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중심부 및 상기 중심부로부터 길게 연장되는 복수의 연장부를 갖는 형태의 기판; 상기 기판의 중심부에 위치하며 관심영역의 초음파 이미지를 획득하기 위한 초음파 프로브;상기 기판의 연장부에 위치하며 상기 관심영역에 집속 초음파를 출력하도록 구성되는 집속 초음파 출력부를 포함하되,상기 기판의 연장부에 위치한 집속 초음파 출력부는 플렉서블한 특성을 가지고 변형될 수 있는 것을 특징으로 하는, 플렉서블 초음파 트랜스듀서
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제1항에 있어서,상기 초음파 프로브는 상기 관심영역을 향해 이미징 초음파를 출력하도록 구성되는 복수의 이미징 초음파 출력 소자의 배열을 포함하는 것을 특징으로 하는, 플렉서블 초음파 트랜스듀서
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제2항에 있어서,상기 초음파 프로브는 상기 복수의 이미징 초음파 출력 소자가 선형으로 배치된 1차원 배열 또는 상기 복수의 초음파 출력 소자가 원형 또는 사각형으로 배치된 2차원 배열을 포함하는 것을 특징으로 하는, 플렉서블 초음파 트랜스듀서
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제1항에 있어서,상기 집속 초음파 출력부는 상기 관심영역에 치료용 집속 초음파를 출력하도록 구성되는 복수의 집속 초음파 출력 소자의 배열을 포함하는 것을 특징으로 하는, 플렉서블 초음파 트랜스듀서
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제4항에 있어서,상기 기판의 연장부는 일정한 간격을 두고 형성된 복수의 트렌치 구조를 가지고,상기 집속 초음파 출력부는 상기 복수의 트렌치 구조 및 상기 복수의 집속 초음파 출력 소자의 배열을 덮는 플렉서블 물질층을 포함하는 것을 특징으로 하는, 플렉서블 초음파 트랜스듀서
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제5항에 있어서,상기 집속 초음파 출력부는 상기 기판의 연장부 아래에 상기 플렉서블 물질층보다 열팽창계수가 큰 물질로 구성되는 보강층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 플렉서블 초음파 트랜스듀서
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제4항에 있어서,상기 치료용 집속 초음파는 상기 관심영역을 저강도로 자극하기 위한 저강도 집속 초음파(Low-intensity Focused Ultrasound; LIFU) 또는 상기 관심영역 내 병변을 물리적으로 제거하기 위한 고강도 집속 초음파(High-intensity Focused Ultrasound; HIFU)인 것을 특징으로 하는, 플렉서블 초음파 트랜스듀서
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제1항에 있어서,상기 초음파 프로브 또는 상기 집속 초음파 출력부는 미세가공 초음파 트랜스듀서(Micromachined Ultrasound Transducer; MUT)인 초음파 출력소자를 포함하는 것을 특징으로 하는, 플렉서블 초음파 트랜스듀서
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플렉서블 초음파 트랜스듀서의 제조방법으로서,기판을 제공하는 단계;상기 기판 위에 복수의 집속 초음파 출력 소자를 일정한 간격으로 배치하는 단계;상기 복수의 집속 초음파 출력 소자 상에 포토레지스트를 형성하는 단계;상기 기판을 식각하여 상기 복수의 집속 초음파 출력 소자 사이에 복수의 트렌치 구조를 형성하는 단계; 및 상기 복수의 트렌치 구조 및 상기 복수의 집속 초음파 출력 소자를 덮는 플렉서블 물질층을 형성하는 단계를 포함하는, 플렉서블 초음파 트랜스듀서의 제조방법
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제9항에 있어서,상기 초음파 출력 소자는 미세가공 초음파 트랜스듀서인 것을 특징으로 하는, 플렉서블 초음파 트랜스듀서의 제조방법
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제9항에 있어서,상기 플렉서블 물질층은 PDMS(polydimethylsiloxane), 폴리우레탄(polyurethane), 폴리에스테르(polyester) 및 이들의 혼합물 중 적어도 하나를 포함하는 탄성중합체로 구성되는 것을 특징으로 하는, 플렉서블 초음파 트랜스듀서의 제조방법
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제9항에 있어서,상기 기판 아래에 상기 플렉서블 물질층보다 열팽창계수가 큰 물질로 구성되는 보강층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 플렉서블 초음파 트랜스듀서의 제조방법
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제12항에 있어서,상기 플렉서블 물질층 및 상기 보강층에 열을 가하여, 상기 플렉서블 초음파 트랜스듀서를 휘게 하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 플렉서블 초음파 트랜스듀서의 제조방법
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