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지지체; 및상기 지지체의 적어도 일면 상에 형성되는 전도성 박막;을 구비하며,상기 전도성 박막이, 서로 마주하면서 적어도 일부 면이 서로 접촉하고 있는 크랙면을 갖는 크랙을 포함하고, 외부 물리적 자극에 따라 상기 크랙면이 이동하면서 접촉면적이 변화하거나 단락 혹은 재접촉되면서 전기적 저항이 변화하게 되고 이 변화를 측정함으로써 외부 자극을 측정하는 고감도 센서
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제1항에 있어서,상기 크랙이 상기 전도성 박막의 그레인 바운더리를 따라 형성된 것을 특징으로 하는 고감도 센서
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제2항에 있어서,상기 크랙이 나노 수준의 미세 크랙인 것을 특징으로 하는 고감도 센서
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제1항에 있어서,외부자극에 의해 상기 크랙의 전기적 단락 또는 개방이 발생하여 상기 전도성 박막의 전기적 저항값이 변화되는 것을 특징으로 하는 고감도 센서
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제4항에 있어서,상기 외부자극이 변위, 진동, 스트레인 및 압력 중 어느 하나 이상인 것을 특징으로 하는 고감도 센서
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제1항에 있어서, 상기 지지체가 베이스 필름 및 그 위에 형성된 연질 폴리머층의 다중층 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 고감도 센서
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제1항에 있어서,상기 전도성 박막의 두께가 0
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제1항에 있어서,상기 전도성 박막이 백금, 니켈, 구리, 금, 은, 철, 크롬, 마그네슘, 아연, 주석, 알루미늄, 코발트, 망간, 텅스텐, 카드뮴, 팔라듐 및 탄소 중 1종 이상의 전도성 물질 또는 이들의 1종 이상 혼합물인 것을 특징으로 하는 고감도 센서
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제1항에 있어서,상기 센서의 게이지 팩터가 1 내지 5X108인 것을 특징으로 하는 고감도 센서
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제1항에 있어서,상기 센서의 압력 감도가 0
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제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 따른 고감도 센서를 구비하는 압력센서
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제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 따른 고감도 센서를 구비하는 스트레인 게이지
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제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 따른 고감도 센서를 구비하는 진동센서
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제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 따른 고감도 센서를 구비하는 인공피부
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제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 따른 고감도 센서를 구비하는 음성인식 시스템
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지지체의 적어도 일면 상에 전도성 박막을 형성하는 단계; 및상기 전도성 박막에 크랙을 유도하는 단계;를 포함하는 제1항의 고감도 센서의 제조방법
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