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반도체소자 실장재 및 제조방법

  • 기술번호 : KST2018015097
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 저가의 재료를 사용하면서도 저온, 저압 실장공정이 가능한 반도체소자 실장재 및 제조방법이 제안된다. 본 발명에 따른 반도체소자를 기판에 실장하기 위한 반도체소자 실장재는 금속막을 포함하는 제1층, 제1층의 적어도 일면에 형성되는, 금속입자, 금속산화물입자 및 표면에 금속산화물층을 포함하는 복합금속입자 중 적어도 하나의 입자를 포함하는 제2층을 포함한다.
Int. CL H01L 23/482 (2006.01.01) H01L 23/492 (2006.01.01) H01L 23/00 (2006.01.01)
CPC H01L 2224/29099(2013.01)
출원번호/일자 1020180116865 (2018.10.01)
출원인 전자부품연구원, 한국생산기술연구원, 서울과학기술대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0123452 (2018.11.16) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자 10-2016-0151794 (2016.11.15)
관련 출원번호 1020160151794
심사청구여부/일자 Y (2018.10.01)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자기술연구원 대한민국 경기도 성남시 분당구
2 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구
3 서울과학기술대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 노원구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 오철민 경기도 용인시 수지구
2 홍원식 경기도 용인시 수지구
3 윤정원 경기도 수원시 영통구
4 이종현 경기도 구리시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 남충우 대한민국 서울 강남구 언주로 ***, *층(역삼동, 광진빌딩)(알렉스국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자기술연구원 대한민국 경기도 성남시 분당구
2 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구
3 서울과학기술대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 노원구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application
2018.10.01 수리 (Accepted) 1-1-2018-0966626-86
2 보정요구서
Request for Amendment
2018.10.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2018-0157764-18
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2018.11.12 수리 (Accepted) 1-1-2018-1118871-77
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.12.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0833743-81
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2019.02.07 수리 (Accepted) 1-1-2019-0127371-72
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2019.02.28 수리 (Accepted) 1-1-2019-0213969-15
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2019.04.03 수리 (Accepted) 1-1-2019-0342541-70
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.05.07 수리 (Accepted) 1-1-2019-0464036-52
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.05.07 수리 (Accepted) 1-1-2019-0463635-12
10 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2019.09.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0702798-87
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.10.23 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-1081688-06
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.10.23 수리 (Accepted) 1-1-2019-1081678-49
13 등록결정서
Decision to grant
2020.03.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0192824-26
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.08.24 수리 (Accepted) 4-1-2020-5189497-57
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판; 및 상기 기판 상에 실장되는 소자;를 포함하고, 상기 소자는 상기 기판 상에 위치한, 금속막을 포함하는 제1층, 및 상기 제1층의 적어도 일면에 형성되는, 금속입자, 금속산화물입자 및 표면에 금속산화물층을 포함하는 복합금속입자 중 적어도 하나의 입자를 포함하는 제2층을 포함하는 반도체소자 실장재 상에 위치하여, 상기 반도체소자 실장재의 소결에 의해 상기 기판에 실장되고,제2층은 상기 소자와 접촉하며, 제2층은 상기 입자만으로 형성된 것을 특징으로 하는 반도체소자 패키지
2 2
청구항 1에 있어서, 상기 입자는, 일부분은 상기 제1층의 내부에 위치하고, 잔여부분은 상기 제1층의 외부에 위치하는 것을 특징으로 하는 반도체소자 패키지
3 3
청구항 1에 있어서, 상기 입자 중 어느 하나의 입자를 제1입자라 하고, 다른 하나의 입자를 제2입자라 하면, 상기 제1입자 및 상기 제2입자는 서로 이격되어 위치하는 것을 특징으로 하는 반도체소자 패키지
4 4
청구항 1에 있어서, 상기 금속산화물입자 및 상기 금속산화물층은 Cu, Ni, Ag, Ti, Al 및 Zn 중 어느 하나의 산화물을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체소자 패키지
5 5
기판 상에 금속막을 포함하는 제1층, 및 상기 제1층의 적어도 일면에 형성되는, 금속입자, 금속산화물입자 및 표면에 금속산화물층을 포함하는 복합금속입자 중 적어도 하나의 입자를 포함하는 제2층을 포함하는 반도체소자 실장재를 형성하는 반도체소자 실장재 형성단계;상기 반도체소자 실장재 상에 소자를 위치시키는 단계; 및상기 반도체소자 실장재를 소결시키는 단계;를 포함하는 소자실장방법으로서,제2층은 상기 소자와 접촉하며, 제2층은 상기 입자만으로 형성된 것을 특징으로 하는 소자실장방법
6 6
청구항 5에 있어서, 상기 제2층을 형성하는 단계는, 상기 금속입자, 금속산화물입자 및 표면에 금속산화물층을 포함하는 복합금속입자 중 적어도 하나의 입자의 일부분을 상기 제1층 내부로 임베딩하는 단계인 것을 특징으로 하는 소자실장방법
7 7
청구항 5에 있어서, 상기 제2층을 형성하는 단계는, 스프레이법 또는 롤링법을 이용하여, 상기 금속입자, 금속산화물입자 및 표면에 금속산화물층을 포함하는 복합금속입자 중 적어도 하나의 입자를 상기 제1층에 도포하는 단계인 것을 특징으로 하는 소자실장방법
8 8
삭제
9 9
청구항 5에 있어서, 반도체소자 실장재 형성단계는 금속막을 포함하는 제1층을 준비하는 단계; 및 상기 제1층의 일면에 금속입자, 금속산화물입자 및 표면에 금속산화물층을 포함하는 복합금속입자 중 적어도 하나의 입자를 도포하여 제2층을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 소자실장방법
10 10
청구항 5에 있어서, 상기 소결시키는 단계는, 상기 금속입자, 금속산화물입자 및 표면에 금속산화물층을 포함하는 복합금속입자 중 적어도 하나의 입자의 환원공정을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 소자실장방법
지정국 정보가 없습니다
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 KR1020180054174 KR 대한민국 FAMILY

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
DOCDB 패밀리 정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 엠케이전자(주) 소재부품기술개발 EV/HEV 파워모듈용 250°C 이하 소자 접합을 위한 고효율/고방열 Cu Sintering 접합소재개발