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기판 표면에 수직 테이퍼 구조를 형성하는 방법

  • 기술번호 : KST2023001586
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 개념에 따른 기판 표면에 수직 테이퍼 구조를 형성하는 방법에 있어서, 기판 상에 상기 기판의 상면에 평행한 제1 방향을 따라서 배열되는 광감광제 패턴들을 형성하는 것, 상기 광감광제 패턴들을 리플로우하여 광감광제 막을 형성하는 것, 상기 광감광제 막은 상기 제1 방향을 따라서 차례로 연속되는 제1 부분, 제2 부분 및 제3 부분을 포함한다. 상기 제2 부분은 상기 제1 방향을 따라서 높이가 감소하고, 상기 제3 부분은 볼록한 형상을 가지고, 제1 차 건식 식각 공정을 이용하여 선택적으로 상기 광감광제 막의 높이를 감소시키는 것 및 제2 차 건식 식각 공정을 이용하여 상기 광감광제 막의 높이를 감소시키면서 상기 기판의 높이를 감소시키는 것을 포함한다. 상기 제1 차 건식 식각 공정은 상기 광감광제 막의 상기 제3 부분이 제거될 때까지 진행되고, 상기 제2 차 건식 식각 공정은 상기 광감광제 막의 상기 제2 부분이 제거될 때까지 진행되는 것을 포함한다.
Int. CL G02B 6/122 (2006.01.01) G02B 6/12 (2022.01.01)
CPC G02B 6/1228(2013.01) G02B 6/12016(2013.01) G02B 2006/12176(2013.01) G02B 2006/12195(2013.01)
출원번호/일자 1020220002669 (2022.01.07)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2023-0106930 (2023.07.14) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김덕준 대전광역시 유성구
2 최중선 대전광역시 유성구
3 김현수 대전광역시 유성구
4 안신모 대전광역시 유성구
5 윤천주 대전광역시 유성구
6 최병석 대전광역시 유성구
7 한원석 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 고려 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 *길 ** *층(역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2022.01.07 수리 (Accepted) 1-1-2022-0023631-25
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번호 청구항
1 1
기판 상에 상기 기판의 상면에 평행한 제1 방향을 따라서 배열되는 광감광제 패턴들을 형성하는 것;상기 광감광제 패턴들을 리플로우하여 광감광제 막을 형성하는 것, 상기 광감광제 막은 상기 제1 방향을 따라서 차례로 연속되는 제1 부분, 제2 부분 및 제3 부분을 포함하되, 상기 제2 부분은 상기 제1 방향을 따라서 높이가 감소하고, 상기 제3 부분은 볼록한 형상을 가지고;제1 차 건식 식각 공정을 이용하여 선택적으로 상기 광감광제 막의 높이를 감소시키는 것; 및제2 차 건식 식각 공정을 이용하여 상기 광감광제 막의 높이를 감소시키면서 상기 기판의 높이를 감소시키는 것을 포함하고,상기 제1 차 건식 식각 공정은 상기 광 감광제 막의 상기 제3 부분이 제거될 때까지 진행되고,상기 제2 차 건식 식각 공정은 상기 광 감광제 막의 상기 제2 부분이 제거될 때까지 진행되는 기판 표면에 수직 테이퍼 구조를 형성하는 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 한국전자통신연구원(ETRI) 방송통신산업기술개발사업 파장당 400G 이상의 차세대 광전달망 소자·부품 개발
2 과학기술정보통신부 한국전자통신연구원(ETRI) 정보통신방송기술개발사업 QKD 프로토콜간 상호 운용성 확보를 위한 신뢰노드 코어 및 인터페이스 개발
3 과학기술정보통신부 한국전자통신연구원(ETRI) 정부출연금사업(기관고유사업) ICT 창의기술 개발