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웨이퍼를 제조하기 위한 공정을 수행하는 하나의 클린룸에 복수로 마련되는 배기압 조절 장치로서,내부에 유체가 이동되는 제1공간과, 상기 제1공간과 연결되며 일방향으로 직경이 커지도록 형성되는 제2공간을 포함하는 하우징유닛; 및상기 제1공간 및 제2공간을 이동하며 상기 유체의 유량을 조절하는 유량조절유닛을 포함하고,상기 유량조절유닛은 상기 하우징유닛 내부에서 이동 가능하게 구비되어 상기 하우징유닛 내부와 접촉 가능하게 구비되고, 길게 형성되어 상기 제1공간의 중심을 관통하는 이동부, 및 상기 이동부에 결합되며 상기 이동부의 길이방향을 따라 이동되는 개폐부를 포함하며,상기 개폐부는, 상기 이동부가 결합된 일측면에서 타측면으로 갈수록 직경이 작아지는 원뿔 형태로 마련됨으로써, 타단에 첨단부가 형성되어 유체와의 마찰과 와류발생을 최소화하는 것을 특징으로 하고,상기 제2공간은, 상기 개폐부의 외주 일면이 상기 제2공간의 내주 일면에 접하여 상기 제1공간 및 상기 제2공간의 유체의 흐름이 차단되도록 형성되는 것을 특징으로 하며,상기 이동부는, 액추에이터유닛, 상기 액추에이터유닛의 회전력을 직선 왕복운동으로 변환하는 변환유닛, 상기 변환유닛에 연결되어 일단에 상기 개폐부가 결합되는 결합유닛, 및 상기 결합유닛이 슬라이딩 되도록 고정하는 고정유닛을 포함하는 것을 특징으로 하되,상기 고정유닛은, 상기 결합유닛의 일단에 스토퍼를 구비함으로써, 상기 결합유닛의 직선왕복운동 범위를 제한하는 것을 특징으로 하는, 배기압 조절 장치
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