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수직 형태 자기 이방성을 이용한 자기 소자 및 이를 포함하는 메모리 장치

  • 기술번호 : KST2021009440
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 자기 소자는, 압전층, 상기 압전층 상에 수직 방향으로 적층되고 수직 자기 형태 이방성(perpendicular shape magnetic anisotropy)을 갖는 자유층, 상기 자유층 상에 상기 수직 방향으로 적층되는 비자성층 및 상기 비자성층 상에 상기 수직 방향으로 적층되는 고정층을 포함한다. PSMA를 갖는 자유층을 이용함으로써 높은 열적 안정성을 가질 수 있고, 자기 소자의 수직 자화를 반전할 때 압전층에 스트레인 전압을 인가하여 자유층의 자화 용이축을 수평 방향으로 변환함으로써 스위칭 전류를 감소할 수 있다.
Int. CL H01L 43/08 (2006.01.01) H01L 41/08 (2006.01.01) H01L 43/02 (2006.01.01) H01L 43/10 (2006.01.01) H01L 27/22 (2006.01.01)
CPC H01L 43/08(2013.01) H01L 41/0805(2013.01) H01L 43/02(2013.01) H01L 43/10(2013.01) H01L 27/222(2013.01)
출원번호/일자 1020190178382 (2019.12.30)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2021-0085394 (2021.07.08) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2019.12.30)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 신민철 대전광역시 유성구
2 강두형 대전광역시 서구
3 노성철 인천광역시 부평구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박영우 대한민국 서울특별시 강남구 논현로 ***, *층 **세기특허법률사무소 (역삼동, 세일빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2019.12.30 수리 (Accepted) 1-1-2019-1357270-76
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2020.12.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0893648-95
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2021.02.17 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2021-0192605-22
6 등록결정서
Decision to grant
2021.06.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2021-0483716-86
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번호 청구항
1 1
압전층;상기 압전층 상에 수직 방향으로 적층되고 수직 자기 형태 이방성(perpendicular shape magnetic anisotropy)을 갖는 자유층;상기 자유층 상에 상기 수직 방향으로 적층되는 비자성층; 및상기 비자성층 상에 상기 수직 방향으로 적층되는 고정층을 포함하는 자기 소자
2 2
제1 항에 있어서,상기 자유층의 두께는 상기 자유층의 자화 방향이 상기 수직 방향일 때의 자기 에너지와 상기 자유층의 자화 방향이 상기 수직 방향과 수직한 수평 방향일 때의 자기 에너지가 동일한 경우에 상응하는 최소 두께 이상인 것을 특징으로 하는 자기 소자
3 3
제1 항에 있어서,상기 자유층은 상기 수직 방향에 수직한 상면 및 하면을 갖는 원통의 형태를 갖고,상기 자유층의 두께는 하기의 수학식에 의해 결정되는 최소 두께 이상인 것을 특징으로 하는 자기 소자
4 4
제1 항에 있어서,상기 자유층의 두께는 상기 자유층이 유니폼 스위칭하기 위한 최대 두께 이하인 것을 특징으로 하는 자기 소자
5 5
제1 항에 있어서,상기 압전층과 상기 자유층 사이에 형성되고, 탄탈럼 및 텅스텐 중 적어도 하나의 물질로 형성되는 접속층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 소자
6 6
제1 항에 있어서,스트레인 전압을 압전층에 인가하여 제1 수직 방향으로 자화된 자유층에 스트레인을 발생하고, 상기 스트레인에 의해 상기 자유층의 자화 용이축을 상기 제1 수직 방향에서 수평 방향으로 변환하는 것을 특징으로 하는 자기 소자
7 7
제6 항에 있어서, 상기 자유층의 자화 용이축을 상기 수평 방향으로 변환한 상태에서 상기 제1 수직 방향과 반대인 제2 수직 방향의 기입 전류를 상기 자유층에 인가하는 것을 특징으로 하는 자기 소자
8 8
복수의 행들과 복수의 열들의 매트릭스 형태로 배열되는 복수의 메모리 셀들을 포함하는 메모리 셀 어레이;제1 수평 방향으로 연장되어 형성되고 상기 메모리 셀들에 행 단위로 연결되는 복수의 워드라인들, 복수의 스트레인 라인들과 복수의 소스 라인들; 및상기 제1 수평 방향과 수직한 제2 수평 방향으로 연장되어 형성되고 상기 메모리 셀들에 열 단위로 연결되는 복수의 비트라인들을 포함하고,상기 메모리 셀들의 각각은, 상기 비트라인 및 상기 소스 라인 사이에 연결되는 자기 소자 및 셀 트랜지스터를 포함하고, 상기 워드라인이 상기 셀 트랜지스터의 게이트 전극에 연결되고,상기 자기 소자는, 각각의 상기 스트레인 라인에 연결되는 압전층; 상기 압전층 상에 수직 방향으로 적층되고 수직 자기 형태 이방성(perpendicular shape magnetic anisotropy)을 갖는 자유층; 상기 자유층 상에 상기 수직 방향으로 적층되는 비자성층; 및 상기 비자성층 상에 상기 수직 방향으로 적층되는 고정층을 포함하는 메모리 장치
9 9
제9 항에 있어서,상기 자유층의 두께는 상기 자유층의 자화 방향이 상기 수직 방향일 때의 자기 에너지와 상기 자유층의 자화 방향이 상기 수직 방향과 수직한 수평 방향일 때의 자기 에너지가 동일한 경우에 상응하는 최소 두께 이상인 것을 특징으로 하는 메모리 장치
10 10
제8 항에 있어서,상기 스트레인 라인을 통하여 스트레인 전압을 상기 압전층에 인가하여 제1 수직 방향으로 자화된 자유층에 스트레인을 발생하고, 상기 스트레인에 의해 상기 자유층의 자화 용이축을 상기 제1 수직 방향에서 수평 방향으로 변환하는 것을 특징으로 하는 메모리 장치
11 11
제10 항에 있어서, 상기 자유층의 자화 용이축을 상기 수평 방향으로 변환한 상태에서 상기 비트라인과 상기 소스라인을 통하여 상기 제1 수직 방향과 반대인 제2 수직 방향의 기입 전류를 상기 자유층에 인가하는 것을 특징으로 하는 메모리 장치
12 12
제8 항에 있어서, 동일한 행 어드레스에 기초하여 상기 복수의 워드라인들 중 하나의 워드라인 및 상기 복수의 스트레스 라인들 중 상기 하나의 워드라인과 동일한 행에 상응하는 하나의 스트레스 라인을 선택하는 것을 특징으로 하는 메모리 장치
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국과학기술원 산업기술혁신사업 STT-MRAM에서 자성층 특성 예측 기술개발