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기판; 상기 기판 상에 구비되며, 서로 이격된 소스 및 드레인 전극;상기 소스 및 드레인 전극과 각각 접촉하는 환원된 그래핀 산화물층; 및 상기 환원된 그래핀 산화물층 상에 고정되며, 검출하고자 하는 바이오 물질과 특이적으로 결합하는 프로브를 포함하는 전계 효과 트랜지스터 소자를 포함하는 것을 특징으로 하는, 환원 그래핀 산화물 기반 바이오 센서
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제 1항에 있어서, 상기 환원된 그래핀 산화물은 마이크로 미터 크기로 패턴된 것을 특징으로 하는, 환원 그래핀 산화물 기반 바이오 센서
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제 1항에 있어서, 상기 환원된 그래핀 산화물층은 1 nm 이하 두께의 단일층을 이루는 것을 특징으로 하는, 환원 그래핀 산화물 기반 바이오 센서
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제 3항에 있어서, 상기 환원된 그래핀 산화물층은 상기 기판 상에 그래핀 산화물 형태로 도포된 후, 환원 가스 분위기에서 환원된 것을 특징으로 하는, 환원 그래핀 산화물 기반 바이오 센서
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제 1항에 있어서,상기 프로브와 상기 바이오 물질간의 결합에 따라 상기 전계 효과 트랜지스터 소자로부터의 전류 변화가 발생하는 것을 특징으로, 환원 그래핀 산화물 기반 바이오 센서
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제 1항에 있어서, 상기 바이오물질은 바이러스이며, 상기 프로브는 상기 바이러스와 특이적으로 결합할 수 있는 항체인 것을 특징으로 하는, 환원 그래핀 산화물 기반 바이오 센서
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제 1항 내지 제 6항에 따른 환원 그래핀 산화물 기반 바이오 센서를 적어도 2 이상 포함하며, 상기 바이오 센서가 어레이 구조를 이루는 바이오 물질 센싱 시스템
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제 1항 내지 제 6항 중 어느 한 항에 따른 환원 그래핀 산화물 기반 바이오 센서를 이용한 바이오 물질 센싱 방법으로, 상기 검출하고자 하는 바이오 물질과 특이적으로 결합하는 프로브가 결합된 상기 환원된 그래핀 산화물층으로 시료를 접촉시키는 단계;상기 드레인 전류를 측정하는 단계; 및상기 드레인 전류의 변화가 발생함에 따라, 상기 시료 내에 상기 검출하고자 하는 바이오 물질이 검출되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 바이오 물질 센싱 방법
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제 8항에 있어서, 상기 바이오 물질 센싱 방법은, 상기 드레인 전류의 변화가 증가함에 따라 상기 시료 내에 상기 검출하고자 하는 바이오 물질의 농도가 높은 것으로 판단하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 바이오 물질 센싱 방법
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환원 그래핀 산화물 기반 바이오 센서 제조방법으로
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제 10항에 있어서, 상기 패터닝된 환원 그래핀 산화물은 1 nm 이상 1000 nm 이하의 너비를 갖는 것을 특징으로 하는, 환원 그래핀 산화물 기반 바이오 센서 제조방법
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제 10항에 있어서, 상기 환원 그래핀 산화물층을 패터닝하는 단계는, 노출된 환원 그래핀 산화물층을 산소 플라즈마로 식각시키는 방식으로 진행되는 것을 특징으로 하는, 환원 그래핀 산화물 기반 바이오 센서 제조방법
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제 10항에 있어서, 상기 흑연 산화물 용액으로부터 그래핀 산화물을 제조하는 단계는, 흑연 산화물 입자로부터 박리된 그래핀 산화물 용액을 원심분리하는 단계;상기 원심분리된 그래핀 산화물 용액 중 상층액에 포함된 그래핀 산화물을 제거하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 환원 그래핀 산화물 기반 바이오 센서 제조방법
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