| 1 |
1
나노 어레이 구조 제조 방법으로서,
i) 기판을 준비하는 단계,
ii) 상기 기판 상에 제1층을 배치하는 단계,
iii) 상기 제1층에 제1 방향으로 신장하는 복수의 홈(grooves)을 형성하는 단계,
iv) 상기 제1층의 상기 복수의 홈에 나노 물질을 배치하는 단계;
v) 상기 제1층 상에서 상기 단계 ii) 내지 상기 단계 iv)를 소정의 횟수만큼 반복하여 제2층 내지 제N층을 형성하는 단계 - 여기서 N은 2 이상의 정수임 - , 및
vi) 상기 기판 및 상기 제1층 내지 제N층에 대해, 상기 제1 방향과 실질적으로 수직인 제2 방향을 따라 연장되고 상기 제1 방향을 따라 서로 나란히 배치된 적어도 세 부분의 소정의 영역들을 제거하여 상기 제거 결과로서 얻어진 구조에서 외부로 노출되는 상기 제1층 내지 상기 제N층의 측면부 각각에 상기 복수의 홈에 배치된 상기 나노 물질의 일부가 각각 드러나도록 하는 단계
를 포함하는 나노 어레이 구조 제조 방법
|
| 2 |
2
제1항에 있어서,
상기 복수의 홈은 서로 평행하게 신장하는 나노 어레이 구조 제조 방법
|
| 3 |
3
제2항에 있어서, 상기 단계 vi)는,
상기 제N층 상에 제N+1층을 형성하는 단계,
상기 제N층에서 제거될 상기 소정의 영역들 각각의 상면이 외부로 드러나도록 상기 제N+1층을 패터닝하는 단계, 및
상기 패터닝된 제N+1층을 사용하여 상기 기판 및 상기 제1층 내지 상기 제N층의 상기 소정의 영역들을 제거하는 단계
를 포함하는 나노 어레이 구조 제조 방법
|
| 4 |
4
제3항에 있어서, 상기 패터닝된 제N+1층을 사용하여 상기 기판 및 상기 제1층 내지 상기 제N층의 상기 소정의 영역들을 제거하는 단계는,
상기 패터닝된 제N+1층 상에 이온 빔(ion beams)을 조사하여 상기 외부로 드러난 상기 제N층의 상면과 대응하는, 상기 기판 및 상기 제1층 내지 제N층의 부분을 제거하는 단계를 포함하는 나노 어레이 구조 제조 방법
|
| 5 |
5
제1항에 있어서, 상기 단계 iv)는,
상기 제1층의 상면에 나노 물질의 서스펜션, 에멀젼, 용액, 혼합액으로 구성되는 그룹 중에서 선택된 하나의 액상 물질을 공급하는 단계, 및
상기 액상 물질을 향해 가스 젯(gas jet)을 분사하는 단계
를 포함하는 나노 어레이 구조 제조 방법
|
| 6 |
6
제2항에 있어서,
상기 제1층 내지 상기 제N층 중 적어도 하나의 층에 형성된 홈들의 간격은 다른 층에 형성된 홈들의 간격과 상이한, 나노 어레이 구조 제조 방법
|
| 7 |
7
제3항에 있어서,
상기 제1층 내지 제N+1층 중 적어도 하나는 포토레지스트인, 나노 어레이 구조 제조 방법
|
| 8 |
8
제1항에 있어서,
상기 제1층 내지 상기 제N층 중 적어도 하나의 층에 형성된 홈들 내부의 나노 물질은 다른 층에 형성된 홈들 내부의 나노 물질과 상이한, 나노 어레이 구조 제조 방법
|
| 9 |
9
제1항에 있어서,
상기 소정의 영역들은 상기 기판 및 상기 제1층 내지 제N층의 양쪽 측부 및 중앙부에 해당하고, 상기 제거 결과로서 얻어진 상기 구조는 서로 분리된 두 개의 부분을 포함하며, 상기 서로 분리된 두 개의 부분 각각을 상기 제1 방향과 평행하고 서로에 대해 멀어지는 방향으로 각각 약 90˚ 기울이는 단계를 더 포함하는 나노 어레이 구조 제조 방법
|
| 10 |
10
제1항에 있어서,
상기 소정의 영역들은 상기 기판 및 상기 제1층 내지 제N층의 양쪽 측부 및 중앙부에 해당하고, 상기 제거 결과로서 얻어진 상기 구조는 서로 분리된 두 개의 부분을 포함하며, 상기 서로 분리된 두 개의 부분 각각을 상기 제1 방향과 평행하고 서로 동일한 방향으로 각각 약 90˚ 기울이는 단계를 더 포함하는 나노 어레이 구조 제조 방법
|
| 11 |
11
제1항에 있어서,
상기 나노 물질은 탄소 나노튜브(carbon nano-tube)를 포함하는, 나노 어레이 구조 제조 방법
|
| 12 |
12
제11항에 있어서,
상기 탄소 나노 튜브는 20보다 크거나 같은 종횡비(aspect ratio)를 갖는, 나노 어레이 구조 제조 방법
|
| 13 |
13
제1항에 있어서,
상기 나노 물질은 탄소 나노 선(carbon nano wire)을 포함하는, 나노 어레이 구조 제조 방법
|
| 14 |
14
나노 어레이 구조 제조 방법으로서,
i) 기판을 준비하는 단계,
ii) 상기 기판 상에 수직으로 다른 층을 배치하는 단계,
iii) 상기 다른 층에 복수의 홈(grooves)을 일정 간격으로 형성하는 단계,
iv) 상기 다른 층의 상기 복수의 홈에 나노 물질을 배치하는 단계;
v) 상기 단계 ii) 내지 iv)를 소정의 횟수만큼 반복하여 다수의 수직층에 형성된 복수의 홈에 나노 물질을 배치하는 단계;
vi) 상기 기판 및 다수의 층의 소정의 영역들을 제거하여 각 층에 배치된 나노 물질을 남은 수직층의 측면으로 노출시키는 단계; 및
vii) 남은 수직층을 수평으로 배치하여 각 층에 배치된 나노 물질을 윗면으로 노출시키는 단계를 포함하는 나노 어레이 구조 제조 방법
|
