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목표 분류 입경의 제어가 가능한 입자 분류 방법, 이를 수행하기 위한 입자 분류 유닛, 그 제조방법 및 입자 분류 장치

  • 기술번호 : KST2015127657
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 유동장 내 입자 관성력의 차이 및 전기장에 의한 가속력의 차이를 이용하여 보다 미세한 입자 분류가 가능한 입자 분류 방법, 이를 수행하기 위한 입자 분류 유닛 및 입자 분류 시스템을 제공한다. 입자 분류 방법에 있어서, 제1축을 따라 전압을 걸어 전기장을 형성한다. 제1축을 따라 입자들을 포함한 유체를 유입시킨다. 제1축에 평행한 방향 및 제2축에 평행한 방향으로 입자들을 포함한 유체를 유출시켜 전기장에 의해 가해지는 입자들의 가속력의 차이에 따라 입자들을 입경별로 분류한다. 제2축에 평행한 방향들로 유출되는 유체의 유량이 제1축에 평행한 방향으로 유출되는 유체의 유량보다 크다. 이에 따르면 형성된 전기장의 크기에 따라 목표 분류 입경을 변화시킬 수 있으며, 나노미터 급의 미세입자를 분류할 수 있다.
Int. CL B82Y 40/00 (2011.01) B82Y 30/00 (2011.01) B07C 5/08 (2011.01)
CPC B07C 5/08(2013.01)
출원번호/일자 1020080007942 (2008.01.25)
출원인 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0948715-0000 (2010.03.12)
공개번호/일자 10-2009-0081837 (2009.07.29) 문서열기
공고번호/일자 (20100322) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.01.25)
심사청구항수 19

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김용준 대한민국 서울 용산구
2 김용호 대한민국 서울 광진구
3 박동호 대한민국 강원 평창군
4 황정호 대한민국 서울 용산구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인(유)화우 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로***길 **, *층 (대치동, 삼호빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 옴니센스 서울특별시 서대문구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2008.01.25 수리 (Accepted) 1-1-2008-0063586-11
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2008.01.31 수리 (Accepted) 1-1-2008-0080336-68
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2009.07.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2009.08.13 수리 (Accepted) 9-1-2009-0045725-48
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2009.10.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0437476-06
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2009.12.16 수리 (Accepted) 1-1-2009-0777710-24
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2009.12.16 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0777698-63
8 등록결정서
Decision to grant		 2010.01.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0024640-36
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5252006-10
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5062749-37
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.06.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5088566-87
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.09.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5114224-78
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
