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세라믹 분말과 폴리머 분말을 각각 준비하는 단계와;
상기 세라믹 분말과 폴리머 분말을 혼합하여 혼합분말을 제조하는 단계와;
상온에서 상기 혼합분말에 기계적 진동을 인가하며 이송가스를 입사함으로써 에어로졸화된 고상의 분체를 생성하고 이 고상의 분체를 상온에서 소정의 기판상에 분사하여 후막을 제조하는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 고주파용 세라믹 폴리머 복합체의 제조방법
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제1항에 있어서,
상기 세라믹 분말을 준비하는 단계는 상기 세라믹 분말을 300 내지 1100℃에서 열처리하여 불순물을 제거하는 것을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 고주파용 세라믹 폴리머 복합체의 제조방법
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제1항에 있어서,
상기 이송가스는 산소(O2), 질소(N2), 압축공기, 비활성 가스 또는 이들의 혼합물로 되는 것을 특징으로 하는 고주파용 세라믹 폴리머 복합체의 제조방법
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제1항에 있어서,
상기 폴리머 분말을 준비하는 단계는 분쇄공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 고주파용 세라믹 폴리머 복합체의 제조방법
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제5항에 있어서,
상기 분쇄공정은 습식 볼밀, 건식 볼밀, 핸드 쉐이킹(hand shaking), 플래니터리 밀링(planetary milling), 제트 밀링(Jet milling) 중의 하나 이상으로 되는 것을 특징으로 하는 고주파용 세라믹 폴리머 복합체의 제조방법
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제1항과 제2항 및 제4항 내지 제6항 중의 어느 한 항에 있어서,
상기 세라믹 분말의 입도는 0
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제1항과 제2항 및 제4항 내지 제6항 중의 어느 한 항에 있어서,
상기 폴리머 분말의 입도는 0
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제1항과 제2항 및 제4항 내지 제6항 중의 어느 한 항에 있어서,
상기 폴리머 분말은 상기 혼합분말의 0
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제1항과 제2항 및 제4항 내지 제6항 중의 어느 한 항에 있어서,
상기 세라믹 분말의 조성은 Al2O3, SiO2, B2O3, BeO, MgO, ZrO2, AlN, BN, SiN, SiC, ZrC계 세라믹스들 중의 적어도 하나 이상으로 되는 것을 특징으로 하는 고주파용 세라믹 폴리머 복합체의 제조방법
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제1항과 제2항 및 제4항 내지 제6항 중의 어느 한 항에 있어서,
상기 폴리머 분말의 조성은 PI, PMMA, PTFE, PPE, BCB, LCP 계 폴리머들 중의 적어도 하나 이상으로 되는 것을 특징으로 하는 고주파용 세라믹 폴리머 복합체의 제조방법
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