| 1 |
1
반도체들이 복수 열의 수납칸들 각각에 수납된 트레이로부터, 한 열의 반도체들을 한번에 픽업하기 위한 반도체 픽업장치로서,진공원과 연결된 하부 개방형의 하우징과;상기 하우징의 개방된 하부를 덮도록 위치되며, 다수의 기공을 통한 진공 흡입에 의해 상기 한 열의 반도체들을 흡착하는 다공질 플레이트를;포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 픽업장치
|
| 2 |
2
청구항 1에 있어서, 상기 다공질 플레이트의 저면과 면하도록, 상기 하우징의 하부에 결합되는 흡착 프레임을 더 포함하며, 상기 흡착 프레임에는 상기 한 열의 반도체들에만 대면하는 복수의 개구부가 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 픽업장치
|
| 3 |
3
청구항 2에 있어서, 상기 트레이가 다른 규격의 트레이로 교체됨에 따라, 상기 흡착 프레임을 다른 규격의 흡착 프레임과 교체할 수 있도록, 상기 흡착 프레임은 상기 하우징의 하부에 분리가능하게 결합되는 것을 특징으로 하는 반도체 픽업장치
|
| 4 |
4
청구항 3에 있어서, 상기 하우징의 하단에는 길이 방향으로 한 쌍의 고정 가이드가 형성되고, 상기 흡착 프레임에는 상기 한 쌍의 고정 가이드를 따라 슬라이딩되는 한 쌍의 슬라이딩 가이드가 형성되어, 상기 흡착 프레임은 상기 하우징의 하단에 슬라이딩식으로 결합되는 것을 특징으로 하는 반도체 픽업장치
|
| 5 |
5
청구항 3에 있어서, 상기 교체되는 서로 다른 규격의 흡착 프레임은 개구부의 크기 또는 간격이 다른 것임을 특징으로 하는 반도체 픽업장치
|
| 6 |
6
청구항 1에 있어서, 상기 다공질 플레이트는 마이크로미터 단위를 갖는 다수의 기공을 포함하는 것임을 특징으로 하는 반도체 픽업장치
|
| 7 |
7
청구항 6에 있어서, 상기 다공질 플레이트는 다공질의 구리 또는 세라믹 플레이트인 것을 특징으로 하는 반도체 픽업장치
|
| 8 |
8
청구항 4에 있어서, 상기 고정 가이드와 상기 슬라이딩 가이드는 서로 슬라이딩 가능하게 끼워지는 "ㄴ"형 및 "ㄱ"형의 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 반도체 픽업장치
|
| 9 |
9
진공원과 연결된 하부 개방형의 하우징과, 상기 하우징의 개방된 하부를 덮도록 위치한 다공질 플레이트를 포함하는 반도체 픽업장치의 이용방법으로서,반도체들이 복수 열의 수납칸들에 수납된 트레이를 준비하는 단계와;상기 트레이의 한 열의 반도체들에 상기 다공질 플레이트를 근접시키는 단계와;진공원을 이용하여, 상기 다공질 플레이트의 다수의 기공을 통한 진공 흡입에 의해, 상기 한 열의 반도체들을 흡착하는 단계를;포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 픽업장치의 이용방법
|
| 10 |
10
청구항 9에 있어서, 상기 다공질 플레이트의 저면과 면하도록, 상기 하우징의 하부에 결합되는 흡착 프레임을 더 이용하되, 상기 흡착 프레임에는 상기 한 열의 반도체들에만 대면하는 복수의 개구부가 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 픽업장치의 이용방법
|
| 11 |
11
청구항 10에 있어서, 상기 트레이가 다른 규격의 트레이로 교체될 때, 상기 흡착 프레임을 상기 하우징으로부터 분리하여 다른 규격의 흡착 프레임으로 교체하는 것을 특징으로 하는 반도체 픽업장치의 이용방법
|
| 12 |
12
청구항 11에 있어서, 상기 흡착 프레임은 상기 하우징의 하단에 슬라이딩식으로 결합되는 것을 특징으로 하는 반도체 픽업장치의 이용방법
|
| 13 |
13
청구항 12에 있어서, 상기 하우징의 하단에는 길이 방향으로 한 쌍의 고정 가이드가 형성되고, 상기 흡착 프레임에는 상기 한 쌍의 고정 가이드를 따라 슬라이딩되는 한 쌍의 슬라이딩 가이드가 형성되어, 상기 흡착 프레임은 상기 하우징의 하단에 슬라이딩식으로 결합되는 것을 특징으로 하는 반도체 픽업장치의 이용방법
|
| 14 |
14
청구항 9에 있어서, 상기 한 열의 반도체들을 상기 다공질 플레이트로 흡착한 후, 상기 흡착된 반도체들을 반도체 검사장치로 이동하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 픽업장치의 이용방법
|
| 15 |
15
청구항 14에 있어서, 상기 흡착된 반도체들을 상기 반도체 검사장치로 이동한 후 진공을 제거하여 상기 반도체들을 상기 다공질 플레이트로부터 분리시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 픽업장치의 이용방법
|
| 16 |
16
반도체들이 복수 열의 수납칸들 각각에 수납된 트레이로부터, 한 열의 반도체들을 픽업하기 위한 반도체 픽업장치로서,진공원과 연결된 하부 개방형의 하우징과;상기 하우징의 하부에 결합되는 흡착 프레임을 포함하되,상기 흡착 프레임에는 상기 한 열의 반도체들에만 대면하는 복수의 개구부가 형성되고,상기 트레이가 다른 규격의 트레이로 교체됨에 따라, 상기 흡착 프레임을 다른 규격의 흡착 프레임과 교체할 수 있도록, 상기 흡착 프레임은 상기 하우징의 하부에 분리가능하게 결합되는 것을 특징으로 하는 반도체 픽업장치
|
| 17 |
17
청구항 16에 있어서, 상기 교체되는 서로 다른 규격의 흡착 프레임은, 개구부의 크기 또는 간격이 다른 것이며, 상기 하우징 하부에 슬라이딩식으로 분리 가능하게 결합되는 것을 특징으로 하는 반도체 픽업장치
|
