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금속 절연체 전이를 이용한 트랜지스터 및 이를 제조하는 방법

  • 기술번호 : KST2015118986
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 금속 절연체 전이를 이용한 트랜지스터 및 이를 제조하는 방법이 개시된다. 일 실시예에 따른 트랜지스터는 서로 다른 물질이 적층된 기판; 상기 기판의 양 측에 형성되는 소스와 드레인; 및 상기 기판의 상단에 형성되며 압전 물질(Piezoelectric Material)로 이루어지는 게이트를 포함하고, 상기 게이트에 전기적 신호가 가해지는 경우, 상기 압전 물질에 의해 상기 기판은 변형(Strain)이 발생되어 상기 서로 다른 절연 물질이 적층된 경계면에 금속 절연체 전이(Metal-Insulator Transition)가 발생되고, 상기 금속 절연체 전이에 의해 채널이 형성되어 상기 소스와 상기 드레인 사이에 전류가 흐를 수 있다.
Int. CL H01L 29/772 (2006.01) H01L 21/336 (2006.01) H01L 41/297 (2013.01) H01L 21/31 (2006.01)
CPC H01L 29/772(2013.01) H01L 29/772(2013.01) H01L 29/772(2013.01) H01L 29/772(2013.01) H01L 29/772(2013.01)
출원번호/일자 1020140028229 (2014.03.11)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-1621604-0000 (2016.05.10)
공개번호/일자 10-2015-0106476 (2015.09.22) 문서열기
공고번호/일자 (20160517) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.03.11)
심사청구항수 20

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 신민철 대한민국 대전 유성구
2 이재현 대한민국 광주광역시 서구
3 정효은 대한민국 대전 유성구
4 이태경 대한민국 서울 강동구
5 한명준 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 양성보 대한민국 서울특별시 강남구 선릉로***길 ** (논현동) 삼성빌딩 *층(피앤티특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.03.11 수리 (Accepted) 1-1-2014-0234222-82
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.09.05 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2014.10.14 수리 (Accepted) 9-1-2014-0078265-72
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.06.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0421610-17
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.08.24 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0817837-48
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.08.24 수리 (Accepted) 1-1-2015-0817838-94
10 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.01.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0001001-16
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.03.02 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0201410-76
12 등록결정서
Decision to grant
2016.03.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0215425-79
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
서로 다른 절연 물질이 적층된 기판;상기 기판의 양 측에 형성되는 소스와 드레인; 및상기 기판의 상단에 형성되며 압전 물질(Piezoelectric Material)로 이루어지는 게이트를 포함하고, 상기 게이트에 전기적 신호가 가해지는 경우, 상기 압전 물질에 의해 상기 기판은 변형(Strain)이 발생되어 상기 서로 다른 절연 물질이 적층된 경계면에 금속 절연체 전이(Metal-Insulator Transition)가 발생되고, 상기 금속 절연체 전이에 의해 채널이 형성되어 상기 소스와 상기 드레인 사이에 전류가 흐르는 것을 특징으로 하는 트랜지스터
2 2
제1항에 있어서,상기 압전 물질은전기적 신호를 역학적인 힘으로 전환하는 것을 특징으로 하는 트랜지스터
3 3
제1항에 있어서,상기 절연 물질은ABO3형태의 페로브스카이트형 구조(Perovskite Structure)를 이루는 것을 특징으로 하는 트랜지스터
4 4
제1항에 있어서,상기 기판은 SrTiO3로 형성되는 제1 층;LaAlO3로 형성되는 제2 층을 포함하며,상기 제1 층의 상부에 상기 제2 층이 적층되어 상기 SrTiO3의 두께에 따라 상기 금속 절연체 전이가 발생되는 두께가 조절되는 것을 특징으로 하는 트랜지스터
5 5
삭제
6 6
제1항에 있어서, 상기 기판은 서로 다른 절연 물질이 교번되어 다수의 층을 이루는 것을 특징으로 하는 트랜지스터
7 7
