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트렌치를 갖는 기판;상기 트렌치 일측의 상기 기판 상의 입력 도파로;상기 트렌치 타측의 상기 기판 상의 출력 도파로;상기 입력 도파로 및 상기 출력 도파로 사이의 제 1 브랜치 도파로들과, 상기 제 1 브랜치 도파로들 중의 하나 상의 히터를 포함하는 제 1 마하젠더 간섭계;상기 제 1 브랜치 도파로들 각각에 연결되는 제 2 마하젠더 간섭계들을 포함하고,상기 제 2 마하젠더 간섭계들의 각각은:상기 트렌치 양측들의 상기 기판 상에 제공되는 제 2 브랜치 도파로들;상기 트렌치 내에 제공되는 제어 블록과, 상기 제어 블록 상에 배치되고 상기 제 2 브랜치 도파로들 사이에 배치되는 변조 도파로들을 포함하는 변조 셀;상기 변조 도파로들을 상기 2 브랜치 도파로들에 연결하는 포토닉 와이어들; 및 상기 제 2 브랜치 도파로들과 상기 변조 도파로들 사이에 배치되고, 상기 포토닉 와이어들 상에 배치되는 폴리머 클래드를 포함하는 이종 집적 광 변조기
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 브랜치 도파로들 및 제 2 브랜치 도파로들은 IV족 반도체 물질을 포함하고, 상기 변조 도파로들은 III-V족 반도체 물질을 포함하는 이종 집적 광 변조기
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제 2 항에 있어서,상기 제 1 브랜치 도파로들 및 제 2 브랜치 도파로들은 질화 실리콘을 포함하고,상기 변조 도파로는 인화 인듐을 포함하는 이종 집적 광 변조기
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4
제 1 항에 있어서,상기 제 2 브랜치 도파로들은 상기 변조 도파로들보다 굵은 이종 집적 광 변조기
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5
제 4 항에 있어서,상기 포토닉 와이어들의 각각은:상기 제 2 브랜치 도파로들에 연결되는 제 1 모드 변환기;상기 변조 도파로들에 연결되는 제 2 모드 변환기; 및상기 제 1 모드 변환기를 상기 제 2 모드 변환기에 연결하는 코어를 포함하는 이종 집적 광 변조기
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6
제 5 항에 있어서,상기 코어는 상기 제 2 브랜치 도파로들보다 굵거나 얇고 상기 변조 도파로들보다 굵은 이종 집적 광 변조기
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7
제 1 항에 있어서,상기 포토닉 와이어들은 상기 폴리머 클래드의 굴절률보다 높은 1
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8
제 1 항에 있어서,상기 제 1 브랜치 도파로들은:상기 입력 도파로에 연결되는 제 1 입력 브랜치 도파로들; 및상기 출력 도파로에 연결되는 제 1 출력 브랜치 도파로들을 포함하는 이종 집적 광 변조기
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9
제 8 항에 있어서,상기 제 2 브랜치 도파로들은:상기 제 1 입력 브랜치들 각각에서 분기되는 제 2 입력 브랜치 도파로들; 및상기 제 2 출력 브랜치들 각각에 결합되는 제 2 출력 브랜치 도파로들을 포함하는 이종 집적 광 변조기
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10
제 1 항에 있어서,상기 제어 블록은 육면체 모양을 갖는 이종 집적 광 변조기
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11
