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(a) 복수의 센서셀에서 측정된 각각의 셀 데이터로부터 다축의 힘을 측정하고 센서 보정을 위한 기준 데이터를 제공하는 레퍼런스 다축 힘센서와 상기 레퍼런스 다축 힘센서에 형성된 복수의 센서셀과 같은 센서셀 배치를 가지는 복수의 센서셀에서 측정된 각각의 셀 데이터로부터 다축의 힘을 측정하는 피보정 다축 힘센서에 대해 힘을 인가하여 상기 힘에 따른 상기 레퍼런스 다축 힘센서의 셀 데이터와 상기 피보정 다축 힘센서의 셀 데이터를 측정하는 단계;(b) 상기 측정된 레퍼런스 다축 힘센서의 셀 데이터와 피보정 다축 힘센서의 셀 데이터로부터 상기 레퍼런스 다축 힘센서의 센서셀과 대응하는 상기 피보정 다축 힘센서의 센서셀 사이의 대응관계를 나타내는 제 1 관계식을 생성하고 상기 레퍼런스 다축 힘센서의 셀 데이터와 상기 레퍼런스 다축 힘센서로부터 측정된 다축의 힘 사이의 변환관계를 나타내는 제 2 관계식을 생성하는 단계; 및(c) 상기 피보정 다축 힘센서에 인가된 힘에 대한 셀 데이터를 측정하고 상기 제 1 관계식과 상기 제 2 관계식을 이용하여 상기 셀 데이터로부터 보정된 다축의 힘을 구하는 단계를 포함하는 다축 힘센서의 보정방법
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제 1 항에 있어서,상기 레퍼런스 다축 힘센서와 상기 피보정 다축 힘센서는 각각 수직 방향의 힘을 측정하는 3개의 수직항력 센서셀과 수평 방향의 힘을 측정하는 3개의 전단력 센서셀로 형성되어 6축의 힘을 측정하는 다축 힘센서의 보정방법
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 관계식은 피팅 알고리즘으로 생성되는 다축 힘센서의 보정방법
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제 1 항에 있어서,상기 제 2 관계식은 AX=Y를 만족하는 행렬식으로 정의되고, 여기서 행렬 X는 입력되는 다축 힘센서의 셀 데이터를 나타내고 행렬 Y는 출력되는 다축의 힘을 나타내고 행렬 A는 다축 힘센서의 셀 데이터와 다축 힘 사이의 보정 및 변환 관계를 나타내는 변환행렬을 나타내는데, 상기 레퍼런스 다축 힘센서의 셀 데이터를 상기 행렬 X에 입력하고 상기 레퍼런스 다축 힘센서에서 측정된 다축의 힘 값을 상기 행렬 Y에 대입하여 상기 행렬 A를 구하는 다축 힘센서의 보정방법
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제 1 항에 있어서,상기 제 2 관계식은 AX=Y를 만족하는 행렬식으로 정의되고, 여기서 행렬 X는 입력되는 다축 힘센서의 셀 데이터를 나타내고 행렬 Y는 출력되는 다축의 힘을 타나내고 행렬 A는 다축 힘센서의 셀 데이터와 다축 힘 사이의 보정 및 변환 관계를 나타내는 변환행렬을 나타내는데, AX-Y=Error로 정의하고 Error의 값이 최소가 되도록 하는 행렬 A를 구하는데, 상기 레퍼런스 다축 힘센서의 셀 데이터를 상기 행렬 X에 입력하고 상기 레퍼런스 다축 힘센서에서 측정된 다축의 힘 값을 상기 행렬 Y에 대입하여 상기 행렬 A를 구하는 다축 힘센서의 보정방법
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제 5 항에 있어서,상기 행렬 A는 선형최소자승법(Linear least square method)으로 상기 Error의 값이 최소가 되도록 구하는 다축 힘센서의 보정방법
