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기판;상기 기판 상에 배치되는 하부 클래드층;상기 하부 클래드층 상에 배치되고, 상기 기판의 상면에 평행한 제 1 방향으로 연장되는 코어층; 및상기 하부 클래드층 상에서 상기 코어를 덮는 상부 클래드층을 포함하되,상기 코어층은: 상기 제 1 방향으로 연장되는 도파로층; 및 상기 도파로층 내에 배치되고, 상기 제 1 방향을 따라 주기적으로 배열되는 광결정 구조체들을 갖는 광 변조 소자
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제 1 항에 있어서,상기 광결정 구조체들은 상기 도파로층에 수직으로 형성되는 홀들을 포함하는 광 변조 소자
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제 1 항에 있어서,상기 광결정 구조체들은 광결정 패턴들을 포함하되,상기 광결정 패턴들은 상기 도파로층과 같은 굴절률의 물질 또는 다른 굴절률의 물질을 포함하는 광 변조 소자
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제 1 항에 있어서,상기 코어층은 상기 제 1 방향에 수직하고, 서로 수직인 제 2 방향 및 제 3 방향에 대해 복굴절성을 갖는 광 변조 소자
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제 1 항에 있어서,상기 상부 클래드층 상에 제공되는 히터 또는 변조 전극을 더 포함하는 광 변조 소자
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제 5 항에 있어서,상기 히터의 전기 신호 인가 또는 상기 변조 전극의 전기 신호 인가에 의해, 상기 코어층, 상기 하부 클래드층 및 상기 상부 클래드층의 굴절률이 변화하는 광 변조 소자
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7
클래드층 내에 매립되어 제 1 방향으로 연장되는 도파로층;상기 도파로층에 형성되는 광결정 구조체들; 및상기 도파로층 상에서 상기 클래드층의 상면 상에 배치되는 히터 또는 전극을 포함하되,상기 광결정 구조체들은 상기 도파로층의 굴절률과 같은 굴절률 또는 다른 굴절률을 갖고,상기 도파로층은 상기 도파로의 형태나 상기 광결정 구조체들에 의해 상기 제 1 방향에 수직하고, 서로 수직인 제 2 방향 및 제 3 방향에 대해 복굴절성을 갖는 광 변조 소자
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제 7 항에 있어서,상기 광결정 구조체들은 상기 제 1 방향을 따라 주기적으로 배열되는 광 변조 소자
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제 7 항에 있어서,상기 히터의 전기 신호 인가 또는 상기 변조 전극의 전기 신호 인가에 의해, 상기 코어층 및 상기 클래드층의 굴절률이 변화하는 광 변조 소자
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10
제 7 항에 있어서,상기 광결정 구조체들은 상기 도파로층에 수직으로 형성되는 홀들을 포함하는 광 변조 소자
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제 7 항에 있어서,상기 광결정 구조체들은 광결정 패턴들을 포함하되,상기 광결정 패턴들은 상기 도파로층과 같은 굴절률의 물질 또는 다른 굴절률의 물질을 포함하는 광 변조 소자
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