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바이오 필터, 시료측정장치 및 바이오 필터 제작방법

  • 기술번호 : KST2014047460
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 바이오 필터, 시료측정장치 및 바이오 필터 제작방법이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 바이오 필터는 실리콘 샘플의 양극반응을 통해 형성되는 다공질층을 이용하여 필터의 기공도 및 내구성을 향상시킬 수 있다. 이때 110 방향의 실리콘 샘플의 채널링 효과를 이용한 양극반응을 통해 다공질층이 형성됨에 따라 기공도를 향상시킬 수 있다.MEMS, 필터, 양극반응, 채널링 효과, 실리콘, 다공질, 기공도
Int. CL B01D 35/00 (2006.01) G01N 33/483 (2006.01) B01D 17/00 (2006.01) G01N 33/49 (2006.01)
CPC G01N 33/49(2013.01) G01N 33/49(2013.01) G01N 33/49(2013.01) G01N 33/49(2013.01)
출원번호/일자 1020090041299 (2009.05.12)
출원인 경북대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1124682-0000 (2012.02.29)
공개번호/일자 10-2010-0122318 (2010.11.22) 문서열기
공고번호/일자 (20120319) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.05.12)
심사청구항수 19

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 경북대학교 산학협력단 대한민국 대구광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이종현 대한민국 대구광역시 남구
2 은덕수 대한민국 대구광역시 수성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박진석 대한민국 서울 서초구 청계산로 ***(신원동) 내곡드림시티* *층 ***호(리앤윤특허법률사무소)
2 유경열 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로*길 **, *층 ***호실(역삼동, 청원빌딩)(특허법인 신지)
3 천성훈 대한민국 서울특별시 서초구 마방로*길 **-**, *층(양재동, 서흥빌딩)(청신국제특허법률사무소)
4 특허법인 신지 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로*길 **, *층 ***호실(역삼동, 청원빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 경북대학교 산학협력단 대구광역시 북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.05.12 수리 (Accepted) 1-1-2009-0284172-30
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2010.12.22 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2011.01.14 수리 (Accepted) 9-1-2011-0002090-61
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.04.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0203570-72
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.05.27 수리 (Accepted) 1-1-2011-0400335-23
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.05.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0400333-32
7 등록결정서
Decision to grant		 2011.11.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0705178-17
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.03.26 수리 (Accepted) 4-1-2018-5051994-32
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.23 수리 (Accepted) 4-1-2020-5136893-04
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번호 청구항
1 1
110 방향의 실리콘 샘플의 채널링 효과를 이용한 양극반응을 통해 다공질층이 형성되는 단계;상기 다공질층의 미세공 및 양극산화막이 제거되는 단계;상기 미세공 및 양극산화막이 제거된 샘플에 산화막이 형성되는 단계;상기 산화막이 형성된 샘플의 후면에 패턴이 형성되고 식각되어 바이오 필터가 형성되는 단계; 및상기 바이오 필터를 지지하기 위해 PDMS를 포함하는 지지부가 상기 바이오 필터와 접합되는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 시료측정장치 제조방법
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 다공질층이 형성되는 단계는,상기 채널링 효과를 이용하여 기공도가 향상된 다공질층이 형성되는 것을 특징으로 하는 시료측정장치 제조방법
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 샘플은 p형 실리콘인 것을 특징으로 하는 시료측정장치 제조방법
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 다공질층이 형성되는 단계는,상기 샘플이 에칭액에 함침되는 단계;상기 합침된 샘플에 전압이 인가되어 상기 양극반응이 발생하는 단계; 및상기 양극반응에 의해 기공 위치 부분이 전장 방향으로 용해됨에 따라 수직으로 성장하는 복수의 기공으로 이루어진 다공질층이 형성되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 시료측정장치 제조방법
5 5
제 4 항에 있어서, 상기 양극반응 발생시에 인가 전압, 인가 전류, 환경 온도, 상기 에칭액의 농도, 상기 샘플의 종류 및 상태 중 적어도 하나가 통제되는 것을 특징으로 하는 시료측정장치 제조방법
6 6
제 4 항에 있어서, 상기 다공질층이 형성되는 단계에서의 복수의 기공의 크기는 상기 에칭액의 농도, 함침시간 및 상기 전압의 세기 중 적어도 어느 하나에 의해서 조절되는 것을 특징으로 하는 시료측정장치 제조방법
7 7
제 6 항에 있어서, 상기 수직 기공의 폭이 2~4㎛로, 상기 수직 기공의 최대 형성 깊이가 40㎛로 각각 제한되는 것을 특징으로 하는 시료측정장치 제조방법
8 8
제 6 항에 있어서, 상기 에칭액은 채널링 효과가 발생하는 10~20% 저농도 불산(HF) 용액인 것을 특징으로 하는 시료측정장치 제조방법
9 9
제 4 항에 있어서, 상기 양극반응이 발생하는 단계는,상기 샘플 표면에 산화막이 증착되고 제거된 후에 상기 양극반응이 발생하는 것을 특징으로 하는 시료측정장치 제조방법
10 10
제 1 항에 있어서, 상기 미세공 및 상기 양극산화막이 제거되는 단계는,수산화나트륨(NaOH)을 이용해 상기 미세공이 제거되고, 불산(HF)을 이용해 상기 양극산화막이 제거되는 것을 특징으로 하는 시료측정장치 제조방법
11 11
제 1 항에 있어서, 상기 산화막이 형성되는 단계에서 온도 및 산소 주입시간이 조절되어 단계적으로 상기 산화막이 성장되는 것을 특징으로 하는 시료측정장치 제조방법
12 12
제 1 항에 있어서, 상기 패턴이 형성되고 식각되는 단계는,반응성 이온 식각법(RIE)을 이용하여 상기 샘플의 뒷면이 식각되는 것을 특징으로 하는 시료측정장치 제조방법
13 13
제 1 항에 있어서, 상기 바이오 필터를 지지하기 위해 PDMS를 포함하는 지지부가 상기 바이오 필터와 접합되는 단계는,상기 바이오 필터 및 상기 지지부가 글루본딩 기법을 이용하여 접합되는 것을 특징으로 하는 시료측정장치 제조방법
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삭제
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삭제
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110 방향의 실리콘 샘플의 채널링 효과를 이용한 양극반응을 통해 형성된 다공질층을 포함하는 바이오 필터; 및상기 바이오 필터를 지지하고 PDMS를 포함하는 지지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 시료측정장치
17 17
제 16 항에 있어서,상기 바이오 필터 및 상기 지지부는 글루본딩 기법을 이용하여 접합되는 것을 특징으로 하는 시료측정장치
18 18
제 16 항에 있어서,상기 시료측정장치는 랩온어칩에 탑재 가능한 것을 특징으로 하는 시료측정장치
19 19
제 16 항에 있어서, 상기 바이오 필터는,상기 채널링 효과를 이용한 양극반응을 통해 상기 110 방향의 실리콘 샘플의 전면에 형성되고 미세공 및 양극산화막이 제거된 다공질층;상기 샘플의 주변에 형성된 산화막; 및상기 산화막이 형성된 샘플의 후면에 위치하여 패턴이 형성되고 식각된 멤브레인을 포함하는 것을 특징으로 하는 시료측정장치
20 20
제 19 항에 있어서, 상기 다공질층은,상기 채널링 효과를 이용하여 기공도가 향상된 복수의 기공을 포함하는 층인 것을 특징으로 하는 시료측정장치
21 21
제 19 항에 있어서,상기 바이오 필터는 혈액을 여과하는 필터로 이용되는 것을 특징으로 하는 시료측정장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.