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제 1 항에 있어서,상기 (c) 단계는상기 (c) 단계에서 피보정 다축 힘센서에서 측정한 셀 데이터를 상기 제 1 관계식에 대입하여 상기 레퍼런스 다축 힘센서의 셀 데이터로 선형화된 데이터를 구하는 단계; 및상기 레퍼런스 다축 힘센서의 셀 데이터로 선형화된 데이터를 상기 제 2 관계식에 대입하여 상기 보정된 다축의 힘을 구하는 단계를 포함하는 다축 힘센서의 보정방법
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제 1 항에 있어서,상기 레퍼런스 다축 힘센서의 센서셀과 상기 피보정 다축 힘센서의 센서셀은 서로 마주하는 제 1 전극과 제 2 전극 사이에서 측정된 커패시턴스 값으로부터 상기 센서셀에 가해지는 힘을 측정하는 다축 힘센서의 보정방법
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복수의 센서셀에서 측정된 각각의 셀 데이터로부터 다축의 힘을 측정하고 센서 보정을 위한 기준 데이터를 제공하는 레퍼런스 다축 힘센서와 상기 레퍼런스 다축 힘센서에 형성된 복수의 센서셀과 같은 센서셀 배치를 가지는 복수의 센서셀에서 측정된 각각의 셀 데이터로부터 다축의 힘을 측정하는 피보정 다축 힘센서에 대해 힘을 인가하여 상기 힘에 따른 상기 레퍼런스 다축 힘센서의 셀 데이터와 상기 피보정 다축 힘센서의 셀 데이터를 측정하여, 상기 측정된 레퍼런스 다축 힘센서의 셀 데이터와 피보정 다축 힘센서의 셀 데이터로부터 상기 레퍼런스 다축 힘센서의 센서셀과 대응하는 상기 피보정 다축 힘센서의 센서셀 사이의 대응관계를 나타내는 제 1 관계식을 저장하는 제 1 관계식 저장부;상기 레퍼런스 다축 힘센서의 셀 데이터와 상기 레퍼런스 다축 힘센서로부터 측정된 다축의 힘 사이의 변환관계를 나타내는 제 2 관계식을 저장하는 제 2 관계식 저장부; 및상기 피보정 다축 힘센서로부터 측정된 셀 데이터를 입력받아 상기 제 1 관계식과 상기 제 2 관계식을 이용하여 보정된 다축의 힘을 구하는 보정연산부를 포함하는 다축 힘센서의 보정장치
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제 9 항에 있어서,상기 제 1 관계식은 피팅 알고리즘으로 생성되는 다축 힘센서의 보정장치
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제 9 항에 있어서,상기 제 2 관계식은 AX=Y를 만족하는 행렬식으로 정의되고, 여기서 행렬 X는 입력되는 다축 힘센서의 셀 데이터를 나타내고 행렬 Y는 출력되는 다축의 힘을 타나내고 행렬 A는 다축 힘센서의 셀 데이터와 다축 힘 사이의 보정 및 변환 관계를 나타내는 변환행렬을 나타내는데, 상기 레퍼런스 다축 힘센서의 셀 데이터를 상기 행렬 X에 입력하고 상기 레퍼런스 다축 힘센서에서 측정된 다축의 힘 값을 상기 행렬 Y에 대입하여 상기 행렬 A를 구하는 다축 힘센서의 보정장치
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제 9 항에 있어서,상기 제 2 관계식은 AX=Y를 만족하는 행렬식으로 정의되고, 여기서 행렬 X는 입력되는 다축 힘센서의 셀 데이터를 나타내고 행렬 Y는 출력되는 다축의 힘을 타나내고 행렬 A는 다축 힘센서의 셀 데이터와 다축 힘 사이의 보정 및 변환 관계를 나타내는 변환행렬을 나타내는데, AX-Y=Error로 정의하고 Error의 값이 최소가 되도록 하는 행렬 A를 구하는데, 상기 레퍼런스 다축 힘센서의 셀 데이터를 상기 행렬 X에 입력하고 상기 레퍼런스 다축 힘센서에서 측정된 다축의 힘 값을 상기 행렬 Y에 대입하여 상기 행렬 A를 구하는 다축 힘센서의 보정장치
