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나노 패턴 및 마이크로 패턴을 구비하는 계층 구조물의 제조 방법(METHOD OF MANUFACTURING A HIERARCHICAL STRUCTURE INCLUDING NANO PATTERNS AND MICRO PATTERNS)

  • 기술번호 : KST2017008168
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 계층 구조물의 제조 방법에 있어서, 베이스 상에 나노 사이즈의 예비 나노 패턴들을 갖는 예비 나노 패턴 구조물을 형성하는 한 후, 예비 나노 패턴의 경도로 강화시켜 예비 나노 패턴으로부터 제1 경도를 갖는 제1 나노 패턴을 형성함으로써, 베이스 상에 예비 나노 패턴 구조물로부터 제1 나노 패턴 구조물을 형성한다. 제1 나노 패턴 구조물 상에, 제1 경도보다 낮은 제2 경도를 갖고 나노 사이즈의 제2 나노 패턴들을 갖는 제2 나노 패턴 구조물을 형성한다. 이후, 제2 나노 패턴 구조물 상에 마이크로 사이즈를 갖는 마스크 패턴을 형성한 후, 마스크 패턴을 식각 마스크로 이용하고 제1 나노 패턴 구조물을 식각 저지막으로 이용하여 제2 나노 패턴 구조물을 패터닝하여, 제2 나노 패턴 구조물로부터 제2 나노 패턴들을 상부에 각각 구비한 마이크로 패턴들을 포함하는 마이크로 패턴 구조물을 형성한다.
Int. CL B82B 3/00 (2016.01.05) B81C 1/00 (2016.01.05) B82Y 30/00 (2016.01.05) B82Y 40/00 (2016.01.05)
CPC B82B 3/0009(2013.01) B82B 3/0009(2013.01) B82B 3/0009(2013.01) B82B 3/0009(2013.01) B82B 3/0009(2013.01) B82B 3/0009(2013.01) B82B 3/0009(2013.01)
출원번호/일자 1020150161936 (2015.11.18)
출원인 고려대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0058501 (2017.05.29) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.11.18)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이헌 대한민국 서울특별시 서초구
2 김양두 대한민국 서울특별시 성북구
3 최학종 대한민국 서울특별시 동대문구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이동건 대한민국 서울특별시 강남구 논현로***길 *, *층 ***호 (논현동)(차암특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2015.11.18 수리 (Accepted) 1-1-2015-1125942-71
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2016.10.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2016.12.09 수리 (Accepted) 9-1-2016-0049482-73
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2017.05.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0352172-82
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2017.07.19 수리 (Accepted) 1-1-2017-0693456-50
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2017.07.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0693421-63
7 등록결정서
Decision to grant		 2017.10.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0704698-97
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5210941-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
베이스 상에, 무기질로 이루어지고 나노 사이즈의 예비 나노 패턴들을 갖는 예비 나노 패턴 구조물을 형성하는 단계;상기 예비 나노 패턴의 경도로 강화시켜 상기 예비 나노 패턴으로부터 제1 경도를 갖는 제1 나노 패턴을 형성함으로써, 상기 베이스 상에 상기 예비 나노 패턴 구조물로부터 제1 나노 패턴 구조물을 형성하는 단계;상기 제1 나노 패턴 구조물 상에, 상기 제1 경도보다 낮은 제2 경도를 갖고 나노 사이즈의 제2 나노 패턴들을 갖는 제2 나노 패턴 구조물을 형성하는 단계; 상기 제2 나노 패턴 구조물 상에 마이크로 사이즈를 갖는 마스크 패턴을 형성하는 단계; 및상기 마스크 패턴을 식각 마스크로 이용하고 상기 제1 나노 패턴 구조물을 식각 저지막으로 이용하여 상기 제2 나노 패턴 구조물을 패터닝하여, 상기 제2 나노 패턴 구조물로부터 상기 제2 나노 패턴들을 상부에 각각 구비한 마이크로 패턴들을 포함하는 마이크로 패턴 구조물을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 예비 나노 패턴의 경도로 강화시켜 상기 예비 나노 패턴으로부터 제1 경도를 갖는 제1 나노 패턴을 형성하는 단계는, 상기 예비 나노 패턴 구조물에 대하여 열강화 공정을 수행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 패턴 및 마이크로 패턴을 구비하는 계층 구조물의 제조 방법
2 2
삭제
3 3
제1항에 있어서, 상기 제1 나노 패턴 구조물을 형성하는 단계는, 상기 예비 나노 패턴 구조물 상에 식각 저지막을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 패턴 및 마이크로 패턴을 구비하는 계층 구조물의 제조 방법
4 4
제1항에 있어서, 상기 마이크로 패턴 구조물을 열강화시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 패턴 및 마이크로 패턴을 구비하는 계층 구조물의 제조 방법
5 5
제1항에 있어서, 상기 제1 나노 패턴 구조물 및 상기 마이크로 패턴 구조물은 동일한 물질을 이용하여 형성된 것을 특징으로 하는 나노 패턴 및 마이크로 패턴을 구비하는 계층 구조물의 제조 방법
6 6
제1항에 있어서, 상기 제2 나노 패턴들은 상기 마이크로 패턴들 각각의 상부 표면에 선택적으로 형성되고, 상기 제1 나노 패턴들은 상기 마이크로 패턴들 사이 및 노출된 상기 제1 나노 패턴 구조물 상에 선택적으로 형성된 것을 특징으로 하는 나노 패턴 및 마이크로 패턴을 구비하는 계층 구조물의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2 나노 패턴들 및 상기 마이크로 패턴들 각각은 다각 기둥 형상, 콘 형상 또는 사다리꼴 형상을 갖도록 형성되는 것을 특징으로 하는 나노 패턴 및 마이크로 패턴을 구비하는 계층 구조물의 제조 방법
8 8
베이스 상에 마이크로 패턴들을 포함하는 마이크로 패턴 구조물을 형성하는 단계;상기 마이크로 패턴들 및 노출된 베이스 상에 금속 박막을 형성하는 단계;상기 금속 박막을 이루는 금속 물질을 응집시켜, 상기 금속 물질로 이루어진 금속 나노 마스크를 형성하는 단계; 및상기 금속 나노 마스크를 식각 마스크로 이용하는 이방성 식각 공정을 수행하여, 상기 마이크로 패턴들 사이에 제1 나노 패턴들 및 상기 마이크로 패턴들 각각의 상부 표면에 제2 나노 패턴들을 형성하는 단계를 포함하는 나노 패턴 및 마이크로 패턴을 구비하는 계층 구조물의 제조 방법
9 9
제8항에 있어서, 상기 금속 박막을 이루는 금속 물질을 응집시키는 단계는,상기 금속 박막에 대하여 열처리 공정을 수행하는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 패턴 및 마이크로 패턴을 구비하는 계층 구조물의 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
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