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기재 상에 형성되고, 단분자 화합물을 포함하는 유기 박막, 및상기 유기 박막 상에 형성되고, 산화물 및 질화물 중 어느 하나 이상을 포함하는 무기 박막;을 포함하는, 다층 봉지 박막
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제 1 항에 있어서,상기 단분자 화합물은 피리딘계 유기 단분자 화합물인, 다층 봉지 박막
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제 1 항에 있어서,상기 단분자 화합물은 하기 화학식 1 내지 화학식 4로 표시되는 화합물 중 어느 하나 이상인, 다층 봉지 박막
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제 1 항에 있어서,상기 무기 박막 및 상기 유기 박막은 서로 교차되어 복수층으로 적층된 것인, 다층 봉지 박막
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제 1 항에 있어서,상기 산화물 및 질화물 중 어느 하나는 알루미늄 산화물, 지르코늄 산화물, 아연 산화물, 실리콘 산화물, 실리콘 질화물, 실리콘 탄화물, 실리콘 질산화물, 실리콘 탄산화물, 및 이들의 조합들로 이루어진 군으로부터 선택되는 것을 포함하는 것인, 다층 봉지 박막
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제1항에 있어서, 상기 유기 박막의 양면 중 무기 박막이 형성되지 않은 일면에 고분자 박막이 추가로 형성된 것인, 다층 봉지 박막
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제6항에 있어서, 상기 고분자는 플라즈마 고분자, 아크릴 고분자, 및 이들의 조합들로 이루어진 군으로부터 선택되는 것을 포함하는 것인, 다층 봉지 박막
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제 1 항에 있어서,상기 무기 박막의 단층은 0
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제 1 항에 있어서,상기 유기 박막의 단층은 20 nm 내지 2 ㎛의 두께를 가지는 것인, 다층 봉지 박막
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제1항에 있어서, 상기 다층 봉지 박막은 유기 발광 다이오드 디스플레이, 유기 태양전지, 페로브스카이트 태양전지, 터치스크린 및 이차전지로 이루어지는 군에서 선택되는 1종 이상의 소자에 사용되는 것인, 다층 봉지 박막
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(a) 기재 상에 단분자 화합물을 포함하는 유기 박막을 형성하는 단계; 및(b) 상기 유기 박막 상에 산화물 및 질화물 중 어느 하나 이상을 포함하는 무기 박막을 형성하는 단계;를 포함하는 다층 봉지 박막의 제조방법
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제11항에 있어서, 상기 (a) 단계는 스핀 코팅, 바 코팅, 슬롯다이 코팅, 혹은 잉크젯 프린팅에 의해 수행되는 것인, 다층 봉지 박막의 제조방법
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제12항에 있어서, 상기 (a) 단계는 상기 단분자 화합물을 0
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제11항에 있어서, 상기 (b) 단계는 화학기상 증착법 또는 원자층 증착법에 의해 수행되는 것인, 다층 봉지 박막의 제조방법
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