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기체 유입구 및 유출구를 구비한 방전챔버;상기 방전 챔버 내에 위치하는 와이어형 전극;상기 방전 챔버 내에 위치하며, 상기 와이어형 전극의 위치에 상응하는 위치에 소정의 높이로 소정의 내부 직경 및 소정의 벽 두께를 갖는 중공 실린더형 전극;상기 와이어형 전극 및 중공 실린더형 전극과 대향하는 위치에 기판 지지대를 구비하고, 상기 와이어형 전극은 와이어형 전극 고정대에 고정되며, 스파크 방전을 일정 시간 유지하여 상기 와이어형 전극 및 중공 실린더형 전극이 소정 길이로 줄어든 후 상기 와이어형 전극을 중공 실린더형 전극을 향해 이동시킴으로써 중공 실린더형 전극과의 간격을 일정하게 유지시키는 것인 스파크 방전 발생기
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제1항에 있어서,상기 중공 실린더형 전극과 와이어형 전극은 동심축 상에 위치하는 것인 스파크 방전 발생기
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제1항에 있어서,상기 중공 실린더형 전극과 상기 와이어형 전극은 외부의 피드백 시스템을 이용하여 일정 간격을 유지하는 것인 스파크 방전 발생기
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제3항에 있어서,상기 간격은 0
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제1항에 있어서,상기 와이어형 전극의 길이는 6 내지 10 mm의 범위인 스파크 방전 발생기
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제1항에 있어서,상기 와이어형 전극의 직경은 0
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제1항에 있어서,상기 중공 실린더형 전극의 벽 두께는 100 ㎛ 내지 1 mm의 범위인 스파크 방전 발생기
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제1항에 있어서,상기 중공 실린더형 전극의 내부 직경은 0
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제1항에 있어서,상기 중공 실린더형 전극 및 와이어형 전극은 금, 구리, 주석, 인듐, ITO, 흑연 및 은 중에서 선택된 전도성 물질; 카드뮴 산화물, 산화철 및 산화주석 중에서 선택된 부도체 물질로 코팅된 전도성 물질; 또는 실리콘, GaAs 및 CdSe 중에서 선택된 반도체 물질로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상인 스파크 방전 발생기
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10
제1항에 있어서, 상기 와이어형 전극과 중공 실린더형 전극은 각각 외부 회로와 접지에 연결될 수 있으며, 상기 연결 순서의 변경이 가능한 것인 스파크 방전 발생기
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11
제10항에 있어서,상기 외부 회로는 고전압 공급원과 캐패시터 및 저항을 포함하는 회로인 스파크 방전 발생기
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제1항에 있어서,상기 기체는 질소, 아르곤, 헬륨 또는 이들의 혼합기체로부터 선택되는 하나 이상인 스파크 방전 발생기
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제1항 내지 제12항 중 어느 한 항의 스파크 방전 발생기를 사용하여 3차원 형상의 나노구조물 어레이를 형성하는 방법
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