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나노입자로 조립된 3차원 구조물을 이용한 광학소자
- 기술번호 : KST2015136080
- 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
- 전화번호 : 02-2155-3662
| 요약 | 본 발명은 나노입자의 집속 패터닝에 의한 나노입자 구조체의 제조방법 및 상기 방법에 의해 얻어진 나노입자 구조체에 관한 것으로서, 본 발명의 방법은 코로나 방전에 의해 발생된 이온을 먼저 마이크로/나노 패턴이 형성된 기판 상에 축적시킨 후, 스파크 방전에 의해 발생된 하전된 나노입자 및 이온을 기판의 마이크로/나노 패턴으로 유도하고 마이크로/나노 패턴에 집속적으로 증착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이러한 본 발명의 방법에 의하면, 복잡한 구조의 3차원 형상을 갖는 정밀한 나노입자 구조체를 효율적으로 제조할 수 있다. |
|---|---|
| Int. CL | B82B 3/00 (2017.01.01) B82B 1/00 (2017.01.01) C23C 14/32 (2006.01.01) |
| CPC | |
| 출원번호/일자 | 1020120076887 (2012.07.13) |
| 출원인 | 서울대학교산학협력단, 재단법인 멀티스케일 에너지시스템 연구단 |
| 등록번호/일자 | 10-1349976-0000 (2014.01.03) |
| 공개번호/일자 | |
| 공고번호/일자 | (20140116) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 등록 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2012.07.13) |
| 심사청구항수 | 11 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 서울대학교산학협력단 | 대한민국 | 서울특별시 관악구 |
| 2 | 재단법인 멀티스케일 에너지시스템 연구단 | 대한민국 | 서울특별시 관악구 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 정기남 | 대한민국 | 서울 금천구 |
| 2 | 한정석 | 대한민국 | 서울특별시 금천구 |
| 3 | 피키트사 페트로 | 우크라이나 | 서울 관악구 |
| 4 | 최호섭 | 대한민국 | 서울 관악구 |
| 5 | 하경연 | 대한민국 | 서울 관악구 |
| 6 | 노승렬 | 대한민국 | 서울 관악구 |
| 7 | 김웅식 | 대한민국 | 서울 관악구 |
| 8 | 최만수 | 대한민국 | 서울 서초구 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 김애라 | 대한민국 | 서울특별시 강남구 테헤란로 *** (역삼동, 한신인터밸리**) 서관 ***호(테라아이피씨특허법률사무소) |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 서울대학교산학협력단 | 서울특별시 관악구 | |
| 2 | 재단법인 멀티스케일 에너지시스템 연구단 | 서울특별시 관악구 |
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2012.07.13 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0563117-44 |
| 2 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2013.01.14 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5007213-54 |
| 3 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2013.09.30 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2013-0676139-46 |
| 4 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2013.11.29 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-1093817-18 |
| 5 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2013.11.29 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2013-1093818-53 |
| 6 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2013.11.29 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-1094243-89 |
| 7 | 등록결정서 Decision to grant |
2013.12.30 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2013-0905442-82 |
| 8 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2015.03.17 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-5033829-92 |
| 9 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2015.05.13 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-5062924-01 |
| 10 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.05.13 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5093546-10 |
| 11 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.05.23 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5101798-31 |
| 12 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.08.02 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5154561-59 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2020.11.25 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5265458-48 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 1) 천공된 패턴을 갖는 마스크층에 의해 형성된 마이크로 또는 나노 패턴을 갖는 기판을 반응기 내부에 위치시킨 후 전기장을 형성하는 단계;2) 코로나 방전에 의해 불균일 전계를 발생시킴으로써 이온을 발생시켜 상기 반응기 내에 위치된 기판의 마이크로 또는 나노 패턴 상에 축적시킴으로써 정전기적 렌즈를 형성하는 단계; 및3) 상기 단계 2)에서 마이크로 또는 나노 패턴 상에 축적된 이온과 동일한 극성으로 하전된 나노입자를 상기 반응기에 도입하여, 상기 기판의 마이크로 또는 나노 패턴의 천공된 부분에 집속적으로 증착하는 단계;를 포함하는, 나노입자 구조체의 제조방법 |
| 2 |
2 제 1 항에 있어서,상기 단계 2) 코로나 방전이 코로나 방전 챔버에 1kV 내지 10kV 범위의 전압을 인가하여 발생되는 것을 특징으로 하는, 나노 입자 구조체의 제조방법 |
| 3 |
3 제 1 항에 있어서,상기 하전된 나노입자는 나노입자 전구물질을 스파크 방전 챔버 내에서 스파크 방전시킴으로써 이온과 함께 형성되며, 상기 스파크 방전은 스파크 방전 챔버에 5 kV 내지 10 kV 범위의 전압을 인가하여 발생되는 것을 특징으로 하는, 나노입자 구조체의 제조방법 |
| 4 |
4 제 1 항에 있어서,상기 나노입자 전구물질이 (i) 전도성 물질, (ii) 부도체 물질로 코팅된 전도성 물질 또는 (iii) 반도체 물질인 것을 특징으로 하는, 나노입자 구조체의 제조방법 |
| 5 |
5 제 1 항에 있어서,상기 단계 1)에서, 반응기 내부에 -5 kV 내지 5 kV 범위의 전압을 인가하여 전기장을 형성하는 것을 특징으로 하는, 나노입자 구조체의 제조방법 |
| 6 |
