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플라즈마를 이용한 원자층 증착방법

  • 기술번호 : KST2014048909
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 플라즈마 챔버내에 반응가스에 의해 플라즈마가 온(ON)된 상태에서 증착원료 프리커서와 반응하지 않는 반응가스와 동일한 캐리어 가스를 사용하여 프리커서를 펄스(pulse) 형태로 주입함으로써 PECVD와 ALD 증착법의 장점을 접목시켜 전체적으로 공정시간을 줄일 수 있으며 보다 우수한 박막을 형성함과 동시에 캐리어 가스와 플라즈마 반응가스가 동일하기 때문에 이들의 교차에 의한 불균일한 플라즈마가 발생하는 것을 막을 수 있다. ALD, ALCVD, 프리커서, 전구체, 플라즈마, 퍼지, purging
Int. CL C23C 16/455 (2006.01.01) C23C 16/30 (2006.01.01) H01L 21/205 (2006.01.01) H01L 21/67 (2006.01.01)
CPC C23C 16/45525(2013.01) C23C 16/45525(2013.01) C23C 16/45525(2013.01) C23C 16/45525(2013.01)
출원번호/일자 1020040024946 (2004.04.12)
출원인 한양대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0699362-0000 (2007.03.19)
공개번호/일자 10-2005-0099763 (2005.10.17) 문서열기
공고번호/일자 (20070326) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2004.04.12)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 전형탁 대한민국 서울특별시 노원구
2 김주연 대한민국 서울특별시성동구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 임평섭 대한민국 서울특별시 영등포구 당산로 ***-*, *층(당산동*가, 정우빌딩)(임특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울 성동구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2004.04.12 수리 (Accepted) 1-1-2004-0149599-50
2 보정통지서
Request for Amendment
2004.04.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2004-0027896-71
3 서지사항 보정서
Amendment to Bibliographic items
2004.05.21 수리 (Accepted) 1-1-2004-0215757-50
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2005.10.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2005.11.11 수리 (Accepted) 9-1-2005-0071427-53
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2006.03.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0157291-52
7 의견서
Written Opinion
2006.05.22 수리 (Accepted) 1-1-2006-0355381-16
8 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2006.05.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0355396-90
9 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2006.06.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0365012-10
10 의견서
Written Opinion
2006.08.21 수리 (Accepted) 1-1-2006-0592437-11
11 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2006.08.21 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2006-0592448-13
12 등록결정서
Decision to grant
2006.12.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0749431-22
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.03.11 수리 (Accepted) 4-1-2008-5037763-28
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.06.05 수리 (Accepted) 4-1-2014-5068294-39
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5022074-70
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.05 수리 (Accepted) 4-1-2019-5155816-75
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.06 수리 (Accepted) 4-1-2019-5156285-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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플라즈마 챔버내에 플라즈마가 연속하여 온된 상태에서 금속유기물 프리커서를 일정한 간격의 펄스(pulse) 형태로 주입하여 증착을 수행하고, 상기 금속유기물 프리커서는 상기 금속유기물 프리커서와 반응하지 않고 플라즈마 반응가스와 동일한 캐리어 가스를 이용하여 주입하는 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용한 원자층 증착방법
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국가 R&D 정보가 없습니다.