2 실런트 중 적어도 하나는,일부분의 유기물에 무기물이 침투되어 형성된 혼합막을 구비하는, 유기 발광 표시 장치
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제9 항에 있어서,상기 제1 실런트는 제1 유기물의 자유체적(Free volume)에 제1 무기물이 채워져서 제1 혼합막을 형성하고,상기 제2 실런트는 제2 유기물의 자유체적에 제2 무기물이 채워져서 제2 혼합막을 형성하는, 유기 발광 표시 장치
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제10 항에 있어서,상기 제1 혼합막 및 상기 제2 혼합막 중 적어도 하나는 순차기상침투법을 이용하여 형성되는, 유기 발광 표시 장치
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제10 항에 있어서,상기 제1 유기물 및 상기 제2 유기물은 서로 독립적으로 아크릴계 수지, 메타크릴계 수지, 폴리이소프렌, 비닐계 수지, 에폭시계 수지, 우레탄계 수지, 셀룰로오스계 수지 및 페릴렌계 수지로 이루어진 군으로부터 선택되는 하나 이상의 물질로 형성되는, 유기 발광 표시 장치
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제10 항에 있어서,상기 제1 무기물 및 상기 제2 무기물은 실리콘 질화물, 알루미늄 질화물, 지르코늄 질화물, 티타늄 질화물, 하프늄 질화물, 탄탈륨 질화물, 실리콘 산화물, 알루미늄 산화물, 티타늄 산화물, 주석 산화물, 세륨 산화물 및 실리콘 산화질화물 (SiON)로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상의 물질로 형성되는, 유기 발광 표시 장치
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제10 항에 있어서,상기 제1 혼합막 및 상기 제2 혼합막은 상기 유기 발광 표시 장치의 외측을 향하도록 배치되는, 유기 발광 표시 장치
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제 9항에 있어서,상기 제1 혼합막은 상기 유기 발광 소자를 향해서 형성되고, 상기 제2 혼합막은 유기 발광 표시 장치의 외곽을 향해서 형성되는, 유기 발광 표시 장치
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유기 발광 소자가 형성된 제1 기판을 준비하는 단계;실런트로 상기 제1 기판과 제2 기판을 접합하여 상기 유기 발광 소자를 덮는 단계;를 포함하고,상기 실런트는 순차기상침투법을 이용하여 유기물에 무기물을 침투시켜 형성되는, 유기 발광 표시 장치 제조 방법
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제16 항에 있어서,상기 실런트는 챔버의 내부에 배치되고, 상기 무기물이 기체 상태로 상기 챔버의 내부에 주입되어 상기 무기물이 상기 유기물의 자유체적에 확산되는, 유기 발광 표시 장치 제조 방법
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제17 항에 있어서,상기 무기물은,소스 기체가 상기 유기물의 자유체적에 확산되고, 이후 반응 기체가 상기 유기물의 자유체적에 확산되어 상기 소스 기체와 반응하는, 유기 발광 표시 장치 제조 방법
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