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복층의 게이트 절연층을 구비한 그래핀 전자 소자
- 기술번호 : KST2015115411
- 담당센터 : 대전기술혁신센터
- 전화번호 : 042-610-2279
| 요약 | 복층의 게이트 절연층을 구비한 그래핀 전자소자가 개시된다. 개시된 그래핀 전자소자는 그래핀 채널층과 게이트 전극 사이에 유기물 절연층과 무기물 절연층으로 이루어진 복층의 게이트 절연층을 구비한다. 유기물 절연층은 그래핀 채널층에 불순물이 흡착하는 것을 억제하여 그래핀 채널층의 고유 특성을 유지한다. |
|---|---|
| Int. CL | H01L 29/78 (2006.01) H01L 21/336 (2006.01) |
| CPC | H01L 29/513(2013.01) H01L 29/513(2013.01) H01L 29/513(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020110056341 (2011.06.10) |
| 출원인 | 삼성전자주식회사, 한국과학기술원 |
| 등록번호/일자 | |
| 공개번호/일자 | 10-2012-0137053 (2012.12.20) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 등록 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2016.05.17) |
| 심사청구항수 | 17 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 삼성전자주식회사 | 대한민국 | 경기도 수원시 영통구 |
| 2 | 한국과학기술원 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 송현재 | 대한민국 | 경기도 용인시 기흥구 |
| 2 | 조병진 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
| 3 | 서순애 | 대한민국 | 경기도 화성시 |
| 4 | 신우철 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 리앤목특허법인 | 대한민국 | 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔) |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 삼성전자주식회사 | 경기도 수원시 영통구 | |
| 2 | 한국과학기술원 | 대전광역시 유성구 |
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2011.06.10 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0438562-15 |
| 2 | 보정요구서 Request for Amendment |
2011.06.13 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2011-0051858-96 |
| 3 | [출원서등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment |
2011.07.13 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0536800-53 |
| 4 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2012.06.21 | 수리 (Accepted) | 4-1-2012-5132663-40 |
| 5 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2013.02.01 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5019983-17 |
| 6 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157993-01 |
| 7 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5158129-58 |
| 8 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157968-69 |
| 9 | [심사청구]심사청구(우선심사신청)서 [Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination) |
2016.05.17 | 수리 (Accepted) | 1-1-2016-0471710-78 |
| 10 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2017.05.25 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2017-0365750-66 |
| 11 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2017.07.12 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2017-0668135-23 |
| 12 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2017.07.12 | 수리 (Accepted) | 1-1-2017-0668134-88 |
| 13 | 등록결정서 Decision to grant |
2017.11.14 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2017-0790923-15 |
| 14 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.04.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5081392-49 |
| 15 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2020.05.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5108396-12 |
| 16 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2020.06.12 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5131486-63 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 게이트 전극으로 작용하는 도전성 기판;상기 기판 상에 배치된 게이트 절연층;상기 게이트 절연층 상의 그래핀 채널층; 및상기 그래핀 채널층의 양단에 각각 배치된 소스 전극과 드레인 전극; 을 구비하며, 상기 게이트 절연층은 무기물 절연층과, 상기 무기물 절연층 상의 유기물 절연층을 포함하며, 상기 유기물 절연층은 불소계 고분자를 포함하는 그래핀 전자소자 |
| 2 |
2 제 1 항에 있어서,상기 유기물 절연층은 상기 무기물 절연층과 상기 그래핀 채널층 사이에 배치된 그래핀 전자소자 |
| 3 |
3 삭제 |
| 4 |
4 제 1 항에 있어서,상기 유기물 절연층은 폴리비닐플루오라이드, 폴리비닐리덴 플로오라이드, 폴리플루오로부테닐비닐에테르, 폴리테트라플루오로에틸렌, 및 비정질 불소 고분자로 이루어진 그룹으로부터 선택된 적어도 하나로 이루어진 그래핀 전자소자 |
| 5 |
5 제 1 항에 있어서,상기 유기물 절연층은 상기 무기물 절연층 보다 얇은 그래핀 전자소자 |
| 6 |
6 제 1 항에 있어서,상기 유기물 절연층은 1nm - 20nm 두께를 가지는 그래핀 전자소자 |
| 7 |
7 제 1 항에 있어서,상기 무기물 절연층은 실리콘 옥사이드, 알루미늄 옥사이드, 및 하프늄 옥사이드로 이루어진 그룹에서 선택된 하나를 포함하는 그래핀 전자소자 |
