| 1 |
1
하부 클래드 층;상기 하부 클래드 층 상에 제 1 방향으로 연장되는 광 전송선로; 및상기 광 전송선로와 상기 하부 클래드 층 상의 상부 클래드 층을 포함하되,상기 광 전송선로는 그래핀을 포함하되,상기 광 전송선로는 상기 제 1 방향에 대해 입력 영역, 변조 영역, 및 출력 영역을 포함하고, 상기 광 전송선로의 상기 변조 영역은 상기 입력 영역과 상기 출력 영역 사이에 배치되고, 상기 제 1 방향에 교차되는 제 2 방향으로 상기 입력 영역 및 출력 영역보다 넓게 확장된 광 변조기
|
| 2 |
2
삭제
|
| 3 |
3
제 1 항에 있어서,상기 변조 영역은: 상기 입력 영역 및 상기 출력 영역 사이에 배치되고, 상기 입력 영역 및 상기 출력 영역과 동일한 선폭을 갖는 도파 영역; 및상기 도파 영역의 양측에 상기 제 2 방향으로 연결된 패드 영역들을 포함하는 광 변조기
|
| 4 |
4
제 3 항에 있어서,상기 패드 영역들의 상부 또는 하부에 접합된 패드 전극들을 더 포함하는 광 변조기
|
| 5 |
5
제 4 항에 있어서,상기 패드 전극들에 연결된 신호 배선들을 더 포함하는 광 변조기
|
| 6 |
6
제 5 항에 있어서,상기 신호 배선들은: 상기 상부 클래드 층 위에 또는 상기 하부 클래드 층 아래에 배치된 배선 층; 및상기 상부 클래드 층 또는 상기 하부 클래드 층을 관통하고, 상기 상부 클래드 층 및 상기 패드 전극, 또는 상기 하부 클래드 층 또는 상기 패드 전극에 연결되는 콘택 층을 포함하는 광 변조기
|
| 7 |
7
제 1 항에 있어서,상기 입력 영역 및 상기 출력 영역의 상기 광 전송선로에 접합되는 광섬유들을 더 포함하는 광 변조기
|
| 8 |
8
제 1 항에 있어서,상기 하부 클래드 층 및 상기 상부 클래드 층은 유전체를 포함하는 광 변조기
|
| 9 |
9
제 8 항에 있어서,상기 유전체는 실리콘 산화막 또는 실리콘 질화막을 포함하는 광 변조기
|
| 10 |
10
제 1 항에 있어서,상기 그래핀은 단일 층인 광 변조기
|
| 11 |
11
기판;상기 기판 상의 일측에 배치된 광원; 및상기 광원에 대향되는 상기 기판 상의 타측에 배치된 광 변조기를 포함하되,상기 광 변조기는:하부 클래드 층;상기 하부 클래드 층 상에 제 1 방향으로 연장되는 광 전송선로; 및상기 광 전송선로와 상기 하부 클래드 층 상의 상부 클래드 층을 포함하되,상기 광 전송선로는 그래핀을 포함하되,상기 광 전송선로는 상기 제 1 방향에 대해 입력 영역, 변조 영역, 및 출력 영역을 포함하고, 상기 광 전송선로의 상기 변조 영역은 상기 입력 영역과 상기 출력 영역 사이에 배치되고, 상기 제 1 방향에 교차되는 제 2 방향으로 상기 입력 영역 및 출력 영역보다 넓게 확장된 광학 모듈
|
| 12 |
12
제 11 항에 있어서,상기 광원은 레이저를 포함하는 광학 모듈
|
| 13 |
13
제 12 항에 있어서,상기 레이저는 외부 공진 레이저를 포함하는 광학 모듈
|
| 14 |
14
제 13 항에 있어서,상기 외부 공진 레이저는: 상기 광 변조기에 인접하여 배치되고, 레이저 광을 생성하는 발진기; 및상기 광 변조기에 대향되는 상기 발진기의 타측에 배치되어 상기 레이저 광을 공진시키는 외부 공진기를 포함하는 광학 모듈
|
| 15 |
15
제 14 항에 있어서,상기 발진기는:상기 기판 상의 버퍼 층;상기 버퍼 층 상의 하부 전극 층;상기 하부 전극 층 상에 배치되고, 상기 광 변조기의 광 전송선로에 접합되는 반도체 층; 및상기 반도체 층 상의 상부 전극 층을 포함하는 광학 모듈
|
| 16 |
16
제 15 항에 있어서,상기 외부 공진기는:상기 기판 상의 하부 절연 층;상기 하부 절연 층 상에 배치되고, 상기 광 전송선로 및 상기 반도체 층과 동일한 레벨을 갖는 그레이팅 층; 및상기 그레이팅 층 상의 상부 절연 층을 포함하는 광학 모듈
|
| 17 |
17
제 12 항에 있어서,상기 레이저는 수직공진표면 방출 레이저를 포함하는 광학 모듈
|
| 18 |
18
제 17 항에 있어서,상기 수직공진표면 방출 레이저는:상기 광 변조기에 접합되고, 제 1 초격자 구조를 갖는 상기 제 1 거울 층들;상기 제 1 거울 층에 연결되고, 레이저 광을 발진하는 활성 층; 및상기 활성 층에 연결되는 제 2 초격자 구조를 갖고, 상기 레이저 광을 반사하는 제 2 거울 층들을 포함하는 광학 모듈
|
| 19 |
19
하부 클래드 층 상에 그래핀의 광 전송선로를 형성하는 단계;상기 광 전송선로의 패드 영역 상에 패드 전극들을 형성하는 단계;상기 패드 전극들 및 상기 광 전송선로 상에 상부 클래드 층을 형성하는 단계;상기 패드 전극들 상의 상기 상부 클래드 층을 제거하여 콘택 홀을 형성하는 단계; 및상기 콘택 홀의 내부 및 상기 상부 클래드 층 상에 신호 배선들을 형성하는 단계를 포함하는 광 변조기의 제조방법
|
| 20 |
20
제 19 항에 있어서,상기 광 전송선로의 형성단계는: 상기 하부 클래드 층 상에 화학기상증착방법으로 상기 그래핀을 형성하는 단계; 및 상기 그래핀을 포토리소그래피 방법으로 패터닝하는 단계를 포함하는 광 변조기의 제조방법
|
