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저온 비젖음 현상과 극미세 패턴을 갖는 템플렛을 이용한 표면증강라만분광측정용대면적금속나노섬형성 방법.

  • 기술번호 : KST2014047250
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 저온 비젖음 현상과 극미세 패턴을 갖는 템플렛을 이용한 표면 증강 라만 분광 측정용(Surface Enhanced Raman Spectroscopy) 대면적 금속 나노섬 형성 방법을 개시한다. 상기 표면 증강 라만 분광 측정용(Surface Enhanced Raman Spectroscopy) 극미세 패턴을 가지는 금속 나노 섬(Metal Nano Isalnds)의 형성 방법은 기판(10)을 제공하는 제1단계, 상기 기판(10) 상에 나노 레벨의 금속 박막(11)을 형성하는 제2단계, 상기 금속 박막(11) 상에 미세 나노 패턴이 형성된 고분자 주형(12)의 패턴 면을 접촉시킨 후, 열처리 공정을 수행하여 상기 금속 박막(11)에 비젖음성 현상을 유발시키는 제3단계 및 상기 고분자 주형(12)의 미세 패턴 형상으로 상기 금속 박막(11)의 금속 물질이 비젖음성되어 금속 나노 섬(Metal Nano islands)을 형성하는 제4단계를 포함한다.
Int. CL G01J 3/44 (2006.01) H01L 21/027 (2006.01)
CPC H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01) H01L 21/0274(2013.01)
출원번호/일자 1020110017305 (2011.02.25)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-1209701-0000 (2012.12.03)
공개번호/일자 10-2012-0097837 (2012.09.05) 문서열기
공고번호/일자 (20121210) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.02.25)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정기훈 대한민국 대전광역시 유성구
2 강민희 대한민국 부산광역시 영도구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이원희 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 성지하이츠빌딩*차 ***호 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2011.02.25 수리 (Accepted) 1-1-2011-0140217-12
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2011.11.22 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2011.12.16 수리 (Accepted) 9-1-2011-0098679-14
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.06.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0351186-69
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2012.08.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0664577-13
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2012.08.20 수리 (Accepted) 1-1-2012-0664576-78
7 등록결정서
Decision to grant		 2012.11.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0695929-54
8 [일부 청구항 포기]취하(포기)서
[Abandonment of Partial Claims] Request for Withdrawal (Abandonment)		 2012.12.03 수리 (Accepted) 2-1-2012-0581439-31
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
표면 증강 라만 분광 측정을 위하여 기판(10) 상에 금속 나노 섬을 형성하는 방법에 있어서, 기판(10)을 제공하는 제1단계;상기 기판(10) 상에 나노 레벨의 금속 박막(11)을 형성하는 제2단계; 상기 금속 박막(11) 상에 미세 나노 패턴이 형성된 고분자 주형(12)의 패턴 면을 접촉시킨 후, 열처리 공정을 수행하여 상기 금속 박막(11)에 비젖음성 현상을 유발시키는 제3단계; 및상기 고분자 주형(12)의 미세 패턴 형상으로 상기 금속 박막(11)의 금속 물질이 비젖음성되어 금속 나노 섬(Metal Nano islands)을 형성하는 제4단계를 포함하며,상기 제3단계는, 상기 금속 박막(11) 물질의 비젖음성 상태에 따른 낮은 온도의 열처리 공정을 이용하여 상기 금속 박막(11) 물질의 비젖음성을 유발시키는 단계이며, 상기 제4단계는, 상기 금속 박막(11)의 두께를 변경함으로써, 상기 금속 박막(11)의 미세 패턴과 표면 증강 라만 분광(Surface Enhanced Raman Scattering)의 세기를 조절시키는 것을 특징으로 하는 저온 비젖음 현상과 극미세 패턴을 갖는 템플렛을 이용한 표면 증강 라만 분광 측정용(Surface Enhanced Raman Spectroscopy) 대면적 금속 나노섬 형성 방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 제4단계는, 상기 고분자 주형(12)을 접촉시킨 후 저온 열처리 공정 조건을 가지는 것을 특징으로 하는 저온 비젖음 현상과 극미세 패턴을 갖는 템플렛을 이용한 표면 증강 라만 분광 측정용(Surface Enhanced Raman Spectroscopy) 대면적 금속 나노섬 형성 방법
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삭제
4 4
삭제
5 5
제1항에 있어서, 상기 제2단계는, 상기 기판(10) 상에 열증착 또는 전자 빔 증착 공정을 수행하여 열에 의해 비젖음성 성질을 갖는 금속 물질을 형성하는 단계인 것을 특징으로 하는 저온 비젖음 현상과 극미세 패턴을 갖는 템플렛을 이용한 표면 증강 라만 분광 측정용(Surface Enhanced Raman Spectroscopy) 대면적 금속 나노섬 형성 방법
6 6
삭제
7 7
청구항 7은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다
8 8
청구항 8은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다
9 9
청구항 9은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다
10 10
삭제
11 11
청구항 11은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국과학기술원 산업원천기술개발사업 주파수빗 기술 기반 Terahertz/NIR 복합 고속 분광 내시경 개발
2 교육과학기술부 한국과학기술원 중견연구자지원사업(도약연구) 자연 포토닉구조의 나노공학기반 영감기술