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1) 술포숙신산 비스-(2-에틸헥실)에스테르의 나트륨 염(AOT) 및 폴리옥시에틸렌 노닐페닐 에테르(NP-5)의 조합인 계면활성제; 유기 용매; 및 물 또는 암모니아수(NH4OH)로 이루어진 제1마이크로에멀젼을 제조하는 단계;2) 상기 제1마이크로에멀젼에 이산화규소 전구체인 테트라에틸 오르소실리케이트(TEOS)를 첨가하여 이산화규소 나노 입자를 제조하는 단계; 3) 아민기가 포함된 이산화규소 전구체인 3-아미노프로필-트리에톡시실란(APTES)을 첨가하여 상기 이산화규소 나노 입자의 표면이 아민기로 개질된 아민-이산화규소 나노 입자를 포함하는 제2마이크로에멀젼을 제조하는 단계; 4) 이산화세륨 전구체 수용액, 유기 용매, 및 AOT 와 NP-5의 조합인 계면활성제로 이루어진 제3 마이크로에멀젼을 제조하는 단계; 및5) 상기 제2마이크로에멀젼에 제3 마이크로에멀젼을 첨가하여, 아민-이산화규소 나노 입자의 표면에 이산화세륨이 코팅된 이산화규소-이산화세륨 코어-쉘 나노 입자를 제조하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 이산화규소-이산화세륨 코어-쉘 나노입자의 제조방법
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청구항 1에 있어서, 상기 계면활성제의 총 농도를 일정하게 유지하면서 AOT 와 NP-5의 각 농도를 조절하여 35 내지 120 nm 크기의 구형의 이산화규소 나노 입자를 제조하는 것을 특징으로 하는 이산화규소-이산화세륨코어-쉘 나노입자의 제조방법
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청구항 1에 있어서, 상기 1)단계에서, 제1마이크로에멀젼의 부피를 기준으로, AOT의 농도는 0
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청구항 1에 있어서, 상기 제2마이크로에멀젼의 부피를 기준으로, APTES는 0
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청구항 1에 있어서, 상기 유기 용매는 헵탄, 헥산, 시클로헥산, 벤젠, 또는 톨루엔인 것을 특징으로 하는 이산화규소-이산화세륨 코어-쉘 나노입자의 제조방법
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청구항 1에 있어서, 상기 3) 단계는 상기 마이크로에멀젼에 추가적인 TEOS 를 첨가한 후, 30분 후에 APTES를 첨가하여 아민기로 표면이 개질된 아민-이산화규소 나노 입자를 제조하는 것을 특징으로 하는 이산화규소-이산화세륨코어-쉘 나노입자의 제조방법
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청구항 1에 있어서, 상기 이산화세륨 전구체는 Ce(NO3)2,CeCl3,CeBr3,Ce(SO4)2및 Ce(OH)4로 이루어지는 군에서 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 이산화규소-이산화세륨 코어-쉘 나노입자의 제조방법
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청구항 1에 있어서, 상기 제3 마이크로에멀젼의 부피를 기준으로, 이산화세륨 전구체의 농도는, 0
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청구항 1에 있어서, 상기 5) 단계에서 제3 마이크로에멀젼은 40 내지 60 mL/h 의 속도로 첨가되는 것을 특징으로 하는 이산화규소-이산화세륨 코어-쉘 나노입자의 제조방법
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청구항 1 내지 청구항 9 중 어느 하나의 항의 방법에 따라 제조된 CMP공정용 연마입자
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