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고분자 2차원 광자결정 소자 및 그 제작 방법

  • 기술번호 : KST2015081026
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 고분자를 기반으로 하는 2차원 광자결정 소자 및 그 제작 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 고분자 2차원 광자결정 소자는 고분자 소재로 이루어지며 광자결정 도파로를 구비하는 코어, 및 코어 내에 형성되며 선결함을 구비한 광자띠간격 격자 구조를 포함한다. 본 발명에 따른 고분자 2차원 광자결정 소자의 제작 방법은 기판 상에 고분자 소재의 코어층을 형성한 후, 광자결정 집적회로를 구성하는데 필요한, 도파로, 슈퍼프리즘, 컨버터, 필터, 스위치, 분배기, 결합기, 캐비티, 레이저, 발광소자 등의 능동 및 수동 광자결정 소자를 나노 성형 기술인 열 및 자외선 임프린트 리소그래피 기술을 사용하여 광자결정의 주기성을 깨뜨리는 인위적인 결함을 구비한 2차원 구조를 형성한다. 본 발명에 따르면, 광자결정 시스템 및 집적회로를 제작함에 있어 대량생산 및 저가격화에 기여할 수 있다.광자결정, 광자띠간격, 광자결정 소자, 광자결정 시스템 및 집적회로, 고분자, 열 및 자외선 임프린트, 리소그래피, 엠보싱, 복제, 대량생산, 저가격화
Int. CL B82Y 20/00 (2011.01) G02B 6/12 (2011.01)
CPC G02B 6/1225(2013.01) G02B 6/1225(2013.01) G02B 6/1225(2013.01) G02B 6/1225(2013.01) G02B 6/1225(2013.01) G02B 6/1225(2013.01)
출원번호/일자 1020050118983 (2005.12.07)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0696193-0000 (2007.03.12)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20070320) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2005.12.07)
심사청구항수 16

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최춘기 대한민국 대전 유성구
2 한영탁 대한민국 대전 서구
3 김진태 대한민국 대전 유성구
4 이우진 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 신영무 대한민국 서울특별시 강남구 영동대로 ***(대치동) KT&G타워 *층(에스앤엘파트너스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2005.12.07 수리 (Accepted) 1-1-2005-0715548-43
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2006.09.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2006.10.16 수리 (Accepted) 9-1-2006-0066442-55
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2006.12.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0717657-49
5 의견서
Written Opinion
2007.01.09 수리 (Accepted) 1-1-2007-0021907-77
6 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2007.01.09 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0021943-11
7 등록결정서
Decision to grant
2007.02.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0105408-90
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
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번호 청구항
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고분자 소재로 이루어지며 광자결정 도파로를 구비하는 코어; 상기 코어의 상부 및 하부에 위치하는 상부 클래드층 및 하부 클래드층; 및상기 코어 내에 형성되며 선결함을 구비한 소정 패턴의 다수의 공기홀을 포함하는 광자띠간격 격자 구조를 포함하되,상기 상부 클래드층 및 하부 클래드층은 상부 및 하부 공기층, 상부 공기층과 상기 고분자 소재의 굴절률보다 낮은 저굴절률의 하부 고분자막, 및 상기 저굴절율의 상부 고분자막과 상기 저굴절율의 하부 고분자막 중 어느 한 쌍의 클래드층으로 이루어지는 고분자 2차원 광자결정 소자
5 5
제 4 항에 있어서,상기 공기홀은 상기 저굴절률 고분자에 의해 채워지는 고분자 2차원 광자결정 소자
6 6
제 4 항 또는 제 5 항에 있어서,상기 코어의 두께/높이는 상기 공기홀 중심 간의 간격의 0
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제 4 항 또는 제 5 항에 있어서,상기 광자띠간격 격자 구조는 삼각형 격자 배열을 포함하는 고분자 2차원 광자 결정 소자
8 8
제 4 항 또는 제 5 항에 있어서,상기 고분자 소재는 굴절률이 1
9 9
제 4 항 또는 제 5 항에 있어서,상기 공기홀의 직경과 상기 공기홀 중심 간의 간격의 비는 55% 이하인 고분자 2차원 광자결정 소자
10 10
제 9 항에 있어서,상기 공기홀의 직경과 상기 공기홀 중심 간의 간격의 비는 상기 광자띠간격 격자 구조 전체 패턴의 크기, 상기 패턴의 밀도 및 임프린팅을 위한 스탬프의 크기에 따라 변하는 고분자 2차원 광자결정 소자
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기판 상에 고분자 소재의 코어층을 형성하는 단계; 상기 코어층을 스탬프 또는 몰드로 패터닝하여 선결함을 갖고 다수의 공기홀을 형성하는 광자띠간격 격자 구조를 형성하는 단계; 및상기 기판의 실리콘 산화막을 식각하여 공기층을 형성하는 단계를 포함하는 고분자 2차원 광자결정 소자의 제작 방법
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제 13 항에 있어서,상기 기판은 실리콘 기판과 상기 실리콘 기판 상에 형성된 또 다른 고분자 소재층을 포함하며,상기 또 다른 고분자 소재층을 식각하여 공기층을 형성하는 단계를 더 포함하는 고분자 2차원 광자결정 소자의 제작 방법
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제 13 항에 있어서,상기 기판은 실리콘 기판과 상기 실리콘 기판 상에 형성된 저굴절률의 또 다른 고분자 소재층을 포함하는 고분자 2차원 광자결정 소자의 제작 방법
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제 15 항에 있어서,상기 다수의 공기홀에 상기 저굴절률 고분자 소재를 채우고, 상기 구조 상에 상기 저굴절률 고분자 소재의 또 다른 고분자 소재층을 추가적으로 형성하는 단계를 더 포함하는 고분자 2차원 광자결정 소자의 제작 방법
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제 13 항에 있어서,상기 기판은 유리 기판이며,상기 유리 기판을 식각하여 상기 유리 기판과 상기 코어층 사이에 공기층을 형성하는 단계를 더 포함하는 고분자 2차원 광자결정 소자의 제작 방법
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제 13 항 내지 제 17 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 고분자 소재는 굴절률이 1
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제 13 항 내지 제 17 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 코어층의 두께/높이는 상기 공기홀 중심 간의 간격의 0
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제 13 항 내지 제 17 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 광자띠간격 격자 구조를 형성하는 단계는 상기 공기홀의 직경과 상기 공기홀 중심 간의 간격의 비를 55% 이하로 조절하는 단계를 포함하는 고분자 2차원 광자결정 소자의 제작 방법
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제 13 항 내지 제 17 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 광자띠간격 격자 구조를 형성하는 단계는 상기 광자띠간격 격자 구조 전체 패턴의 크기, 상기 패턴의 밀도 및 임프린팅을 위한 스탬프 또는 몰드의 크기에 따라 상기 공기홀의 직경과 상기 공기홀 중심 간의 간격의 비를 조절하는 단계를 포함하는 고분자 2차원 광자결정 소자의 제작 방법
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