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크랙 함유 전도성 박막을 구비하는 고감도 센서 및 그의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015137484
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 크랙 함유 고감도 센서가 제공된다. 상기 고감도 센서는 지지체 상에 형성된 전도성 박막에 미세 크랙을 형성하여 얻어지며, 상기 미세 크랙이 형성하는 미세 접합구조에서 이들이 전기적으로 변화, 단락 또는 개방됨에 따라 저항값의 변화가 발생하여 외부 자극을 전기적 신호로 변환하게 된다. 이와 같은 고감도 센서는 변위센서, 압력센서, 진동센서, 인공 피부, 음성인식 시스템 등에 유용하게 사용할 수 있다.
Int. CL G01D 21/00 (2006.01.01) G01D 5/16 (2006.01.01) G01B 7/16 (2006.01.01) G01H 1/00 (2006.01.01) G01L 1/22 (2006.01.01) G01L 9/04 (2006.01.01)
CPC G01D 21/00(2013.01) G01D 21/00(2013.01) G01D 21/00(2013.01) G01D 21/00(2013.01) G01D 21/00(2013.01) G01D 21/00(2013.01) G01D 21/00(2013.01) G01D 21/00(2013.01)
출원번호/일자 1020140172484 (2014.12.03)
출원인 재단법인 멀티스케일 에너지시스템 연구단, 성균관대학교산학협력단, 서울대학교산학협력단
등록번호/일자 10-2104944-0000 (2020.04.21)
공개번호/일자 10-2015-0064707 (2015.06.11) 문서열기
공고번호/일자 (20200427) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020130149217   |   2013.12.03
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호 1020170102134;
심사청구여부/일자 Y (2014.12.03)
심사청구항수 12

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인 멀티스케일 에너지시스템 연구단 대한민국 서울특별시 관악구
2 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구
3 서울대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 관악구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 강대식 대한민국 서울특별시 관악구
2 최용환 대한민국 경기도 성남시 분당구
3 이찬석 대한민국 서울특별시 양천구
4 서갑양 대한민국 서울특별시 서초구
5 김태일 대한민국 경기도 평택시 평
6 최만수 대한민국 서울특별시 강남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김애라 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 *** (역삼동, 한신인터밸리**) 서관 ***호(테라아이피씨특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인 멀티스케일 에너지시스템 연구단 서울특별시 관악구
2 서울대학교산학협력단 서울특별시 관악구
3 성균관대학교산학협력단 경기도 수원시 장안구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2014.12.03 수리 (Accepted) 1-1-2014-1178629-81
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.03.17 수리 (Accepted) 4-1-2015-5033829-92
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.05.13 수리 (Accepted) 4-1-2015-5062924-01
4 [출원인변경]권리관계변경신고서
[Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status		 2015.09.07 수리 (Accepted) 1-1-2015-0869052-77
5 보정요구서
Request for Amendment		 2015.09.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2015-0144045-91
6 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2015.09.18 수리 (Accepted) 1-1-2015-0912838-45
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2016.10.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0781770-81
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2017.01.02 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0004207-27
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2017.01.02 수리 (Accepted) 1-1-2017-0004206-82
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.02.23 수리 (Accepted) 4-1-2017-5028829-43
11 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2017.05.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0321634-58
12 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)		 2017.06.12 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2017-0557455-58
13 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2017.06.12 수리 (Accepted) 1-1-2017-0557454-13
14 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2017.07.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0484187-73
15 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application		 2017.08.11 수리 (Accepted) 1-1-2017-0775672-17
16 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application		 2017.08.11 취하 (Withdrawal) 1-1-2017-0775636-73
17 심사관의견요청서
