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탐침 현미경의 탐침 표면에 흡착방지용 코팅막이 형성되는 단계;탐침의 끝 부분에 형성된 상기 흡착방지용 코팅막이 제거되는 단계;나노구조가 함유된 용액 또는 가스 내에서 상기 흡착방지용 코팅막이 제거된 탐침 끝 부분에 나노구조가 흡착되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는, 탐침 현미경의 탐침 끝 부분에 나노구조가 선택적으로 흡착되는 방법
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제1항에 있어서,상기 흡착방지용 코팅막 제거 단계의 다음에, 상기 흡착방지용 코팅막이 제거된 탐침 끝 부분에 링커 분자의 일 단이 흡착되는 단계; 나노구조가 함유된 용액 또는 가스 내에서 상기 링커 분자의 타 단에 나노구조가 흡착되는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 탐침 현미경의 탐침 끝 부분에 나노구조가 선택적으로 흡착되는 방법
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제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 흡착방지용 코팅막 형성 단계는, 탐침 표면에 하나 이상의 중간막이 형성되는 단계를 거친 후, 상기 중간막 위에 상기 흡착방지용 코팅막이 형성되는 것을 특징으로 하고,상기 흡착방지용 코팅막 제거 단계는, 탐침 끝부분에 형성된 상기 중간막 및 상기 흡착방지용 코팅막이 제거되는 것을 특징으로 하는,탐침 현미경의 탐침 끝 부분에 나노구조가 선택적으로 흡착되는 방법
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제3항에 있어서, 상기 중간막 및 상기 흡착방지용 코팅막의 제거는, 폴리싱에 의하는 것을 특징으로 하는,탐침 현미경의 탐침 끝 부분에 나노구조가 선택적으로 흡착되는 방법
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제4항에 있어서,탐침 끝 부분 또는 상기 링커분자의 타 단에 선택적으로 흡착되는 상기 나노구조는, 도체 나노입자, 형광성 나노입자, 자성 나노입자, 탄소나노튜브, SAM, DNA, RNA, 프로테인, 항원, 항체 및 Cell 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는,탐침 현미경의 탐침 끝 부분에 나노구조가 선택적으로 흡착되는 방법
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제5항에 있어서,상기 도체 나노입자는, Au, Ag, Ti, Cr, Pt, ZnO, Tin Oxide, Pb, CeO2, SiO2 중 어느 하나 인 것을 특징으로 하는,탐침 현미경의 탐침 끝 부분에 나노구조가 선택적으로 흡착되는 방법
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제5항에 있어서,상기 형광성 나노입자는, CdSe, CdS, ZnS, GaN, GaAs, PbSe, InAs, CdTe 및 PbS 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는,탐침 현미경의 탐침 끝 부분에 나노구조가 선택적으로 흡착되는 방법
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제5항에 있어서,상기 자성 나노입자는, Fe3O4, CoPt, Ni/NiO, FeAl, FePt, Co 및 CoO 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는, 탐침 현미경의 탐침 끝 부분에 나노구조가 선택적으로 흡착되는 방법
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제5항에 있어서, 탐침 표면에 중간막으로서, Ti막과 Au막이 순차적으로 형성되며, 중간막의 두께가 10 ~ 30 nm인, 중간막 형성단계; 1-옥타데칸싸이올을 아세토니트릴을 녹인 용액에, 상기 탐침을 30초간 넣어두어 상기 Au막 위에 옥타데칸싸이올 분자막을 형성시키는, 흡착방지용 코팅막 형성 단계; 상기 탐침으로 실리콘 웨이퍼 표면을 4nN의 힘으로 스캔하는, 흡착방지용 코팅막 제거 단계; 아미노프로필트리에톡시실란을 에탄올에 녹인 용액에, 상기 탐침을 10분간 넣어두어 탐침 끝 부분에 아미노프로필트리에톡시실란의 일 단이 탐침 끝 부분에 흡착되는, 링커분자 흡착 단계; 상기 탐침을 Au 나노용액에 1시간 동안 넣어두어, 아미노프로필트리에톡시실란의 타 단에 지름 50nm의 Au 나노입자가 흡착되는, 나노구조 흡착 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는, 탐침 현미경의 탐침 끝 부분에 나노구조가 선택적으로 흡착되는 방법
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탐침이 장착되는 탐침 현미경으로서, 탐침 끝 부분을 제외한 탐침 표면에 형성된 흡착방지용 코팅막과; 탐침 끝부분에 선택적으로 흡착되는 나노구조를 구비한 탐침을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 탐침 현미경
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제10항에 있어서, 탐침 끝 부분에 일 단이 흡착되고, 나노구조에 타 단이 흡착되는 링커분자를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 탐침 현미경
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제10항 또는 제11항에 있어서, 탐침 표면과 상기 흡착방지용 코팅막 사이에 하나 이상의 중간막이 형성되는 것을 특징으로 하는 탐침 현미경
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제11항에 있어서,탐침 끝 부분 또는 상기 링커분자의 타 단에 선택적으로 흡착되는 상기 나노구조는, 도체 나노입자, 형광성 나노입자, 자성 나노입자, 탄소나노튜브, SAM, DNA, RNA, 프로테인, 항원, 항체 및 Cell 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 탐침 현미경
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제13항에 있어서,상기 도체 나노입자는, Au, Ag, Ti, Cr, Pt, ZnO, Tin Oxide, Pb, CeO2 및 SiO2 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 탐침 현미경
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제13항에 있어서,상기 형광성 나노입자는, CdSe, CdS, ZnS, GaN, GaAs, PbSe, InAs, CdTe 및 PbS 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 탐침 현미경
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제13항에 있어서,상기 자성 나노입자는, Fe3O4, CoPt, Ni/NiO, FeAl, FePt, Co 및 CoO 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 탐침 현미경
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