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신축성 기판; 및 상기 신축성 기판 상에 증착되며, 기상 증착 공정을 이용하여 구성되는 다층 구조의 고분자 필름을 포함하고, 상기 고분자 필름은 리지드 아일랜드(rigid island) 구조로 상기 신축성 기판에 구성되는 것을 특징으로 하는, 다층 구조의 기판 플랫폼
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제1항에 있어서,상기 고분자 필름은, 개시제를 이용한 화학 기상 증착 방법(initiated Chemical Vapor Deposition, iCVD)을 통해 기계적인 모듈러스가 점진적으로 증가하고, 열팽창 계수(CTE)가 점진적으로 감소하도록 그레이딩된 적층 구조를 형성하는 것을 특징으로 하는, 다층 구조의 기판 플랫폼
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제2항에 있어서,상기 개시제를 이용한 화학 기상 증착 방법(iCVD)은, 반응기 내부로 단량체와 개시제가 기상으로 주입되고, 기판의 표면에 흡착된 상기 단량체를 고온 필라멘트에 의해 라디칼화된 상기 개시제가 개시 반응을 일으켜 고분자를 중합하는 공정인 것을 특징으로 하는, 다층 구조의 기판 플랫폼
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제1항에 있어서, 상기 고분자 필름은, 상기 신축성 기판과 맞닿는 최하층이 다른 층보다 낮은 모듈러스를 갖는 단량체로 이루어지는 것을 특징으로 하는, 다층 구조의 기판 플랫폼
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제1항에 있어서,상기 고분자 필름은, 상기 신축성 기판과 맞닿는 최하층이 다른 층보다 낮은 모듈러스를 갖는 2-하이드록시에틸 아크릴산(2-hydroxyethyl acrylate)으로 이루어지는 것을 특징으로 하는, 다층 구조의 기판 플랫폼
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제1항에 있어서,상기 고분자 필름은, 적어도 2개 이상의 단량체를 공중합하여 증착된 층을 포함하는 것을 특징으로 하는, 다층 구조의 기판 플랫폼
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제1항에 있어서,상기 고분자 필름은, 아크릴산(acrylic acid, AA) 및 글리시딜 아크릴산(glycidyl acrylate, GA)을 공중합하여 증착된 층을 포함하는 것을 특징으로 하는, 다층 구조의 기판 플랫폼
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제1항에 있어서,상기 고분자 필름은 3개의 적층 구조로 이루어지며, 상기 신축성 기판과 맞닿는 상기 고분자 필름의 다층 구조의 최하층은 다른 층보다 낮은 모듈러스를 갖는 2-하이드록시에틸 아크릴산(2-hydroxyethyl acrylate)으로 구성되고, 상기 최하층의 상측에 아크릴산(acrylic acid, AA) 및 글리시딜 아크릴산(glycidyl acrylate, GA)을 공중합하여 증착되는 것을 특징으로 하는, 다층 구조의 기판 플랫폼
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다층 구조의 기판 플랫폼 설계 방법에 있어서, 신축성 기판을 준비하는 단계; 및 상기 신축성 기판 상에 기상 증착 공정을 이용하여 구성된 다층 구조의 고분자 필름이 증착되는 단계를 포함하고, 상기 고분자 필름은 리지드 아일랜드(rigid island) 구조로 상기 신축성 기판에 구성되는 것을 특징으로 하는, 다층 구조의 기판 플랫폼 설계 방법
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제9항에 있어서,상기 다층 구조의 고분자 필름이 증착되는 단계는, 개시제를 이용한 화학 기상 증착 방법(initiated Chemical Vapor Deposition, iCVD)을 통해 기계적인 모듈러스가 점진적으로 증가하고, 열팽창 계수(CTE)가 점진적으로 감소하도록 그레이딩된 적층 구조를 형성하는 것을 특징으로 하는, 다층 구조의 기판 플랫폼 설계 방법
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제10항에 있어서,상기 개시제를 이용한 화학 기상 증착 방법(iCVD)은, 반응기 내부로 단량체와 개시제가 기상으로 주입되고, 기판의 표면에 흡착된 상기 단량체를 고온 필라멘트에 의해 라디칼화된 상기 개시제가 개시 반응을 일으켜 고분자를 중합하는 공정인 것을 특징으로 하는, 다층 구조의 기판 플랫폼 설계 방법
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제9항에 있어서, 상기 다층 구조의 고분자 필름이 증착되는 단계는, 다른 층보다 낮은 모듈러스를 갖는 단량체로 이루어진 상기 신축성 기판과 맞닿는 최하층을 구성하는 단계를 포함하는, 다층 구조의 기판 플랫폼 설계 방법
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제9항에 있어서,상기 다층 구조의 고분자 필름이 증착되는 단계는, 적어도 2개 이상의 단량체를 공중합하여 증착된 층을 구성하는 단계를 포함하는, 다층 구조의 기판 플랫폼 설계 방법
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제9항에 있어서,다른 층보다 낮은 모듈러스를 갖는 2-하이드록시에틸 아크릴산(2-hydroxyethyl acrylate)으로 이루어진 상기 신축성 기판과 맞닿는 최하층을 구성하는 단계; 및 상기 최하층의 상측에 아크릴산(acrylic acid, AA) 및 글리시딜 아크릴산(glycidyl acrylate, GA)을 공중합하여 증착하는 단계를 포함하고, 상기 고분자 필름은 3개의 적층 구조로 이루어지는 것을 특징으로 하는, 다층 구조의 기판 플랫폼 설계 방법
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다른 층보다 낮은 모듈러스를 갖는 단량체로 구성되는 최하층; 및 상기 최하층의 상측에 적층되며, 개시제를 이용한 화학 기상 증착 방법(initiated Chemical Vapor Deposition, iCVD)을 통해 적어도 2개 이상의 단량체를 공중합하여 증착되는 상부층을 포함하고, 상기 최하층 및 상기 상부층은 적층되어 다층 구조를 형성하며, 리지드 아일랜드(rigid island) 구조로 기판에 구성되는 것을 특징으로 하는, 다층 구조의 고분자 필름
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