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1
전달되는 하중에 따라 형상이 변하는 복수의 필라를 포함하는 상부기판;
상기 상부기판을 지지하는 하부기판; 및
인접한 상기 필라들 사이의 상기 상부기판 상에 형성된 상부전극 및 상기 상부전극 위치에 대응되어 상기 하부기판 상에 형성된 하부전극을 포함하는 캐패시터
를 포함하는 정전용량형 로드 셀
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| 2 |
2
제 1 항에 있어서,
상기 상부전극은,
상기 상부기판과 상기 상부전극 사이에 개재된 절연막에 의해 상기 상부기판과 전기적으로 분리되는
정전용량형 로드 셀
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3
제 1 항에 있어서,
상기 상부기판은,
접지된
정전용량형 로드 셀
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4
제 1 항에 있어서,
상기 상부기판은,
평평한 상부 표면을 통해 부하를 전달받는
정전용량형 로드 셀
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5
제 4 항에 있어서,
상기 캐패시터는,
부하 전달시, 상기 필라의 압축 및 상기 상부기판의 휨 정도에 따라 정전용량이 변화되는
정전용량형 로드 셀
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6
제 1 항에 있어서,
상기 상부기판은,
일측이 소정 폭 절단되어 상기 하부기판의 패드부를 노출시키는
정전용량형 로드 셀
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7
제 1 항에 있어서,
상기 하부기판의 일측에 형성되는, 상기 캐패시터의 정전용량을 측정하기 위한 패드부
를 더 포함하는 정전용량형 로드 셀
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8
제 1 항에 있어서,
상기 필라는,
상기 상부기판의 필라 예정 영역 둘레를 소정 깊이 식각하여 형성된
정전용량형 로드 셀
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9
제 1 항에 있어서,
상기 하부기판은,
상기 상부기판 상에 형성된 상부전극의 위치에 대응되는 영역을 식각하여 형성된 홈부를 포함하고, 상기 홈부 내에 상기 하부전극이 형성된
정전용량형 로드 셀
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10
제 1 항에 있어서,
상기 캐패시터는,
상기 상부 기판에 가해지는 부하에 따른 필라의 변형이 큰 영역에 형성되는
정전용량형 로드 셀
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11
제 10 항에 있어서,
상기 캐패시터는,
상기 정전용량형 로드 셀의 중심부에 형성되는
정전용량형 로드 셀
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12
제 1 항에 있어서,
상기 상부기판은,
실리콘으로 이루어지고,
상기 하부기판은,
실리콘 또는 유리로 이루어지는
정전용량형 로드 셀
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13
제1기판 상에 절연막을 형성하는 단계;
필라 예정 영역 사이의 상기 절연막 상에 상부전극을 형성하는 단계;
상기 상부전극이 형성된 결과물의 전체 구조 상에 캐패시터용 유전막을 형성하는 단계;
상기 필라 예정 영역 둘레에 형성된 상기 캐패시터용 유전막, 절연막 및 제1기판을 제1깊이 식각하여 복수의 필라를 형성하는 단계;
제2기판의, 상기 제1기판에 형성된 상부전극의 위치에 대응되는 영역을 제2깊이 식각하여 홈부를 형성하는 단계;
상기 홈부 내에 하부전극을 형성하는 단계; 및
상기 제1기판및 제2기판을 접합하여 인접한 필라들 사이에 캐패시터를 형성하는 단계
를 포함하는 정전용량형 로드 셀 제조 방법
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14
제 13 항에 있어서,
상기 상부기판을 접지시키는 단계
를 더 포함하는 정전용량형 로드 셀 제조 방법
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15
제 13 항에 있어서,
상기 캐패시터는,
하중 전달시, 상기 필라의 압축 및 상기 제1기판의 휨 정도에 따라 정전용량이 변화되는
정전용량형 로드 셀 제조 방법
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16
제 13 항에 있어서,
상기 필라 형성 단계는,
상기 필라 예정 영역 둘레 식각시, 패드부의 경계 영역을 함께 식각하고,
상기 캐패시터 형성 단계 후에,
식각된 상기 경계 영역을 절단하여 상기 제2기판의 패드부를 노출시키는 단계
를 더 포함하는 정전용량형 로드 셀 제조 방법
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17
제 13 항에 있어서,
상기 제2깊이는 상기 제1깊이보다 작은 값을 갖는
정전용량형 로드 셀 제조 방법
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18
제 17 항에 있어서,
상기 제1깊이는,
100 내지 400μm이고,
상기 제2깊이는,
1 내지 3μm인
정전용량형 로드 셀 제조 방법
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19
전달되는 하중에 따라 형상이 변하는 복수의 필라를 포함하는 상부기판, 상기 상부기판을 지지하는 하부기판 및 상기 상부기판의 필라 사이의 상기 상부기판 상에 형성된 상부전극과 상기 상부전극 위치에 대응되어 상기 하부기판 상에 형성된 하부전극을 포함하는 캐패시터를 포함하는 로드 셀의 상기 상부기판에 하중을 가하는 단계;
상기 상부기판에 전달되는 하중에 따른, 상기 필라의 압축 및 상기 상부기판의 휨 정도에 따라 상기 캐패시터의 정전용량이 변하는 단계; 및
상기 캐패시터의 정전용량 변화를 리드하여 상기 상부기판에 가해진 하중을 산출하는 단계
를 포함하는 정전용량형 로드 셀을 이용한 부하 측정 방법
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20
제 19 항에 있어서,
상기 로드 셀은,
상기 상부기판과 상기 상부전극 사이에 개재된 절연막에 의해 상기 상부기판과 상기 상부전극이 전기적으로 분리된
정전용량형 로드셀을 이용한 부하 측정 방법
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21
제 20 항에 있어서,
상기 로드 셀은,
상기 상부기판이 접지된
정전용량형 로드 셀을 이용한 부하 측정 방법
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