6 제 1 항에 있어서,상기 단계 2)에서 발생된 이온 및 단계 3)에서 반응기에 도입되는 하전된 나노입자를 질소, 헬륨 및 아르곤 중에서 선택된 운반기체를 이용하여 상기 단계 3)의 반응기에 주입하는 것을 특징으로 하는, 나노입자 구조체의 제조방법 |
| 7 |
7 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항의 방법에 따라 제조된, 3차원 형상의 나노입자 구조체 |
| 8 |
8 제 7 항에 있어서,상기 나노입자 구조체가 꽃잎 5개 이상의 꽃 형상인 것을 특징으로 하는 나노입자 구조체 |
| 9 |
9 제 7 항에 있어서,상기 나노입자 구조체가 단일 나노입자 또는 2종 이상의 복합 나노입자로 이루어지는 것을 특징으로 하는, 나노입자 구조체 |
| 10 |
10 제 7 항의 나노입자 구조체로 제조된 바이오센서 소자 |
| 11 |
11 제 7 항의 나노입자 구조체로 제조된 태양전지 소자 |
| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | CN103930364 | CN | 중국 | FAMILY |
| 2 | US20140224315 | US | 미국 | FAMILY |
| 3 | WO2014010803 | WO | 세계지적재산권기구(WIPO) | FAMILY |
DOCDB 패밀리 정보
| 순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | CN103930364 | CN | 중국 | DOCDBFAMILY |
| 2 | CN103930364 | CN | 중국 | DOCDBFAMILY |
| 3 | US2014224315 | US | 미국 | DOCDBFAMILY |
| 4 | WO2014010803 | WO | 세계지적재산권기구(WIPO) | DOCDBFAMILY |
| 순번 | 연구부처 | 주관기관 | 연구사업 | 연구과제 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 교육과학기술부 | 재단법인 멀티스케일 에너지 시스템연구단 | 원천기술개발사업 | 초고효율 에너지 변환용 삼차원 멀티구조체 병렬 조립 |
| 공개전문 정보가 없습니다 |
|---|
- 본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
- 데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
- 법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.
| 특허 등록번호 | 10-1349976-0000 |
|---|
권리란
| 표시번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
출원 연월일 : 20120713 출원 번호 : 1020120076887 공고 연월일 : 20140116 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20131230 청구범위의 항수 : 11 유별 : B82B 3/00 발명의 명칭 : 나노입자로 조립된 3차원 구조물을 이용한 광학소자 존속기간(예정)만료일 : |
특허권자란
| 순위번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
(권리자) 재단법인 멀티스케일 에너지시스템 연구단 서울특별시 관악구... |
| 1 |
(권리자) 서울대학교산학협력단 서울특별시 관악구... |
등록료란
| 제 1 - 3 년분 | 금 액 | 474,000 원 | 2014년 01월 06일 | 납입 |
| 제 4 년분 | 금 액 | 282,000 원 | 2017년 01월 04일 | 납입 |
| 제 5 년분 | 금 액 | 282,000 원 | 2018년 01월 04일 | 납입 |
| 제 6 년분 | 금 액 | 282,000 원 | 2018년 12월 19일 | 납입 |
| 제 7 년분 | 금 액 | 518,000 원 | 2020년 01월 03일 | 납입 |
- 본 '원본보기 서비스'는 참고용이므로, 일부 오류 및 누락이 발생할 수 있습니다.
- 정확한 서류를 확인하시려면 해당 웹사이트에서 조회하시기 바랍니다. (특허로 바로가기: http://www.patent.go.kr)
- 해당 서비스는 점검으로 인해 매주 일요일 00:00 ~ 02:00까지 이용이 중단됩니다.
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 | 2012.07.13 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0563117-44 |
| 2 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2013.01.14 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5007213-54 |
| 3 | 의견제출통지서 | 2013.09.30 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2013-0676139-46 |
| 4 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2013.11.29 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-1093817-18 |
| 5 | [명세서등 보정]보정서 | 2013.11.29 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2013-1093818-53 |
| 6 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2013.11.29 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-1094243-89 |
| 7 | 등록결정서 | 2013.12.30 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2013-0905442-82 |
| 8 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2015.03.17 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-5033829-92 |
| 9 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2015.05.13 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-5062924-01 |
| 10 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.05.13 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5093546-10 |
| 11 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.05.23 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5101798-31 |
| 12 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.08.02 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5154561-59 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2020.11.25 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5265458-48 |
| 기술정보가 없습니다 |
|---|
| 과제고유번호 | 1345169518 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 2011-0031561 |
| 연구과제명 | 초고효율 에너지 변환용 삼차원 멀티구조체 병렬 조립 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
| 연구주관기관명 | 재단법인 멀티스케일 에너지시스템 연구단 |
| 성과제출연도 | 2012 |
| 연구기간 | 201109~202008 |
| 기여율 | 1 |
| 연구개발단계명 | 기초연구 |
| 6T분류명 | NT(나노기술) |
특허성과
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| 심판사항 정보가 없습니다 |
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