트렌치를 갖는 기판;상기 트렌치 양측들의 상기 기판 상에 배치된 유전체 클래드 층;상기 트렌치 일측의 유전체 클래드 층 상에 배치되는 입력 도파로;상기 입력 도파로에서 분기되는 제 1 입력 브랜치 도파로들;상기 제 1 입력 브랜치 도파로들 각각에서 분기되는 제 2 입력 브랜치 도파로들;상기 트렌치 타측의 유전체 클래드 층 상에 배치된 출력 도파로; 상기 출력 도파로들에 결합되는 제 1 출력 브랜치 도파로들;상기 제 1 출력 브랜치 도파로들 각각에 결합되는 제 2 출력 브랜치 도파로들;상기 제 1 출력 브랜치 도파로들 중 어느 하나 상에 배치되는 히터;상기 트렌치 내에 배치되고, 상기 제 2 입력 브랜치 도파로들 및 상기 제 2 출력 브랜치 도파로들 사이에 연결되는 변조 도파로들을 포함하는 변조 셀들;상기 변조 도파로들을 상기 제 2 입력 브랜치 도파로들 및 상기 제 2 출력 브랜치 도파로들에 연결하는 포토닉 와이어들; 및상기 제 2 입력 브랜치 도파로들과 상기 변조 도파로들 사이 및 상기 제 2 출력 브랜치 도파로들과 상기 변조 도파로들 사이에 배치되고, 상기 포토닉 와이어들 상에 배치되는 폴리머 클래드를 포함하는 이종 집적 광 변조기
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12
제 11 항에 있어서, 상기 변조 셀들의 각각은 상기 트렌치 내의 상기 기판과, 상기 변조 도파로들 사이에 배치되는 제어 블록을 더 포함하는 이종 집적 광 변조기
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13
제 12 항에 있어서, 상기 제어 블록 및 상기 변조 도파로들은 III-V족 반도체 물질을 포함하는 이종 집적 광 변조기
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14
제 13 항에 있어서,상기 입력 도파로, 상기 출력 도파로, 상기 제 1 및 제 2 입력 브랜치 도파로들 및 상기 제 1 및 제 2 출력 브랜치 도파로들은 질화 실리콘을 포함하고,상기 제어 블록 및 상기 변조 도파로들은 인화 인듐을 포함하는 이종 집적 광 변조기
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제 11 항에 있어서,상기 포토닉 와이어들의 각각은:상기 제 2 입력 브랜치 도파로들 및 상기 제 2 출력 브랜치 도파로들에 연결되는 제 1 모드 변환기;상기 변조 도파로들에 연결되는 제 2 모드 변환기; 및상기 제 1 모드 변환기를 상기 제 2 모드 변환기에 연결하는 코어를 포함하고,상기 제 1 및 제 2 모드 변환기들은 테이퍼진 스팟 사이즈 컨버터를 포함하는 이종 집적 광 변조기
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16
기판 상에 유전체 클래드 층을 형성하는 단계;상기 유전체 클래드 층 상에 입력 도파로, 출력 도파로, 제 1 브랜치 도파로들, 및 제 2 브랜치 도파로들을 형성하는 단계;상기 제 1 브랜치 도파로들 중의 어느 하나 상에 히터를 형성하는 단계;상기 제 2 브랜치 도파로들, 상기 유전체 클래드 층 및 상기 기판의 일부를 식각하여 트렌치를 형성하는 단계;상기 트렌치 양측들의 상기 제 2 브랜치 도파로들에 연결되는 변조 도파로들을 포함하는 변조 셀들을 상기 트렌치 내에 실장하는 단계;상기 변조 도파로들을 상기 제 2 브랜치 도파로들에 연결하는 포토닉스 와이어들을 형성하는 단계; 및상기 제 2 브랜치 도파로들과 상기 변조 도파로들 사이의 상기 포토닉 와이어들 상에 폴리머 클래드를 형성하는 단계를 포함하는 이종 집적 광 변조기의 제조 방법
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제 16 항에 있어서, 상기 포토닉스 와이어들은 3D 프린팅 방법으로 형성되는 폴리머를 포함하는 이종 집적 광 변조기의 제조 방법
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제 16 항에 있어서, 상기 폴리머 클래드는 도포 방법으로 형성되는 이종 집적 광 변조기의 제조 방법
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제 16 항에 있어서, 상기 폴리머 클래드는 상기 트렌치 내에 형성되는 이종 집적 광 변조기의 제조 방법
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제 16 항에 있어서, 상기 변조 셀들은 실버 페이스트, 솔더 페이스트, 솔더에 의해 상기 트렌치의 바닥 상에 고정되는 이종 집적 광 변조기의 제조 방법
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