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기판;
제1 입출력 격자 커플러 및 상기 제1 입출력 격자 커플러와 이격된 제1 층간 격자 커플러를 포함하고, 상기 기판 상의 제1 평면에 배치된 제1 광도파로;
상기 제1 층간 격자 커플러와 대향하게 배치되어, 상기 제1 층간 격자 커플러와 광 결합을 하는 제2 입출력 격자 커플러를 포함하고 상기 제1 평면과 다른 제2 평면에 배치된 제2 광도파로; 및
상기 제1 광도파로가 배치된 상기 제1 평면과 상기 제2 광도파로가 배치된 상기 제2 평면 사이에 개재된 제1 클래딩층을 포함하되,
상기 제1 광도파로의 일단에 배치된 상기 제1 입출력 격자 커플러는 상기 제1 입출력 격자 커플러로 입사하는 입사광을 상기 제1 광도파로에 광 결합하고, 상기 제1 층간 격자 커플러와 상기 제2 입출력 격자 커플러는 층간 광 결합을 하는 것을 특징으로 하는 광 결합 장치
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제1 항에 있어서,
상기 제1 평면 상에 상기 제2 평면이 배치된 것을 특징으로 하는 광 결합 장치
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3
제1 항에 있어서,
상기 제1 입출력 격자 커플러가 배치된 영역에서의 상기 제1 입출력 격자 커플러의 폭과 상기 제1 층간 격자 커플러가 배치된 영역에서의 상기 제1 층간 격자 커플러의 폭보다 큰 것을 특징으로 하는 광 결합 장치
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4
제1 항에 있어서,
상기 제1 층간 격자 커플러는 상기 제2 입출력 격자 커플러와 중첩되는 부분을 가지는 것을 특징으로 하는 광 결합 장치
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5
제1 항에 있어서,
상기 제1 광도파로의 일단에 배치된 광흡수체를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광 결합 장치
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6
제1 항에 있어서,
상기 제1 클래딩층의 상부면은 평탄화된 것을 특징으로 하는 광 결합 장치
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7
제1 항에 있어서,
상기 제1 층간 격자 커플러와 상기 제2 입출력 격자 커플러는 복수의 트렌치를 포함하는 것을 특징으로 하는 광 결합 장치
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8
제1 항에 있어서,
상기 제2 평면에 배치되고 제3 입출력 격자 커플러를 포함하는 제3 광도파로;
상기 제2 광도파로와 상기 제3 광도파로 사이에 배치된 광소자; 및
상기 제1 평면에 배치되고 상기 제3 입출력 격자 커플러와 광 결합하는 제2 층간 격자 커플러 및 제4 입출력 격자 커플러를 포함하는 제4 광도파로를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광 결합 장치
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9
제8 항에 있어서,
상기 제1 광도파로와 상기 제4 광도파로는 서로 연결된 것을 특징으로 하는 광 결합 장치
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10
제1 항에 있어서,
상기 제2 평면에 배치되고 제3 입출력 격자 커플러를 포함하는 제3 광도파로;
상기 제2 광도파로와 상기 제3 광도파로 사이에 배치된 광소자; 및
상기 제1 평면과 다른 제3 평면에 배치되고 상기 제3 입출력 격자 커플러와 광 결합하는 제4 층간 격자 커플러를 포함하는 제4 광도파로를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광 결합 장치
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