Request for Opinion of Examiner		 2017.10.24 수리 (Accepted) 7-8-2017-0025241-10
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.05.13 수리 (Accepted) 4-1-2019-5093546-10
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.05.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5101798-31
20 심사처리보류(연기)보고서
Report of Deferment (Postponement) of Processing of Examination		 2019.06.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2019-0058466-28
21 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.02 수리 (Accepted) 4-1-2019-5154561-59
22 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2019.08.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0559648-25
23 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2019.09.26 수리 (Accepted) 1-1-2019-0986434-19
24 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2019.10.24 수리 (Accepted) 1-1-2019-1088571-71
25 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2019.10.28 1-1-2019-1096693-75
26 면담 결과 기록서
 2019.11.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2019-0122146-69
27 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2019.12.02 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-1241564-52
28 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2019.12.02 수리 (Accepted) 1-1-2019-1241563-17
29 보정의취하간주안내문
 2019.12.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2019-0192331-52
30 등록결정서
Decision to grant		 2020.01.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0052608-21
31 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2020-5265458-48
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
베이스 폴리머 필름 및 그 위에 형성된 연질 폴리머층의 다중층 구조를 갖는 지지체; 및상기 지지체의 적어도 일면 상에 형성되며, 핵 성장에 의해 형성된 그레인 바운더리를 갖는 다결정성 금속의 결정성 박막인 전도성 박막;을 구비하며,상기 전도성 박막이, 서로 마주하면서 적어도 일부 면이 서로 접촉하고 있는 크랙면을 갖는 크랙을 포함하고,상기 크랙이 상기 전도성 박막의 그레인 바운더리를 따라 형성되어 있되, 상기 전도성 박막의 두께를 관통하는 깊이로 형성되어 있고, 변위, 진동, 스트레인 및 압력 중 어느 하나 이상의 외부 물리적 자극에 따라 상기 크랙면이 이동하거나 간격이 줄어들거나 벌어짐으로써 접촉면적이 변화하여 상기 전도성 박막의 전기적 저항값이 변화하게 되고 이 변화를 측정함으로써 외부 자극을 측정하는 고감도 센서
2 2
삭제
3 3
제1항에 있어서,상기 크랙이 나노 수준의 미세 크랙인 것을 특징으로 하는 고감도 센서
4 4
삭제
5 5
삭제
6 6
삭제
7 7
제1항에 있어서,상기 전도성 박막의 두께가 20 nm 내지 60 nm 인 것을 특징으로 하는 고감도 센서
8 8
제1항에 있어서,상기 전도성 박막이 백금, 니켈, 구리, 금, 은, 철, 크롬, 마그네슘, 아연, 주석, 알루미늄, 코발트, 망간, 텅스텐, 카드뮴, 팔라듐 및 탄소 중 1종 이상의 전도성 물질 또는 이들의 1종 이상 혼합물인 것을 특징으로 하는 고감도 센서
9 9
제1항에 있어서,상기 센서의 게이지 팩터가 1 내지 5X108인 것을 특징으로 하는 고감도 센서
10 10
제1항에 있어서,상기 센서의 압력 감도가 0
11 11
제1항에 따른 고감도 센서를 구비하는 압력센서
12 12
제1항에 따른 고감도 센서를 구비하는 스트레인 게이지
13 13
제1항에 따른 고감도 센서를 구비하는 진동센서
14 14
제1항에 따른 고감도 센서를 구비하는 인공피부
15 15
제1항에 따른 고감도 센서를 구비하는 음성인식 시스템
16 16
베이스 폴리머 필름 및 그 위에 형성된 연질 폴리머층의 다중층 구조를 갖는 지지체의 적어도 일면 상에 전도성 박막을 형성하는 단계; 및상기 전도성 박막에 크랙을 유도하는 단계;를 포함하며, 상기 전도성 박막은 핵 성장에 의해 형성된 그레인 바운더리를 갖는 다결정성 금속의 결정성 박막이고,상기 크랙은 상기 전도성 박막의 그레인 바운더리를 따라 형성되어 있되, 상기 전도성 박막의 두께를 관통하는 깊이로 형성되어 있고, 변위, 진동, 스트레인 및 압력 중 어느 하나 이상의 외부 물리적 자극에 따라 상기 크랙면이 이동하거나 간격이 줄어들거나 벌어짐으로써 접촉면적이 변화하여 상기 전도성 박막의 전기적 저항값이 변화하게 되고 이 변화를 측정함으로써 외부 자극을 측정하도록 하는 것인 제1항의 고감도 센서의 제조방법
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1 CN105612588 CN 중국 FAMILY
2 KR1020170117000 KR 대한민국 FAMILY
3 US09927311 US 미국 FAMILY
4 US20160123820 US 미국 FAMILY
5 WO2015083874 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY
6 WO2015084061 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 CN105612588 CN 중국 DOCDBFAMILY
2 KR20170117000 KR 대한민국 DOCDBFAMILY
3 US2016123820 US 미국 DOCDBFAMILY
4 US9927311 US 미국 DOCDBFAMILY
5 WO2015083874 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
6 WO2015084061 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 (재)멀티스케일에너지시스템연구단 글로벌프론티어사업 지능형 구조물의 병렬적 접합을 통한 3차원 멀티스케일 구조물 제작