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(a) 무기염을 함유하는 제1층을 기판 상에 형성하는 단계; 및 (b) 상기 (a) 단계에서 얻은 코팅된 기판 상에 전자빔을 조사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전자빔 조사를 이용한 나노 물질의 코팅방법
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제 1항에 있어서, 관능기를 포함한 유기물을 함유하는 제2층을 기판 상에 형성하는 단계를 상기 (a) 단계의 전 또는 후에 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 전자빔 조사를 이용한 나노 물질의 코팅방법
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제 2항에 있어서, 상기 관능기를 포함한 유기물은 메르캅토기(-SH)를 함유하는 C1 내지 C20 의 알칸티올, 알칸티올 유도체, 디-티올 및 트리-티올 화합물로 구성된 그룹에서 선택되는 것을 특징으로 하는 전자빔 조사를 이용한 나노 물질의 코팅방법
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제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 무기염은 금속염 또는 둘 이상의 금속염 혼합물로 하되, 상기 금속은 금(Au), 은(Ag), 동(Cu), 백금(Pt), 아연(Zn), 니켈(Ni), 코발트(Co), 몰리브덴(Mo), 망간(Mn), 텅스텐(W), 칼슘(Ca), 게르마늄(Ge), 셀레늄(Se), 철(Fe), 알루미늄(Al), 타이타늄(Ti), 팔라듐(Pd), 인듐(In)으로 구성된 그룹에서 선택되는 것을 특징으로 하는 전자빔 조사를 이용한 나노 물질의 코팅방법
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제 4항에 있어서, 상기 은염 혹은 은염을 포함하는 은염 혼합물은 질산은(AgNO3), 과염소산은(AgClO4), 염소산은(AgClO3), 탄산은(AgNO3), 황산은(Ag2SO4)으로 구성된 그룹에서 선택되는 것을 특징으로 하는 전자빔 조사를 이용한 나노 물질의 코팅방법
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제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 기판은 유리, 실리콘웨이퍼 및 고분자물질로 구성된 그룹에서 선택되는 것을 특징으로 하는 전자빔 조사를 이용한 나노 물질의 코팅방법
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제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 제1층 또는 제2층을 기판 상에 형성하는 단계는 물 또는 유기용매에서 용해시킨 상기 무기염 또는 유기물을 기판 위에 코팅하는 것을 포함하는 전자빔 조사를 이용한 나노 물질의 코팅방법
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제 7항에 있어서, 상기 코팅하는 방법은 스핀코팅, 딥코팅, 스프레이코팅, 부러쉬나 롤러를 이용한 코팅방법으로 구성된 그룹에서 선택하는 것을 특징으로 하는 전자빔 조사를 이용한 나노 물질의 코팅방법
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제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 (b) 단계는 전자빔 에너지의 강도와 조사 시간을 달리하여 상기 제1층과 제2층의 이중 박막층에 직접 조사하는 것을 특징으로 하는 전자빔 조사를 이용한 나노 물질의 코팅방법
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제 9항에 있어서, 상기 전자빔 에너지의 강도는 0
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제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 제1층 또는 제2층은 기판 상에 수 내지 수백 나노미터 두께의 박막으로 형성되는 것을 특징으로 하는 전자빔 조사를 이용한 나노 물질의 코팅방법
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