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초음파 세정장치 및 방법(METHOD AND APPARATUS OF MEGASONIC CLEANER)

  • 기술번호 : KST2018004738
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 피세정물에서 제1와이어 및 제2와이어와 접촉된 부분에도 세정액의 전달이 가능함으로써, 피세정물의 세정효율을 극대화할 수 있는 초음파 세정장치 및 방법에 관한 것이다.
Int. CL H01L 21/02 (2006.01.01) H01L 21/67 (2006.01.01) H01L 21/463 (2006.01.01)
CPC H01L 21/02052(2013.01) H01L 21/02052(2013.01) H01L 21/02052(2013.01) H01L 21/02052(2013.01)
출원번호/일자 1020160139122 (2016.10.25)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0045241 (2018.05.04) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.10.25)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이양래 대한민국 대전광역시 유성구
2 임의수 대한민국 대전광역시 유성구
3 김현세 대한민국 서울특별시 종로구
4 김상율 대한민국 경기도 안산시 상록구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 플러스 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2016.10.25 수리 (Accepted) 1-1-2016-1036538-18
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2017.11.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2017.12.08 수리 (Accepted) 9-1-2017-0040968-30
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2018.01.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0011124-82
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2018.03.05 수리 (Accepted) 1-1-2018-0217986-39
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2018.03.05 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0217979-19
8 등록결정서
Decision to grant		 2018.07.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0473975-11
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
피세정물의 상하면에 좌우방향으로 교번 배열되는 다수의 제1 와이어 및 제2 와이어;상기 제1와이어를 이송시키는 제1이송부재와, 제2와이어를 이송시키는 제2이송부재를 포함하는 이송수단;상기 이송수단의 운동 방향을 제어하는 제어부; 및피세정물에 세정액과 초음파를 인가하는 초음파 분사 노즐;을 포함하여 이루어지며,상기 제어부는 제2와이어가 피세정물에서 이격되고 상기 제1와이어가 피세정물을 접촉 이동시키는 제1작동모드와, 제1와이어가 피세정물에서 이격되고 제2와이어가 피세정물을 접촉 이동시키는 제2작동모드가 교번 작동되도록 하는 것을 특징으로 하는 초음파 세정 장치
2 2
삭제
3 3
제1항에 있어서, 상기 제1이송부재 및 제2이송부재는상기 제1와이어 및 제2와이어를 각각 상하방향에서 경사지게 이송시키는 것을 특징으로 하는 초음파 세정장치
4 4
제1항에 있어서, 상기 초음파 분사 노즐은피세정물에 세정액과 초음파를 상하방향으로 경사지게 공급하는 것을 특징으로 하는 초음파 세정장치
5 5
삭제
6 6
다수의 제1와이어 및 다수의 제2와이어를 피세정물의 상면 및 하면에 좌우방향으로 교번 배열하여 피세정물에 접촉하는 제1단계;초음파 분사 노즐이 피세정물의 상면 및 하면에 초음파와 세정액을 인가하는 제2단계; 및제어부가 상기 제1와이어의 피세정물에 대한 접촉이 허용 또는 해제되도록 상기 제1와이어를 이송시키는 제1이송부재와, 상기 제2와이어의 피세정물에 대한 접촉이 허용 또는 해제되도록 상기 제2와이어를 이송시키는 제2이송부재를 제어하되, 상기 제1와이어의 피세정물에 대한 접촉이 허용되면 상기 제2와이어의 피세정물에 대한 접촉을 해제하는 제1작동모드와 상기 제1와이어의 피세정물에 대한 접촉이 해제되면 상기 제2와이어의 피세정물에 대한 접촉을 허용하는 제2작동모드로 교번 작동되도록 제어하는 제3단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파 세정방법
7 7
제6항에 있어서, 상기 제3단계는상기 제1이송부재 및 제2이송부재가 상기 제1와이어 및 제2와이어를 각각 상하방향에서 경사지게 이송시키는 것을 특징으로 하는 초음파 세정방법
8 8
제6항에 있어서, 상기 제3단계는상기 초음파 분사 노즐이 초음파가 인가된 세정액을 피세정물에 상하방향에서 경사지게 공급하는 것을 특징으로 하는 초음파 세정방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.