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집속이온빔을 이용한 나노결정체 형성방법

  • 기술번호 : KST2014013556
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따른 나노결정체 형성방법은, 금속막 또는 반도체막 표면의 여러 군데에 집속이온빔을 조사하여, 상기 집속이온빔의 초점이 맺히는 부분에서는 상기 금속막 또는 반도체막이 제거되고, 상기 집속이온빔의 상호겹칩 부분에서는 상기 집속이온빔의 방사선 효과에 의해 상기 금속막 또는 반도체막의 원자구조의 결합이 파기되어 나노결정체가 형성되도록 하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 집속이온빔을 이용하여 매우 간단하게 수 nm 이하의 크기를 갖는 나노결정체를 형성할 수 있게 된다. 따라서, 상온에서의 열적요동현상을 억제할 수 있는 구속에너지를 갖게 되어 상온에서 동작하는 단전자 터널링 트랜지스터를 만들 수 있게 된다. 본 발명은 테라급 이상의 차세대 초대용량 메모리 소자의 개발에 획기적인 기여를 할 것이다. 단전자 터널링 트랜지스터, 쿨롱차단효과, 집속이온빔, 나노결정체,
Int. CL B82Y 40/00 (2011.01) H01L 21/265 (2011.01)
CPC
출원번호/일자 1020000082009 (2000.12.26)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-0370659-0000 (2003.01.20)
공개번호/일자 10-2002-0053957 (2002.07.06) 문서열기
공고번호/일자 (20030205) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2000.12.26)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김은규 대한민국 서울특별시도봉구
2 박용주 대한민국 서울특별시성북구
3 김태환 대한민국 서울특별시마포구
4 강승언 대한민국 서울특별시성북구
5 추동철 대한민국 경기도의정부시
6 심재환 대한민국 서울특별시중구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 허진석 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로***, **,**층(역삼동, 동희빌딩)(특허법인아주김장리)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2000.12.26 수리 (Accepted) 1-1-2000-0279500-74
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2002-0020822-81
3 등록결정서
Decision to grant		 2002.10.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2002-0376308-27
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2009-5247056-16
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
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번호 청구항
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금속막 또는 반도체막 표면의 여러 군데에 집속이온빔을 조사하여, 상기 집속이온빔의 초점이 맺히는 부분에서는 상기 금속막 또는 반도체막이 제거되고, 상기 집속이온빔의 상호겹칩 부분에서는 상기 집속이온빔의 방사선 효과에 의해 상기 금속막 또는 반도체막의 원자구조의 결합이 파기되어 나노결정체가 형성되도록 하는 것을 특징으로 하는 나노결정체 형성방법

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US06475886 US 미국 FAMILY
2 US20020081848 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US2002081848 US 미국 DOCDBFAMILY
2 US6475886 US 미국 DOCDBFAMILY
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