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검출회로를 포함하는 기판(100);상기 기판(100)의 상면에 형성되는 고정반사판(200);상기 기판(100)의 상면에 형성되되, 상기 고정반사판(200)의 양측에 형성되는 금속 패드(300);상기 고정반사판(200)의 상측에 일정거리 이격되어 형성되는 흡수부(400); 및상기 고정반사판(200)과 흡수부(400) 사이에 형성되며, 상기 고정반사판(200)과 흡수부(400) 사이를 상하로 이동 가능한 이동반사판(500);을 포함하며,상기 이동반사판(500)은 입사되는 적외선의 파장에 따라 상하로 움직여 공기층(A)의 간격을 조절하고,상기 기판(100)은중앙의 소정 영역이 함몰 형성되고 상기 고정반사판(200)이 형성되는 함몰부(110), 상기 함몰부(110)의 외곽에 위치하여 상기 함몰부(110)의 상면보다 높은 위치의 외곽부(120), 상기 외곽부(120)의 상면에 형성되고, 상기 고정반사판(200)과 전기적으로 연결되는 제1가변패드(130) 및 상기 외곽부(120)의 상면에 형성되고, 상기 이동반사판(500)과 전기적으로 연결되는 제2가변패드(140)를 포함하며,상기 제1가변패드(130)와 제2가변패드(140)는 상기 이동반사판(500)과 물리적으로 연결되어 상기 이동반사판(500)을 지지하는 것을 특징으로 하는 파장 선택형 적외선 센서
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제 1항에 있어서, 상기 파장 선택형 적외선 센서는상기 금속 패드(300)와 흡수부(400)를 전기적으로 연결하면서 상기 흡수부(400)를 지지하는 지지부(600)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 파장 선택형 적외선 센서
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제 2항에 있어서, 상기 흡수부(400)는제1절연층(410), 금속층(420), 저항층(430) 및 제2절연층(440)이 순차적으로 적층된 구조이며,상기 지지부(600)는상기 흡수부(400)에서 측정한 센싱 신호를 상기 금속 패드(300)로 전달하는 것을 특징으로 하는 파장 선택형 적외선 센서
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제 2항에 있어서, 상기 지지부(600)는상기 금속패드(300)의 상측으로 연장 형성된 연결부(610),하면이 상기 연결부(610)에 결합되는 전극(620) 및상기 전극(620)의 상측에 형성되어, 상부가 상기 흡수부(400)와 서로 결합되는 앵커(630)를 포함하는 것을 특징으로 하는 파장 선택형 적외선 센서
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제1항에 있어서, 상기 이동반사판(500)은상기 제1가변패드(130)와 제2가변패드(140)와 각각 탄성연결체(150)를 통해 연결되는 것을 특징으로 하는 파장 선택형 적외선 센서
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제1항 내지 제4항 및 제7항 중 어느 한 항의 파장 선택형 적외선 센서의 제조 방법으로,기판(100)의 중앙 소정 영역을 함몰하여 함몰부(110) 및 외곽부(120)를 형성하는 기판 형성단계;상기 함몰부(110)의 상면에 고정반사판(200) 및 금속 패드(300)를 형성하는 제1배선단계;상기 함몰부(110)에 제1희생층(700)을 형성하는 제1희생층 형성단계;상기 제1희생층(700)의 상면에 이동반사판(500)을 형성하는 제2배선단계;상기 이동반사판(500)을 덮도록 상기 이동반사판(500) 및 외곽부(120)의 상측으로 소정 높이만큼 제2희생층(800)을 형성하는 제2희생층 형성단계;상기 제2희생층(800)의 상면에 흡수부(400)를 형성하는 흡수부 형성단계; 및상기 제1희생층(700) 및 제2희생층(800)을 제거하는 희생층 제거단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 파장 선택형 적외선 센서의 제조 방법
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제 8항에 있어서, 상기 제2배선단계는상기 금속 패드(300)의 상측에 홀을 형성하고, 상기 홀에 연결부(610)를 형성한 후 상기 이동반사판(500)과 상기 연결부(610)의 상측에 전극(620)을 형성하는 것을 특징으로 하는 파장 선택형 적외선 센서의 제조 방법
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