제1축을 따라 형성된 마이크로 채널에 전압을 걸어 전기장을 형성하는 단계; 유입부를 통해 상기 제1축을 따라 입자들을 포함한 유체를 유입시키는 단계; 및 상기 제1축에 평행한 방향 및 제2축에 평행한 방향으로 상기 입자들을 포함한 유체를 유출시켜 상기 전기장에 의해 가해지는 상기 입자들의 가속력의 차이에 따라 감광층 패턴으로 형성된 상기 마이크로 채널내에서 상기 입자들을 입경별로 분류하는 단계를 포함하며, 상기 제2축에 평행한 방향들로 유출되는 상기 유체의 유량이 상기 제1축에 평행한 방향으로 유출되는 상기 유체의 유량보다 큰 것을 특징으로 하는 입자 분류 방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 제2축에 평행한 방향들로 유출되는 상기 유체의 유량은 상기 제1축을 따라 유입된 유량의 80% 내지 99%인 것을 특징으로 하는 입자 분류 방법
3 3
제2항에 있어서, 상기 제1축과 상기 제2축은 수직한 것을 특징으로 하는 입자 분류 방법
4 4
삭제
5 5
제1항에 있어서, 상기 마이크로채널의 폭은 500μm 내지 1000μm인 것을 특징으로 하는 입자 분류 방법
6 6
제1항에 있어서, 상기 전압을 조절하여 상기 전기장의 크기를 조절하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 입자 분류 방법
7 7
기판; 상기 기판의 상부면에 형성된 제1 절연층; 상기 제1 절연층 상에 형성되며, 입자들을 포함한 유체를 통과시키기 위하여 제1축을 따라 연장된 마이크로채널, 상기 마이크로채널의 입구에 연결되어 상기 유체를 유입시키기 위한 유입부 및 상기 마이크로채널에 연통되며 상기 유체를 유출시키기 위한 유출부를 형성하는 감광층 패턴; 상기 제1 절연층 상에 형성되며, 상기 마이크로채널에 전기장을 형성하기 위한 전극들을 포함하는 것을 특징으로 하는 입자 분류 유닛
8 8
제7항에 있어서, 상기 전극들은 알루미늄(Al) 또는 구리(Cu)를 이루어진 것을 특징으로 하는 입자 분류 유닛
9 9
제7항에 있어서, 상기 마이크로채널의 폭은 500μm 내지 1000μm 인 것을 특징으로 하는 입자 분류 유닛
10 10
제7항에 있어서, 상기 제1 절연층은 산화막인 것을 특징으로 하는 입자 분류 유닛
11 11
제7항에 있어서, 상기 전극들의 상부에 제2 절연층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 입자 분류 유닛
12 12
제11항에 있어서, 상기 유출부는, 상기 마이크로채널의 측면들에 연통되는 제2 유출포트들 및 상기 마이크로채널의 출구에 연통되는 제1 유출포트를 포함하는 것을 특징으로 하는 입자 분류 유닛
13 13
제12항에 있어서, 상기 제2 유출포트들은 상기 제1축과 수직한 방향으로 연장되며, 상기 제1 유출포트는 상기 제1축과 평행한 방향으로 연장되는 것을 특징으로 하는 입자 분류 유닛
14 14
제1 절연층이 상부에 형성된 기판을 제공하는 단계; 상기 제1 절연층 상에 전극을 형성하는 단계; 상기 전극 상에 제2 절연층을 형성하는 단계; 상기 기판 상에 감광층을 형성하는 단계 및 상기 감광층을 사진 식각하여 감광층 패턴으로 형성된 마이크로 채널을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 입자 분류 유닛의 제조 방법
15 15
제14항에 있어서, 상기 입자 분류 유닛은 입자들을 통과시키기 위하여 제1 방향으로 연장된 마이크로채널, 상기 마이크로채널의 입구에 연결되어 상기 입자들을 유입시키기 위한 유입부, 상기 마이크로채널의 측면들에 연통되는 제2 유출포트들 및 상기 마이크로채널의 출구에 연통되는 제1 유출포트를 포함하는 것을 특징으로 하는 입자 분류 유닛의 제조 방법
16 16
제15항에 있어서, 상기 제2 유출포트들은 상기 제1 방향과 수직한 방향으로 연장되며, 상기 제1 유출포트는 상기 제1 방향과 동일한 방향으로 연장되는 것을 특징으로 하는 입자 분류 유닛의 제조 방법
17 17
기판, 상기 기판의 상부면에 형성된 제1 절연층, 상기 제1 절연층 상에 형성되며, 입자들을 포함하는 유체를 통과시키기 위하여 제1 방향으로 연장된 마이크로채널, 상기 마이크로채널의 입구에 연결되어 상기 유체를 유입시키기 위한 유입부 및 상기 마이크로채널에 연통되며 상기 유체를 유출시키는 유출부를 형성하는 감광층 패턴 및 상기 제1 절연층 상에 형성되며 상기 마이크로채널에 전기장을 형성하기 위한 전극들을 포함하는 입자 분류 유닛; 상기 전극들에 연결되며, 상기 전기장을 형성하기 위한 전원을 공급하는 전원 공급부; 상기 유입부에 연결되며, 상기 입자들이 포함된 유체를 공급하는 유체 공급부; 상기 유출부에 연결되며, 상기 유체에 포함된 입자를 포집하기 위한입자 포집부; 및 상기 입자 포집부에 연결된 입경 분석부를 포함하는 것을 특징으로 하는 입자 분류 장치
18 18
제17항에 있어서, 상기 유출부는, 상기 마이크로채널의 측면들에 연통되며 상기 제1 방향과 수직한 방향으로 연장되는 제2 유출포트들 및 상기 마이크로채널의 출구에 연통되며 상기 제1 방향과 동일한 방향으로 연장되는 제1 유출포트를 포함하는 것을 특징으로 하는 입자 분류 장치
19 19
제18항에 있어서, 상기 제2 유출포트들로 유출되는 상기 유체의 유량은 상기 유입부로 유입된 유량의 80% 내지 99%인 것을 특징으로 하는 입자 분류 장치
20 20
제19항에 있어서, 상기 전원 공급부는 상기 전기장의 크기를 조절하기 위한 전압 조절부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 입자 분류 장치
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1 정보통신연구진흥원 연세대학교 산학협력단 대학IT연구센터 육성지원사업 차세대 RFID/USN 기술개발