비지에이(BGA) 패키지, 시에스피(CSP), 플립칩에 사용되는 솔더볼의 제조장치에 있어서,

분리대(39)가 설치된 상부챔버(38a)의 하측에 하부챔버(38b)가 설치되어 챔버(30)를 구성하고,

상기 분리대(39) 중앙부에는 높은 진폭의 진동으로 파쇄된 용융금속의 액적을 적하하고, 유입된 용융금속의 수위를 일정레벨로 유지하여 균일한 액적을 형성하는 액적형성장치(20)가 설치되고,

상기 액적형성장치(20)의 상측에는 투입되는 합금을 용융 혼합하여 상기 액적형성장치(20)에 공급하고 상기 액적형성장치(20)에 공급된 용융금속이 적정 레벨을 유지하도록 용융금속의 배출량을 조절하는 용융금속 공급장치(10)가 설치되고,

상기 액적형성장치(20)의 하측에는 상기 액적형성장치(20)로부터 적하되는 용융금속을 냉각오일로서 냉각하고, 적정한 온도구배의 유지와 오일의 대류현상을 방지하여 진구도가 높은 솔더볼을 형성하는 오일탱크(31)가 설치되고,

상기 오일탱크(31)의 하측에는 낙하되는 솔더볼을 급격히 냉각시키고 솔더볼의 샘플을 채취할 수 있는 샘플채취기(50)가 설치된 냉각부(40)가 설치되고,

상기 냉각부(40)의 하측에는 작업의 중단 없이 연속적으로 솔더볼과 냉각오일의 분리 포집이 가능한 포집부(60)가 설치되고,

상기 하부챔버(38a) 및 하부챔버(38b)의 일측에는 내부의 압력차를 동일하게 유지시키는 압력차유지장치(70)가 설치된 것을 특징으로 하는 오일 적하방식의 솔더볼 제조장치

제 1항에 있어서 상기 액적형성장치(20)는,

외주면에 히터(22)가 설치되며 통공(28a)이 형성된 격벽(28b)에 의해 제 1, 제 2 저장조(29a)(29b)로 구분되는 턴디쉬(21b)와,

상기 턴디쉬(21b) 상측에 설치되어 이를 커버하고 있는 요크(21a)와,

상기 제 1 저장조(29a) 내부에 설치되며 외주면에 히터(26a)가 설치되어 상기 용융금속 공급장치(10)로부터 배출되는 용융금속을 상기 제 1 저장조(29a)로 공급하는 용탕공급관(26)과,

상기 제 1 저장조(29a) 내부에 설치되며 상기 턴디쉬(21b) 내부에 공급된 용융금속의 상

제 1 항에 있어서 상기 용융금속 공급장치(10)는,

제 1 항에 있어서 상기 오일탱크(31)는,

상기 오일탱크(31)의 내주면에 소정간격을 두고 설치되어 구역에 따라 일정한 온도구배를 유지하기 위한 히터(32a)(32b)와,

상기 오일탱크(31)의 내주면에 소정간격을 두고 설치되어 냉각오일(36)의 온도 상승에 의한 대류현상을 방지하는 다수의 대류방지편(34a~43c)과,

상기 오일탱크(31)의 외측에 소정간격을 두고 설치되어 구역에 따라 일정한 온도구배를 유지하기 각각의 구간별로 온도를 센싱하는 써모카플러(33a~33c)로 이루어진 것을 특징으로 하는 오일 적하방식의 솔더볼 제조장치

제 1 항에 있어서 상기 포집부(60)는,

상부 일측에 걸름망(65)이 설치되어 진공펌프에 의해 솔더볼(37)과 냉각오일(36)을 분리시키는 오일/솔더볼 분리탱크(63)와,

상하 양측에 제 1 및 제 2 밸브(64)(62)가 설치되어 냉각부(40)를 통해 낙하되는 솔더볼(37)을 일시적으로 포집하는 보조 포집탱크(61)로 구성되며,

상기 제 1 및 제 2 밸브(64)(62)의 순차적인 개폐에 의해 작업의 중단없이 연속적으로 솔더볼의 포집이 가능하도록 된 것을 특징으로 하는 오일 적하방식의 솔더볼 제조장치

제 1 항에 있어서 상기 샘플채취기(50)는,

출몰이 가능한 샤프트(52)의 양측에 노브(51a)(51b)가 설치되고,

상기 샤프트(52)의 중앙부에 냉각오일(36)에 의해 냉각되어진 솔더볼(37)이 유입되는 요홈부(55)가 형성되며,

상기 샤프트(52)와 오일탱크(31) 사이에 부싱(53)과 오링(54)으로 밀폐되어 구성된 것을 특징으로 하는 오일 적하방식의 솔더볼 제조장치

제 1 항에 있어서 상기 용융금속 공급장치(10)는,

케이스(81) 내부에 솔더와이어(80)가 권선된 보빈(82)이 설치되고,