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센서 보정을 위한 기준 데이터를 제공하며, 센싱 좌표축의 원점이 외부면에 형성되는 레퍼런스 다축 힘센서(120);외부면에 형성되는 센싱 좌표축의 원점이 상기 레퍼런스 다축 힘센서(120)의 센싱 좌표축의 원점과 일치하도록 상기 레퍼런스 다축 힘센서(120)와 결합되는 피보정 다축 힘센서(110); 및상기 결합된 레퍼런스 다축 힘센서(120)와 피보정 다축 힘센서(110)에 인가되는 힘에 의해 측정되는 상기 레퍼런스 다축 힘센서(120)의 센서 측정값 및 상기 피보정 다축 힘센서(110)의 센서 측정값을 이용하여 상기 피보정 다축 힘센서(110)의 센서 보정값을 구하는 센서 보정부를 포함하는 다축 힘센서 보정장치
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제 1 항에 있어서,상기 레퍼런스 다축 힘센서(120)와 상기 피보정 다축 힘센서(110)를 결합시키기 위한 결합 지그(130)를 더 포함하는 다축 힘센서 보정장치
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제 2 항에 있어서,상기 레퍼런스 다축 힘센서(120)와 상기 피보정 다축 힘센서(110)는 원통형으로 상부면 또는 하부면 중 어느 하나의 면에 각각 센싱 좌표축의 원점이 형성되고,상기 결합 지그(130)는상기 레퍼런스 다축 힘센서(120)와 상기 피보정 다축 힘센서(110) 중 어느 하나의 상기 센싱 좌표축이 형성된 면에 상기 결합 지그(130)를 고정시키도록 하는 제 1 결합구(134);상기 레퍼런스 다축 힘센서(120)와 상기 피보정 다축 힘센서(110) 중 상기 제 1 결합구(134)를 통해 고정되지 않는 다축 힘센서를 삽입시키도록 중공이 형성된 삽입구(132); 및상기 삽입구(132)에 삽입된 다축 힘센서를 상기 결합 지그(130)에 고정시키도록 하는 제 2 결합구(136)를 포함하는 다축 힘센서 보정장치
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제 1 항에 있어서,상기 레퍼런스 다축 힘센서(120) 또는 상기 피보정 다축 힘센서(110) 중 어느 하나에 결합되어 외부의 힘을 전달하는 힘전달 지그(140)를 더 포함하는 다축 힘센서 보정장치
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제 1 항에 있어서,상기 센서 보정부는 AX=Y를 만족하는 행렬식에서 상기 센서 보정값을 나타내는 행렬 A의 값을 구하는데, 여기서 행렬 X는 상기 피보정 다축 힘센서(110)에서 측정된 다축의 센서 측정값으로 구성되는 행렬이고, 행렬 Y는 상기 레퍼런스 다축 힘센서(120)에서 측정된 다축의 센서 측정값으로 구성되는 행렬인, 다축 힘센서 보정장치
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제 1 항에 있어서,상기 센서 보정부는 AX-Y=Error로 정의하고 Error의 값이 최소가 되도록 하는 행렬 A의 값을 구하는데, 여기서 행렬 A는 상기 센서 보정값을 나타내는 행렬이고, 행렬 X는 상기 피보정 다축 힘센서(110)에서 측정된 다축의 센서 측정값으로 구성되는 행렬이고, 행렬 Y는 상기 레퍼런스 다축 힘센서(120)에서 측정된 다축의 센서 측정값으로 구성되는 행렬인 다축 힘센서 보정장치
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제 6 항에 있어서,상기 센서 보정부는 선형최소자승법(Linear least square method)으로 상기 Error의 값이 최소가 되도록 하는 행렬 A의 값을 구하는 다축 힘센서 보정장치
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제 1 항에 있어서,상기 레퍼런스 다축 힘센서(120)와 상기 피보정 다축 힘센서(110)는 직교하는 3축에 대한 선형 방향의 세 개의 힘 및 회전 방향의 세 개의 모멘트 힘을 측정하는 6축 힘센서인 다축 힘센서 보정장치
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