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플렉서블 기판;상기 플렉서블 기판 상에 적층되며, 제 1형 불순물이 도핑된 소스 및 드레인 영역이 소정 간격으로 이격되어 형성된 실리콘 기판; 및상기 실리콘 기판에 적층된 금으로 이루어진 소스, 드레인 및 게이트 전극을 포함하며, 여기에서 상기 게이트 전극에는 금과 특이적으로 결합하는 금 결합물질이 융합된 융합단백질이 고정된 것을 특징으로 하는 플렉서블 바이오센서
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바이오 센서에 있어서, 상기 바이오 센서는 플렉서블 기판; 상기 플렉서블 기판 상에 적층된 실리콘 기판; 상기 실리콘 기판상에 적층된 소스, 게이트, 드레인 전극; 및 상기 게이트 전극에 고정화된 생물학적 활성 물질을 포함하며, 여기에서 상기 실리콘 기판은 상기 소스 및 드레인 전극에 대응하는 소스 및 드레인 영역이 형성된 후, 상기 플렉서블 기판상에 전사되고, 이후 상기 전사된 실리콘 기판 상에 소스, 게이트, 드레인 전극이 적층된 후, 금으로 이루어진 게이트 전극 표면에 상기 생물학적 활성 물질이 고정되며, 상기 생물학적 활성 물질은 상기 금과 특이적으로 결합하는 금 결합물질에 융합된 융합단백질인 것을 특징으로 하는 플렉서블 바이오 센서
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플렉서블 기판; 및 상기 플렉서블 기판상에 구비된 바이오센서를 포함하며, 여기에서 상기 바이오센서는, 상기 플렉서블 기판상의 실리콘 기판; 상기 실리콘 기판에 p형 또는 n형 불순물을 주입함으로써 형성되며, 소정 간격으로 이격된 소스 및 드레인 영역;상기 소스 및 드레인 영역에 각각 연결된 소스 및 드레인 전극;상기 소스 및 드레인 영역 사이에 실리콘 기판상에 순차적으로 적층된 게이트 산화막 및 게이트 전극; 및상기 소스 및 드레인 전극으로부터 연장되며, 전류 변화를 검출하기 위한 전류 측정 패드를 포함하며, 상기 게이트 전극은 금으로 이루어지며, 상기 생물학적 활성 물질은 상기 금과 특이적으로 결합하는 금 결합물질에 융합된 융합단백질인 것을 특징으로 하는 플렉서블 바이오센서
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제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 금 결합물질은 GBP인 것을 특징으로 하는 플렉서블 바이오 센서
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제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 융합단백질은 형질변환된 세포 내에서 발현된 후, 분쇄되어, 분리된 것을 특징으로 하는 플렉서블 바이오 센서
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제 4항에 있어서, 상기 생물학적 활성 물질은 항체 또는 항원인 것을 특징으로 하는 플렉서블 바이오 센서
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제 4항에 있어서, 상기 플렉서블 바이오센서는 상기 하나 이상의 바이오 센서 상에 적층되는 플렉서블 고분자층을 더 포함하며, 여기에서 상기 플렉서블 고분자층은 마이크로 유체 채널을 구비하며, 상기 마이크로 유체 채널을 통하여 상기 게이트 전극에 검출하고자 하는 물질이 흐르는 것을 특징으로 하는 플렉서블 바이오센서
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제 7항에 있어서, 상기 고분자층은 PDMS인 것을 특징으로 하는 플렉서블 바이오센서
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실리콘 기판상의 바이오센서가 제조되는 영역에 소스 및 드레인 영역을 형성하는 단계; 상기 실리콘 기판상에 절연막을 적층한 후, 패터닝하여 상기 바이오센서가 제조되는 영역의 실리콘 기판을 절연막으로 마스킹하는 단계; 상기 바이오센서가 제조되는 영역의 실리콘 기판을 하부 실리콘 기판으로부터 분리하는 단계; 및 상기 분리된 실리콘 기판상에 금으로 이루어진 게이트 전극을 포함하는 바이오센서를 제조하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 바이오센서 제조방법
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실리콘 기판상의 바이오센서가 제조되는 영역에 소스 및 드레인 영역을 형성하는 단계; 상기 실리콘 기판상에 절연막을 적층한 후, 패터닝하여 상기 바이오센서가 제조되는 영역의 실리콘 기판을 절연막으로 마스킹하는 단계; 상기 절연막 사이에 노출되는 실리콘 기판을 제 1 식각하는 단계; 상기 제 1 식각에 의하여 노출된 실리콘 기판의 측면에 스페이서를 형성하는 단계;상기 스페이서 사이에 노출되는 실리콘 기판을 제 2 식각하는 단계;상기 바이오센서 제조영역의 실리콘 기판을 플렉서블 기판에 전사시키는 단계; 및상기 플렉서블 기판에 전사된 상기 바이오센서 제조 영역의 실리콘 기판 상에 바이오센서를 제조하는 단계를 포함하며, 상기 바이오 센서는 금으로 이루어진 게이트 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 바이오센서 제조방법
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제 9항 또는 제 10항에 있어서, 상기 전사는 상기 하나 이상의 바이오센서가 제조되는 실리콘 기판 영역의 일부 또는 전부를 선택적으로 전사하는 것을 특징으로 하는 바이오센서 제조방법
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제 10항에 있어서, 상기 제 2 식각은 비등방식각인 것을 특징으로 하는 플렉서블 바이오센서 제조방법
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제 9항 또는 제 10항에 있어서, 상기 바이오센서 제조는 상기 플렉서블 기판에 전사된 실리콘 기판상에 게이트 산화막을 적층한 후, 패터닝하는 단계;상기 패터닝된 게이트 산화막 및 실리콘 기판상에 금속층을 증착하는 단계;상기 증착된 금속층을 패터닝하여, 소스, 게이트 및 드레인 전극을 형성하는 단계;상기 게이트 전극을 지나는 상기 실리콘 기판의 제 1 마이크로 유체 채널을 형성하는 단계; 상기 마이크로 유체 채널에 생물학적 활성 물질을 흘림으로써, 상기 게이트 전극에 생물학적 활성 물질을 고정화시키는 단계; 및상기 게이트 전극을 지나는 제 2 마이크로 유체 채널이 구비된 고분자층을 제조한 후, 이를 상기 게이트 전극에 적층시키는 단계를 포함하며, 여기에서 상기 게이트 전극은 금을 포함하며, 상기 생물학적 활성 물질은 금 결합물질과의 융합단백질인 것을 특징으로 하는 플렉서블 바이오센서 제조방법
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제 13항에 있어서, 상기 바이오 센서는 플렉서블 기판상에 하나 이상 구비되며, 상기 제 2 마이크로 유체 채널은 상기 하나 이상의 바이오 센서의 게이트 전극을 동시에 지나는 것을 특징으로 하는 플렉서블 바이오센서 제조방법
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제 13항에 있어서, 상기 융합단백질은 형질변환된 세포 내에서 발현된 후, 분쇄되어, 분리된 것을 특징으로 하는 플렉서블 바이오 센서 제조방법
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