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주름진 다결정 탄화규소 마이크로 공진기

  • 기술번호 : KST2015193392
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 주름진 다결정 탄화규소 마이크로 공진기에 관한 것으로, 더욱 세부적으로는 크기뿐만 아니라 품질계수의 저하 없이 공진주파수를 증가시키기 위해서 다결정 탄화규소 막을 기반으로 하는 주름진 다결정 탄화규소 마이크로 공진기에 관한 것이다. 직사각형의 다결정 탄화규소막으로 형성되는 마이크로 공진기의 중앙부를 상부로 돌출시켜 주름진 구조를 갖되, 상기 주름진 구조의 다결정 탄화규소 마이크로 공진기의 길이(L)는 34 ~ 38 ㎛이며, 빔의 폭(W)은 11 ~ 13 ㎛이며, 두께(t)는 0.5 ㎛이고, 상부로 돌출되는 주름진 부분의 폭(C)은 5 ~ 7 ㎛이며, 깊이(d)는 0.4 ㎛로 형성된다. 따라서, 본 발명은 직사각형의 다결정 탄화규소막으로 형성되는 마이크로 공진기의 중앙부를 상부로 돌출시켜 주름진 구조를 형성하여, 평평한 타입의 공진기보다 공진주파수가 약 60%정도 향상되는 효과가 있다. 주름진, 탄화규소, 공진기
Int. CL H01P 7/10 (2006.01)
CPC H01P 7/10(2013.01) H01P 7/10(2013.01)
출원번호/일자 1020080101593 (2008.10.16)
출원인 울산대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2010-0042443 (2010.04.26) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 포기
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.10.16)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 울산대학교 산학협력단 대한민국 울산광역시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정귀상 대한민국 울산 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이풍우 대한민국 서울특별시 강남구 양재대로 **길** *층(일원동)(특허법인 대한(양재분사무소))

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2008.10.16 수리 (Accepted) 1-1-2008-0720385-29
2 [전자문서첨부서류]전자문서첨부서류등 물건제출서
[Attachment to Electronic Document] Submission of Object such as Attachment to Electronic Document		 2008.10.20 수리 (Accepted) 1-1-2008-5052275-19
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2009.12.02 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2010.01.13 수리 (Accepted) 9-1-2010-0002109-16
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2010.04.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0161889-11
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2010.04.20 수리 (Accepted) 1-1-2010-0251332-01
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2010.04.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0251330-10
8 [지정기간단축]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Reduction of Designated Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration)		 2010.04.20 수리 (Accepted) 1-1-2010-0251328-17
9 등록결정서
Decision to grant		 2010.08.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0344028-20
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.11.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-0057072-80
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.12.30 수리 (Accepted) 4-1-2013-5176374-15
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.06.20 수리 (Accepted) 4-1-2016-5080807-13
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.07.10 수리 (Accepted) 4-1-2020-5154267-54
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번호 청구항
1 1
마이크로 공진기에 있어서, 직사각형의 다결정 탄화규소막으로 형성되는 마이크로 공진기의 중앙부를 상부로 돌출시켜 주름진 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 주름진 다결정 탄화규소 마이크로 공진기
2 2
제 1항에 있어서, 상기 주름진 구조의 다결정 탄화규소 마이크로 공진기의 길이(L)는 34 ~ 38 ㎛이며, 빔의 폭(W)은 11 ~ 13 ㎛이며, 두께(t)는 0
3 3
제 2항에 있어서, 상기 주름깊이(d)가 0
4 4
제 2항에 있어서, 상기 주름폭(C)이 6 ㎛일 때의 주파수는 0
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.