| 8 |
8 제 1 항에 있어서,상기 그래핀 채널층은 단층 또는 이층(bi-layer)의 그래핀으로 이루어진 그래핀 전자소자 |
| 9 |
9 제 1 항에 있어서,상기 그래핀 채널층은 나노리본 그래핀이며, 상기 그래핀 전자소자는 전계효과 트랜지스터인 그래핀 전자소자 |
| 10 |
10 제 1 항에 있어서, 상기 그래핀 채널층을 덮는 패시베이션층을 더 구비하는 그래핀 전자소자 |
| 11 |
11 기판;상기 기판 상의 그래핀 채널층;상기 그래핀 채널층의 양단에 각각 배치된 소스 전극 및 드레인 전극; 상기 소스 전극 및 드레인 전극에 노출된 상기 그래핀 채널층을 덮는 게이트 절연층; 및 상기 소스 전극 및 상기 드레인 전극 사이에서 상기 채널층 위로 형성된 게이트 전극;을 구비하며, 상기 게이트 절연층은 유기물 절연층과, 상기 유기물 절연층 상의 무기물 절연층을 포함하며, 상기 유기물 절연층은 불소계 고분자를 포함하는 그래핀 전자소자 |
| 12 |
12 제 11 항에 있어서,상기 유기물 절연층은 상기 무기물 절연층과 상기 그래핀 채널층 사이에 배치된 그래핀 전자소자 |
| 13 |
13 삭제 |
| 14 |
14 제 11 항에 있어서,상기 유기물 절연층은 폴리비닐플루오라이드, 폴리비닐리덴 플로오라이드, 폴리플루오로부테닐비닐에테르, 폴리테트라플루오로에틸렌 및 비정질 불소 고분자로 이루어진 그룹으로부터 선택된 적어도 하나로 이루어진 그래핀 전자소자 |
| 15 |
15 제 11 항에 있어서,상기 유기물 절연층은 상기 무기물 절연층 보다 얇은 그래핀 전자소자 |
| 16 |
16 제 11 항에 있어서,상기 유기물 절연층은 1nm - 20nm 두께를 가지는 그래핀 전자소자 |
| 17 |
17 제 11 항에 있어서,상기 무기물 절연층은 실리콘 옥사이드, 알루미늄 옥사이드 및 하프늄 옥사이드로 이루어진 그룹에서 선택된 하나를 포함하는 그래핀 전자소자 |
| 18 |
18 제 11 항에 있어서,상기 그래핀 채널층은 단층 또는 이층(bi-layer)의 그래핀으로 이루어진 그래핀 전자소자 |
| 19 |
19 제 11 항에 있어서,상기 그래핀 채널층은 나노리본 그래핀이며, 상기 그래핀 전자소자는 전계효과 트랜지스터인 그래핀 전자소자 |
| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | CN102820324 | CN | 중국 | FAMILY |
| 2 | JP06130104 | JP | 일본 | FAMILY |
| 3 | JP25004972 | JP | 일본 | FAMILY |
| 4 | US08994079 | US | 미국 | FAMILY |
| 5 | US20120313079 | US | 미국 | FAMILY |
DOCDB 패밀리 정보
| 순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | CN102820324 | CN | 중국 | DOCDBFAMILY |
| 2 | CN102820324 | CN | 중국 | DOCDBFAMILY |
| 3 | JP2013004972 | JP | 일본 | DOCDBFAMILY |
| 4 | JP6130104 | JP | 일본 | DOCDBFAMILY |
| 5 | US2012313079 | US | 미국 | DOCDBFAMILY |
| 6 | US8994079 | US | 미국 | DOCDBFAMILY |
| 국가 R&D 정보가 없습니다. |
|---|
| 등록사항 정보가 없습니다 |
|---|
- 본 '원본보기 서비스'는 참고용이므로, 일부 오류 및 누락이 발생할 수 있습니다.
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| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 | 2011.06.10 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0438562-15 |
| 2 | 보정요구서 | 2011.06.13 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2011-0051858-96 |
| 3 | [출원서등 보정]보정서 | 2011.07.13 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0536800-53 |
| 4 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2012.06.21 | 수리 (Accepted) | 4-1-2012-5132663-40 |
| 5 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2013.02.01 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5019983-17 |
| 6 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157993-01 |
| 7 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5158129-58 |
| 8 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157968-69 |
| 9 | [심사청구]심사청구(우선심사신청)서 | 2016.05.17 | 수리 (Accepted) | 1-1-2016-0471710-78 |
| 10 | 의견제출통지서 | 2017.05.25 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2017-0365750-66 |
| 11 | [명세서등 보정]보정서 | 2017.07.12 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2017-0668135-23 |
| 12 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2017.07.12 | 수리 (Accepted) | 1-1-2017-0668134-88 |
| 13 | 등록결정서 | 2017.11.14 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2017-0790923-15 |
| 14 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.04.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5081392-49 |
| 15 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2020.05.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5108396-12 |
| 16 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2020.06.12 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5131486-63 |
| 기술정보가 없습니다 |
|---|
| 과제고유번호 | 1415115198 |
|---|---|
| 세부과제번호 | C1080-1101-0001 |
| 연구과제명 | KAIST-ICU 통합지원(ICC 교육여건 개선) |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 지식경제부 |
| 연구관리전문기관명 | 정보통신산업진흥원 |
| 연구주관기관명 | 한국과학기술원 |
| 성과제출연도 | 2011 |
| 연구기간 | 200903~201112 |
| 기여율 | 1 |
| 연구개발단계명 | 기타 |
| 6T분류명 | 기타 |
특허성과
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