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플레이트 형상의 기판;상기 기판의 선단에 형성된 팁; 및 상기 팁 상에 형성된 나노다공성 구조물;을 포함하는 것을 특징으로 하는 나노다공성 캔틸레버로서,상기 나노다공성 캔딜레버는 라만 산란 신호를 방출하는 것을 특징으로 하는 나노다공성 캔틸레버
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제1항에 있어서, 상기 나노다공성 구조물은 평균 직경이 5 내지 100 nm인 다수 개의 나노기공 및 평균 직경이 50 내지 1000 nm인 다수 개의 나노유로가 3차원적으로 서로 연결된 구조인 것을 특징으로 하는 나노다공성 캔틸레버
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제1항에 있어서, 상기 나노다공성 구조물은 금, 은, 크롬, 백금, 알루미늄 및 구리를 포함하는 군 중에서 선택된 어느 하나 또는 둘 이상의 금속으로 이루어진 것을 특징으로 하는 나노다공성 캔틸레버
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제1항에 있어서, 상기 나노다공성 구조물은 두께가 10 nm 내지 10 ㎛인 것을 특징으로 하는 나노다공성 캔틸레버
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제1항에 있어서, 상기 나노다공성 캔틸레버는 압전저항 센서가 더 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 나노다공성 캔틸레버
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삭제
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기판의 선단에 형성된 팁 상에 금속/은 합금층을 증착하는 단계; 및상기 금속/은 합금층을 에칭하여 은을 선택적으로 제거시킴으로써 상기 팁 상에 금속 나노다공성 구조물을 형성시키는 단계;를 포함하는 나노다공성 캔틸레버의 제조방법으로서,상기 금속은 금, 크롬, 백금, 알루미늄 및 구리 중에서 선택되는 어느 하나 또는 둘 이상이며,상기 나노다공성 캔틸레버는 플레이트 형상의 기판; 상기 기판의 선단에 형성된 팁; 및 상기 팁 상에 형성된 나노다공성 구조물;을 포함하고, 라만 산란 신호를 방출하는 것을 특징으로 하는 나노다공성 캔틸레버의 제조방법
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제7항에 있어서, 상기 금속/은 합금층은 금속의 함량이 1 내지 70 원자량%인 것을 특징으로 하는 나노다공성 캔틸레버의 제조방법
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제7항에 있어서, 상기 나노다공성 구조물은 평균 직경이 5 내지 100 nm인 다수 개의 나노기공 및 평균 직경이 50 내지 1000 nm인 다수 개의 나노유로가 3차원적으로 서로 연결된 구조인 것을 특징으로 하는 나노다공성 캔틸레버의 제조방법
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제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 따른 나노다공성 캔틸레버를 포함하는 물질 검출용 멀티센서
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제10항에 있어서, 상기 물질은 화학분자, 단백질, 항체, 바이러스, 박테리아, DNA, 압타머, 저분자 생체분자 중에서 선택된 1종 이상인 것을 특징으로 하는 물질 검출용 멀티센서
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제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 따른 나노다공성 캔틸레버를 이용하여 공진주파수 이동과 표면증강 라만 분광 신호를 동시에 측정하는 단계를 포함하는 물질 검출방법
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제12항에 있어서, 상기 물질은 화학분자, 단백질, 항체, 바이러스, 박테리아, DNA, 압타머, 저분자 생체분자 중에서 선택된 1종 이상인 것을 특징으로 하는 물질 검출방법
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