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화학 공정의 최적화를 위한 전극 소자가 탑재된 분석장치

  • 기술번호 : KST2022011210
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 화학 공정의 최적화를 위한 전극 소자가 탑재된 분석장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 화학 공정의 최적화를 위한 분석장치에 있어서, 화학 공정에 사용되는 재료의 상태를 모니터링하기 위하여 전기적 신호를 감지하는 전극 소자; 및 전극 소자에 대한 전류 인가를 제어하고, 상기 재료로부터 측정되는 복수의 전극간 전기량을 감지하거나, 기준 전기량과 측정된 전기량간의 변위를 연산하기 위한 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 화학 공정의 최적화를 위한 전극 소자가 탑재된 분석장치를 제공한다.
Int. CL G01N 27/02 (2006.01.01) G01N 27/04 (2006.01.01) G01N 27/22 (2006.01.01)
CPC G01N 27/021(2013.01) G01N 27/028(2013.01) G01N 27/04(2013.01) G01N 27/22(2013.01)
출원번호/일자 1020200176956 (2020.12.17)
출원인 주식회사 엔포마레, 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2022-0086824 (2022.06.24) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2020.12.17)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 엔포마레 대한민국 서울특별시 서대문구
2 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최헌진 서울특별시 성북구
2 성재석 서울특별시 마포구
3 채영철 서울특별시 마포구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 수 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로**길 **, *층(역삼동, 케이앤와이빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2020.12.17 수리 (Accepted) 1-1-2020-1371415-42
2 보정요구서
Request for Amendment
2020.12.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2020-0197923-56
3 [출원서 등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2021.01.22 수리 (Accepted) 1-1-2021-0091093-54
4 [출원서 등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2021.02.16 수리 (Accepted) 1-1-2021-0183582-59
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2021.11.16 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2022.02.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2022-0070770-79
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2022.04.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2022-0316928-10
8 [지정기간연장]기간 연장신청서·기간 단축신청서·기간 경과 구제신청서·절차 계속신청서
2022.06.27 수리 (Accepted) 1-1-2022-0669625-24
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번호 청구항
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화학 공정의 최적화를 위한 분석장치에 있어서, 화학 공정에 사용되는 재료의 상태를 모니터링하기 위하여 전기적 신호를 감지하는 전극 소자; 및전극 소자에 대한 전류 인가를 제어하고, 상기 재료로부터 측정되는 복수의 전극간 전기량을 감지하거나, 기준 전기량과 측정된 전기량간의 변위를 연산하기 위한 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 화학 공정의 최적화를 위한 전극 소자가 탑재된 분석장치
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제1항에 있어서,상기 전극 소자는,베이스 기판; 상기 베이스 기판 상에 돌출된 적어도 하나의 기둥 형태이거나 평면 형태인 전극부;를 포함하며, 상기 제어부는, 상기 전극부 중 인접하는 복수의 전극부 사이의 전기량의 변화를 시간에 따라서 감지하면서, 상기 전기량이 미리 정해진 기준 이상의 변화를 보이는 경우, 전기량의 변화량을 이에 대응되는 디지털 가중치로 변환하고 디스플레이하는 것을 특징으로 하는 화학 공정의 최적화를 위한 전극 소자가 탑재된 분석장치
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제1항에 있어서,상기 전기량의 감지 또는 전기량 변위의 연산은 미리 정해진 시간 간격을 기초로 수행되는 것을 특징으로 하는 화학 공정의 최적화를 위한 전극 소자가 탑재된 분석장치
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패밀리정보가 없습니다
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