기판;상기 기판의 양 측에 형성되는 소스와 드레인;상기 기판의 상단에 형성되며, 압전 물질(Piezoelectric Material)로 이루어지는 게이트; 및상기 게이트의 하단에 위치하며, 서로 다른 절연 물질로 적층되어 형성되는 게이트 층을 포함하고, 상기 게이트에 전기적 신호가 가해지는 경우, 상기 압전 물질에 의해 상기 게이트 층은 변형(Strain)이 발생되어 상기 서로 다른 절연 물질이 적층된 경계면에 금속 절연체 전이(Metal-Insulator Transition)가 발생되고, 상기 금속 절연체 전이의 형성에 따라 옥사이드(Oxide)로 이루어진 상기 게이트 층의 두께가 조절되어 상기 소스와 상기 드레인 사이에 전류가 흐르는 것을 특징으로 하는 트랜지스터
8 8
제7항에 있어서,상기 압전 물질은전기적 신호를 역학적인 힘으로 전환하는 것을 특징으로 하는 트랜지스터
9 9
제7항에 있어서,상기 게이트 층의 상기 절연 물질은ABO3형태의 페로브스카이트형 구조(Perovskite Structure)를 이루는 것을 특징으로 하는 트랜지스터
10 10
제7항에 있어서,상기 게이트 층은 SrTiO3로 형성되는 제1 층;LaAlO3로 형성되는 제2 층을 포함하며, 상기 제1 층의 상부에 상기 제2 층이 적층되어 상기 SrTiO3의 두께에 따라 상기 금속 절연체 전이가 발생되는 두께가 조절되는 것을 특징으로 하는 트랜지스터
11 11
삭제
12 12
제7항에 있어서, 상기 게이트 층은 서로 다른 절연 물질이 교번되어 다수의 층을 이루는 것을 특징으로 하는 트랜지스터
13 13
제 1항에 있어서,상기 기판은 LaTiO3로 형성되는 제1 층;LaAlO3로 형성되는 제2 층을 포함하며,상기 제1 층과 상기 제2 층은 적층되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 트랜지스터
14 14
제 1항 또는 제13항에 있어서,상기 기판에 역학적 힘이 가해지면,상기 기판의 절연 물질에 자기 전이(Magnetic Transition)가 발생하여, 상기 기판의 변형에 의해 전자들의 스핀(Spin) 방향이 전환되는 것을 특징으로 하는 트랜지스터
15 15
제14항에 있어서,상기 기판을 형성하는 전자들의 스핀 방향이 상기 소스 및 상기 드레인을 형성하는 전자들의 스핀 방향과 일치하는 경우 전류가 흐르며, 상기 기판을 형성하는 전자들의 스핀 방향이 상기 소스 및 상기 드레인을 형성하는 전자들의 스핀 방향과 일치하지 않는 경우 전류가 흐르지 않는 것을 특징으로 하는 트랜지스터
16 16
서로 다른 절연 물질을 적층시켜 기판을 형성하는 단계;상기 기판의 양 측에 소스와 드레인을 형성하는 단계; 상기 기판의 상단에 압전 물질(Piezoelectric Material)로 이루어진 게이트를 형성하는 단계; 상기 게이트에 전기적 신호가 가해지는 경우, 상기 압전 물질에 의해 전기적 신호가 역학적 힘으로 전환되는 단계; 및 상기 역학적 힘에 의해, 상기 기판은 변형(Strain)이 발생되어 상기 서로 다른 절연 물질이 적층된 경계면에 금속 절연체 전이(Metal-Insulator Transition)가 발생되는 단계를 포함하고, 상기 금속 절연체 전이에 의해 채널이 형성되어 상기 소스와 상기 드레인 사이에 전류가 흐르는 것을 특징으로 하는 트랜지스터를 제조하는 방법
17 17
제16항에 있어서,상기 서로 다른 절연 물질을 적층시켜 기판을 형성하는 단계는, SrTiO3로 이루어진 제1 층을 형성하는 단계; 및 LaAlO3로 이루어진 제2 층 형성하는 단계를 포함하고, 상기 제1 층의 상부에 상기 제2 층이 적층되어 상기 SrTiO3의 두께에 따라 상기 금속 절연체 전이가 발생되는 두께가 조절되는 것을 특징으로 하는 트랜지스터를 제조하는 방법
18 18
삭제
19 19
제16항에 있어서,상기 서로 다른 절연 물질을 적층시켜 기판을 형성하는 단계는, LaTiO3로 이루어진 제1 층을 형성하는 단계;LaAlO3로 이루어진 제2 층을 형성하는 단계를 포함하는 트랜지스터를 제조하는 방법
20 20
제16항 또는 제19항에 있어서,상기 게이트에서 전기적 신호를 역학적 힘으로 전환하는 단계;상기 역학적 힘에 의해, 상기 기판의 절연 물질에 자기 전이(Magnetic Transition)가 발생하여, 상기 기판의 변형에 의해 전자들의 스핀(Spin) 방향이 전환되는 단계를 더 포함하는 트랜지스터를 제조하는 방법
21 21
제20항에 있어서,상기 기판의 절연 물질에 자기 전이가 발생하여, 상기 기판의 변형에 의해 전자들의 스핀 방향이 전환되는 단계는, 상기 기판을 형성하는 전자들의 스핀 방향이 상기 소스 및 상기 드레인을 형성하는 전자들의 스핀 방향과 일치하는 경우 전류가 흐르며, 상기 기판을 형성하는 전자들의 스핀 방향이 상기 소스 및 상기 드레인을 형성하는 전자들의 스핀 방향과 일치하지 않는 경우 전류가 흐르지 않는 것을 특징으로 하는 트랜지스터를 제조하는 방법
22 22
기판을 형성하는 단계;상기 기판의 양 측에 소스와 드레인을 형성하는 단계;상기 기판의 상단에 서로 다른 절연 물질을 적층시켜 게이트 층을 형성하는 단계; 및상기 게이트 층의 상단에 압전 물질(Piezoelectric Material)로 이루어진 게이트를 형성하는 단계를 포함하고, 상기 게이트에 전기적 신호가 가해지는 경우, 상기 압전 물질에 의해 상기 게이트 층은 변형(Strain)이 발생되어 상기 서로 다른 절연 물질이 적층된 경계면에 금속 절연체 전이(Metal-Insulator Transition)가 발생되고, 상기 금속 절연체 전이의 형성에 따라 옥사이드(Oxide)로 이루어진 상기 게이트 층의 두께가 조절되어 상기 소스와 상기 드레인 사이에 전류가 흐르는 것을 특징으로 하는 트랜지스터를 제조하는 방법
23 23
제22항에 있어서,상기 기판의 상단에 서로 다른 절연 물질을 적층시켜 게이트 층을 형성하는 단계는, SrTiO3로 이루어진 제1 층을 형성하는 단계; 및 LaAlO3로 이루어진 제2 층 형성하는 단계를 포함하고, 상기 제1 층의 상부에 상기 제2 층이 적층되어 상기 SrTiO3의 두께에 따라 상기 금속 절연체 전이가 발생되는 두께가 조절되는 것을 특징으로 하는 트랜지스터를 제조하는 방법
24 24
삭제
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국과학기술원 신기술융합형성장동력사업 Atomistic 실리콘 CMOS 소자 시뮬레이션 기술 개발