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플렉서블 하부 기판;상기 플렉서블 하부 기판의 상부에 접촉하며, 소스 및 드레인 영역이 소정 간격으로 이격되어 형성된 실리콘 상부 기판;상기 소스 및 드레인 영역 사이의 실리콘 기판을 지나는 미세유체 채널을 포함하며, 여기에서 상기 미세유체 채널로 생물학적 활성 물질을 흘리는 방식으로 표적 물질을 검출하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 바이오 센서
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제 1항에 있어서, 상기 플렉서블 하부 기판은, 플렉서블 기판;상기 플렉서블 기판 상에 구비된 게이트 전극; 및 상기 게이트 전극 상에 적층된 절연층을 포함하며, 상기 게이트 전극은 상기 절연층 사이로 상기 소스 및 드레인 영역 사이의 실리콘 기판에 대향하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 바이오 센서
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제 1항에 있어서, 상기 실리콘 상부 기판의 소스 및 드레인 영역은 소스 및 드레인 전극에 연결되는 것을 특징으로 하는 플렉서블 바이오 센서
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제 3항에 있어서, 상기 플렉서블 바이오 센서는, 상기 실리콘 기판 상에는 상기 실리콘 상부 기판 및 소스 및 드레인 전극 상에 적층되어, 상기 소스 및 드레인 영역 사이의 기판을 일부 노출하는 패시베이션층; 및상기 패시베이션층위에 적층된 커버층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 바이오 센서
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제 1항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 미세유체 채널이 지나는 상기 실리콘 기판에는 실리콘과 특이적으로 결합하는 단백질이 융합된 검출 물질이 결합된 것을 특징으로 하는 플렉서블 바이오 센서
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제 5항에 있어서, 상기 표적 물질은 항원 또는 항체인 것을 특징으로 하는 플렉서블 바이오 센서
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제 1항에 있어서, 상기 실리콘 기판은 SOI 기판에서 제조된 후, 상기 플렉서블 기판으로 전사된 것을 특징으로 하는 플렉서블 바이오 센서
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플렉서블 바이오 센서의 검출 방법에 있어서, 제 5항에 따른 플렉서블 바이오 센서의 미세유체 채널에 표적 물질을 흘리는 단계;상기 표적 물질과 검출 물질과의 결합에 따른 전류 변화를 측정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는, 플렉서블 바이오 센서의 검출방법
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플렉서블 바이오 센서 제조방법에 있어서, 벌크 실리콘 층, 산화물 층 및 상부 실리콘 기판으로 이루어진 SOI 기판의 상기 상부 실리콘 기판에 소정 간격으로 이격된 소스 및 드레인 영역을 포함하는 바이오 소자 영역을 형성하는 단계;상기 바이오 소자 영역 하부의 산화물층을 제거하여 상기 바이오 소자 영역을 벌크 실리콘 층으로부터 분리하는 단계; 및 상기 분리된 바이오 소자를 플렉서블 기판에 전사시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는, 플렉서블 바이오 센서의 제조방법
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제 9항에 있어서, 상기 플렉서블 기판은 하부의 플렉서블 기판;상기 플렉서블 기판 상에 구비된 게이트 전극; 및상기 게이트 전극 및 플렉서블 기판상에 적층된 접합층을 포함하며, 여기에서 상기 게이트 전극은 상기 바이오 소자 영역의 소스 및 드레인 영역 사이에 대향하는 것을 특징으로 하는, 플렉서블 바이오 센서의 제조방법
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제 10항에 있어서, 상기 전사 후, 상기 실리콘 기판의 소스 및 드레인 영역에 연결된 소스 및 게이트 전극을 형성하는 단계; 상기 소스 및 게이트 전극 상에 적층되며, 상기 소스 및 드레인 사이의 실리콘 기판 영역이 노출된 트렌치 구조를 갖는 패시베이션층을 적층하는 단계; 및상기 패시베이션 층상에 커버층을 적층하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 플렉서블 바이오 센서의 제조방법
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제 11항에 있어서,상기 트렌치 구조는 소정 길이 이상으로 연장된 미세유체 채널인 것을 특징으로 하는, 플렉서블 바이오 센서의 제조방법
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제 9항 내지 제 12항 중 어느 한 항에 따른 방법에 의하여 제조된 플렉서블 바이오 센서
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제 9항 내지 제 12항 중 어느 한 항에 따른 방법에 의하여 제조된 플렉서블 바이오 센서로서, 상기 소스 및 드레인 영역 사이의 기판에는 생물학적 활성물질이 고정된 플렉서블 바이오 센서
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제 14항에 있어서, 상기 생물학적 활성물질은 실리콘 결합 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 바이오 센서
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