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적어도 한 쌍의 미러를 포함하여 광의 공진이 이루어지는 광학 부품 형태로 이루어지는 측정대상에 대하여, 상기 한 쌍의 미러 간 거리의 변화에 의한 공진주파수 변화 정도를 통해 상기 측정대상의 안정성을 평가하는, 초미세 변위 측정 장치에 있어서,미리 결정된 주파수로 안정화된 광을 발진하는 레이저광원부;상기 레이저광원부에서 발진된 광의 주파수를 천이시켜 상기 측정대상에 인가하는 주파수천이부;상기 측정대상과 연결되어 상기 측정대상의 광을 잠금(locking)시키는 PDH부(Pound-Drever-Hall module);상기 PDH부로부터 에러신호를 전달받아 상기 주파수천이부에서 상기 측정대상에 인가하는 광의 주파수를 피드백 제어하여 조절하도록 제어신호를 인가하는 제어부;상기 PDH부로부터 에러신호를 전달받고, 상기 제어부로부터 제어신호를 전달받아, 에러신호 및 제어신호의 크기를 사용하여 상기 측정대상의 안정성을 평가하는 분석부;를 포함하며,상기 분석부는,상기 측정대상의 잠금 주파수대역(locking bandwidth)을 기준으로,잠금 주파수대역 이상의 주파수대역에서는 에러신호를 취하고,잠금 주파수대역 이하의 주파수대역에서는 제어신호를 취하여,전체 주파수대역에서 에러신호 및 제어신호가 취합되어 산출된 안정성 레벨을 도출하는 것을 특징으로 하는 초미세 변위 측정 장치
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제 1항에 있어서, 상기 분석부는,미리 결정된 안정성 레벨 기준을 기준으로 상기 측정대상에서 도출된 안정성 레벨을 비교하여 안정성을 평가하는 것을 특징으로 하는 초미세 변위 측정 장치
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제 1항에 있어서, 상기 레이저광원부는,광섬유 격자(fiber grating)를 사용하여 미리 결정된 주파수로 안정화된 광을 발진시키는 것을 특징으로 하는 초미세 변위 측정 장치
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제 1항에 있어서, 상기 주파수천이부는,AOM(Acousto-Optic Modulator)인 것을 특징으로 하는 초미세 변위 측정 장치
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제 1항에 의한 초미세 변위 측정 장치를 이용한 초미세 변위 측정 방법에 있어서,상기 레이저광원부가 미리 결정된 주파수로 안정화된 광을 발진하는 단계;상기 주파수천이부가 상기 레이저광원부에서 발진된 광의 주파수를 천이시켜 상기 측정대상에 인가하는 단계;상기 측정대상에서 상기 측정대상의 공진주파수에 해당하는 광이 공진을 일으키되, 상기 측정대상에서 공진되지 않은 광이 상기 PDH부로 전달되는 단계;상기 PDH부가 상기 측정대상에서 공진되지 않은 광을 에러신호로서 출력하는 단계;상기 제어부가 상기 PDH부로부터 에러신호를 전달받아 상기 주파수천이부에서 상기 측정대상에 인가하는 광의 주파수를 피드백 제어하여 조절하도록 제어신호를 인가하는 단계;상기 분석부가 상기 PDH부로부터 에러신호를 전달받고, 상기 제어부로부터 제어신호를 전달받아, 에러신호 및 제어신호의 크기를 사용하여 상기 측정대상의 안정성을 평가하는 단계;를 포함하며,상기 분석부는,상기 측정대상의 잠금 주파수대역(locking bandwidth)을 기준으로,잠금 주파수대역 이상의 주파수대역에서는 에러신호를 취하고,잠금 주파수대역 이하의 주파수대역에서는 제어신호를 취하여,전체 주파수대역에서 에러신호 및 제어신호가 취합되어 산출된 안정성 레벨을 도출하는 것을 특징으로 하는 초미세 변위 측정 방법
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제 6항에 있어서, 상기 분석부는,미리 결정된 안정성 레벨 기준을 기준으로 상기 측정대상에서 도출된 안정성 레벨을 비교하여 안정성을 평가하는 것을 특징으로 하는 초미세 변위 측정 방법
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