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고주파 (RF) 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 다성분 산화물로 된 타겟을 스퍼터링하여 기판 위에 다성분 산화물 박막을 형성시킨 다음 후열처리하여 다성분 산화물 강유전체 박막을 제조하는 방법에 있어서, 스퍼터링이 일어나는 진공 챔버 내의 압력을 200 내지 300 밀리토르(mTorr)로 유지하여 스퍼터링 중 박막의 휘발 성분의 손실을 감소시키는 것을 특징으로 하는 다성분 산화물 강유전체 박막의 제조 방법
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제1항에 있어서, 진공 챔버 내의 압력을 300 mTorr로 유지하는 것을 특징으로 하는 방법
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고주파 (RF) 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 다성분 산화물로 된 타겟을 스퍼터링하여 기판 위에 다성분 산화물 박막을 형성시킨 다음 후열처리하여 다성분 산화물 강유전체 박막을 제조하는 방법에 있어서, 스퍼터링시 타겟과 기판과의 거리를 3 내지 5 cm로 하고 기판을 타겟 중심선에서 벗어나게 위치시키는 것을 특징으로 하는 다성분 산화물 강유전체 박막의 제조 방법
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고주파 (RF) 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 다성분 산화물로 된 타겟을 스퍼터링하여 기판 위에 다성분 산화물 박막을 형성시킨 다음 후열처리하여 다성분 산화물 강유전체 박막을 제조하는 방법에 있어서, 스퍼터링시 타겟면에 대한 기판면의 각도를 30°내지 60°로 하는 것을 특징으로 하는 다성분 산화물 강유전체 박막의 제조 방법
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제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 강유전체 박막이 층상 페로브스카이트 구조를 갖는 비스무트계 다성분 산화물로 되는 것을 특징으로 하는 방법
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제5항에 있어서, 강유전체 박막이 스트론튬-비스무트-탄탈륨 산화물 (SrBi2Ta2O9)로 되는 것을 특징으로 하는 방법
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제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 휘발 성분이 비스무트, 바륨, 스트론튬 및 납 중에서 선택되는 1 종 이상의 원소인 것을 특징으로 하는 방법
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