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제 12 항에 있어서,상기 행렬 A는 선형최소자승법(Linear least square method)으로 상기 Error의 값이 최소가 되도록 구하는 다축 힘센서의 보정장치
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제 9 항에 있어서,상기 보정연산부는 피보정 다축 힘센서로부터 측정한 셀 데이터를 입력받아 상기 제 1 관계식에 대입하여 상기 레퍼런스 다축 힘센서의 셀 데이터로 선형화된 데이터를 구하고, 상기 레퍼런스 다축 힘센서의 셀 데이터로 선형화된 데이터를 상기 제 2 관계식에 대입하여 상기 보정된 다축의 힘을 구하는 다축 힘센서의 보정장치
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복수의 센서셀에서 측정된 각각의 셀 데이터로부터 다축의 힘을 측정하고 센서 보정을 위한 기준 데이터를 제공하는 레퍼런스 다축 힘센서;상기 레퍼런스 다축 힘센서에 형성된 복수의 센서셀과 같은 센서셀 배치를 가지는 복수의 센서셀에서 측정된 각각의 셀 데이터로부터 다축의 힘을 측정하는 피보정 다축 힘센서;상기 레퍼런스 다축 힘센서의 센싱 좌표축의 원점과 상기 피보정 다축 힘센서의 센싱 좌표축의 원점이 일치하도록 두 개의 다축 힘센서를 결합시키는 결합 지그;상기 레퍼런스 다축 힘센서 또는 상기 피보정 다축 힘센서 중 어느 하나에 결합되어 외부의 힘을 전달하는 힘전달 지그;상기 힘전달 지그에 힘을 인가하는 외력가진부;상기 외력가진부에 의해 인가되는 힘에 따른 상기 레퍼런스 다축 힘센서의 셀 데이터와 상기 피보정 다축 힘센서의 셀 데이터를 측정하여 저장하는 셀 데이터 저장부;상기 셀 데이터 저장부에 저장된 셀 데이터로부터 상기 레퍼런스 다축 힘센서의 센서셀과 대응하는 상기 피보정 다축 힘센서의 센서셀 사이의 대응관계를 나타내는 제 1 관계식을 생성하고 상기 레퍼런스 다축 힘센서의 셀 데이터와 상기 레퍼런스 다축 힘센서로부터 측정된 다축의 힘 사이의 변환관계를 나타내는 제 2 관계식을 생성하는 보정 관계식 생성부; 및상기 제 1 관계식과 제 2 관계식을 저장하는 보정 관계식 저장부를 포함하는 다축 힘센서의 보정장치
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제 15 항에 있어서,상기 레퍼런스 다축 힘센서와 상기 피보정 다축 힘센서는 각각 수직 방향의 힘을 측정하는 3개의 수직항력 센서셀과 수평 방향의 힘을 측정하는 3개의 전단력 센서셀로 형성되어 6축의 힘을 측정하는 다축 힘센서의 보정장치
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제 15 항에 있어서,상기 레퍼런스 다축 힘센서의 센서셀과 상기 피보정 다축 힘센서의 센서셀은 서로 마주하는 제 1 전극과 제 2 전극 사이에서 측정된 커패시턴스 값으로부터 상기 센서셀에 가해지는 힘을 측정하는 다축 힘센서의 보정장치
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제 15 항에 있어서,상기 외력가진부는 상기 힘전달 지그에 회전력을 가하여 상기 레퍼런스 다축 힘센서와 상기 피보정 다축 힘센서에 전단력을 가하는 전단력 인가부; 및상기 힘전달 지그에 수직항력을 가하여 상기 레퍼런스 다축 힘센서와 상기 피보정 다축 힘센서에 수직항력을 가하는 수직항력 인가부를 포함하는 다축 힘센서의 보정장치
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