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위상 이동용 구동유닛의 이송오차 보상방법

  • 기술번호 : KST2015162061
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 카메라에 의해 획득된 각 스텝별 간섭무늬 영상만을 이용하여 매우 신속하고 정확하게 상기 간섭무늬의 위상을 이동시키기 위한 것으로서, 구동유닛의 이송 오차를 산출하여 보상할 수 있는 위상 이동용 구동유닛의 이송오차 보상방법이 개시된다. 위상 이동용 구동유닛의 이송오차 보상방법은 구동유닛을 작동시키기 위한 기준 입력 값을 제어부를 통해 구동유닛에 입력하고, 기준 입력 값에 의해 구동유닛이 작동되어 간섭무늬를 일정간격으로 스텝별로 이동시킴과 동시에 카메라를 통해 각 스텝별 간섭무늬의 영상을 획득하고, 각 스텝별 간섭무늬 영상의 밝기 차이를 이용하여 제어부에 의해 간섭무늬의 이송 오차의 유무를 판별한 후, 제어부에 의해 상기 간섭무늬의 이송 오차가 발생되었다고 판단된 경우, 기준 입력 값의 보상 값을 산출한다.
Int. CL G01B 11/24 (2006.01.01) G01B 9/02 (2006.01.01) G01M 11/02 (2019.01.01) G01N 21/45 (2006.01.01) G02B 27/60 (2006.01.01)
CPC G01B 11/24(2013.01) G01B 11/24(2013.01) G01B 11/24(2013.01) G01B 11/24(2013.01) G01B 11/24(2013.01)
출원번호/일자 1020120082703 (2012.07.27)
출원인 주식회사 고영테크놀러지, 경북대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1337880-0000 (2013.12.02)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20131206) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.07.27)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 고영테크놀러지 대한민국 서울특별시 금천구
2 경북대학교 산학협력단 대한민국 대구광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 홍덕화 대한민국 경기 광명시 디지털로 **, **
2 김민영 대한민국 대구 수성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인청맥 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길 **, *층(역삼동, MK빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 고영테크놀러지 서울특별시 금천구
2 경북대학교 산학협력단 대구광역시 북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2012.07.27 수리 (Accepted) 1-1-2012-0604577-28
2 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2012.12.07 불수리 (Non-acceptance) 1-1-2012-1015919-14
3 서류반려이유통지서
Notice of Reason for Return of Document		 2012.12.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2012-0147212-20
4 서류반려통지서
Notice for Return of Document		 2013.01.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2013-0005701-94
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2013.08.23 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2013.10.10 수리 (Accepted) 9-1-2013-0082809-14
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.10.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-5143163-15
8 등록결정서
Decision to grant		 2013.11.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0830051-07
9 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2014.09.23 수리 (Accepted) 1-1-2014-0900543-11
10 [출원인변경]권리관계변경신고서
[Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status		 2014.09.23 불수리 (Non-acceptance) 1-1-2014-0899620-14
11 서류반려이유통지서
Notice of Reason for Return of Document		 2014.10.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2014-0171812-92
12 서류반려통지서
Notice for Return of Document		 2014.10.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2014-0175418-09
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.03.26 수리 (Accepted) 4-1-2018-5051994-32
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.08.30 수리 (Accepted) 4-1-2018-5176338-54
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.11 수리 (Accepted) 4-1-2020-5129868-08
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.23 수리 (Accepted) 4-1-2020-5136893-04
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
3차원 형상 측정에서의 간섭무늬의 위상을 이동시키기 위한 구동유닛의 이송오차 보상방법에 있어서,상기 구동유닛을 작동시키기 위한 기준 입력 값을 제어부를 통해 상기 구동유닛에 입력하는 단계;상기 기준 입력 값에 의해 상기 구동유닛이 작동되어 간섭무늬를 일정간격으로 스텝별로 이동시킴과 동시에 카메라를 통해 각 스텝별 간섭무늬의 영상을 획득하는 단계;상기 각 스텝별 간섭무늬 영상의 밝기 차이를 이용하여 상기 제어부에 의해 상기 간섭무늬의 이송 오차의 유무를 판별하는 단계; 및상기 간섭무늬의 이송 오차가 발생된 경우, 기준 입력 값의 보상 값을 산출하는 단계를 포함하는 위상 이동용 구동유닛의 이송오차 보상방법
2 2
제 1 항에 있어서,상기 각 스텝별 간섭무늬 영상의 밝기 차이는,서로 이웃하는 스텝별 간섭무늬 영상의 픽셀별 휘도차의 절대 값에 대한 m차승에 상기 카메라의 FOV내 적분값을 계산하여 산출하는 것을 특징으로 하는 위상 이동용 구동유닛의 이송오차 보상방법
3 3
제 1 항에 있어서,상기 간섭무늬의 이송 오차의 유무를 판별하는 단계는,각 스텝별 간섭무늬 영상의 밝기 차이의 비율 값들을 산출하는 단계;상기 각 스텝별 간섭무늬 영상의 밝기 차이의 비율 값들을 비교하여 오차가 있는 비율 값의 존재 여부를 판별하는 단계; 및상기 오차가 있는 비율 값이 있다고 판단되면 상기 오차가 있는 비율 값이 산출된 스텝의 위치를 검출하는 단계를 포함하는 위상 이동용 구동유닛의 이송오차 보상방법
4 4
제 1 항에 있어서,상기 기준 입력 값의 보상 값을 산출하는 단계는,상기 간섭무늬 영상의 밝기 차이를 이용하여 상기 간섭무늬의 이송오차가 발생된 스텝부터 최종 스텝까지 상기 간섭무늬를 스텝별로 이동시키기 위한 상기 구동유닛의 기준 입력 값의 보상 값들을 검출하는 단계를 포함하는 위상 이동용 구동유닛의 이송오차 보상방법
5 5
제 4 항에 있어서,상기 기준 입력 값의 보상 값들을 검출하는 단계는,비선형 형태의 각 스텝별 상기 구동유닛의 기준 입력 값에 대한 상기 간섭무늬의 이송량을 선형으로 근사화시키는 단계;선형화된 상기 구동유닛의 기준 입력 값에 대한 상기 간섭무늬의 이송량을 이용하여 간섭무늬의 이송오차가 발생된 스텝의 기준 입력 값에 대한 예비 보상 값을 산출하는 단계;간섭무늬의 이송오차가 발생된 스텝의 기준 입력 값에 대한 예비 보상 값과 선형화된 상기 구동유닛의 기준 입력 값에 대한 상기 간섭무늬의 이송량을 이용하여 상기 간섭무늬의 이송오차가 발생된 이후의 스텝부터 최종 스텝까지의 기준 입력 값에 대한 예비 보상 값들을 산출하는 단계;상기 기준 입력 값에 각 스텝별로 예비 보상 값들을 적용하여 상기 구동유닛에 입력하는 단계;상기 구동유닛에 의해 상기 간섭무늬가 각 스텝별로 1/N피치씩 정확히 이동하는지 여부를 판단하는 단계; 및상기 간섭무늬가 각 스텝별로 1/N피치씩 정확히 이동되었다고 판단되면 상기 간섭무늬를 각 스텝별로 1/N피치씩 정확히 이동시킨 상기 구동유닛에 입력된 예비 보상 값들을 상기 제어부에 의해 검출하여 상기 기준 입력 값의 보상 값들로 결정하는 단계를 포함하는 위상 이동용 구동유닛의 이송오차 보상방법
6 6
제 5 항에 있어서,상기 간섭무늬의 이송오차가 발생된 스텝의 기준 입력 값에 대한 예비 보상 값을 산출하는 단계는,상기 간섭무늬의 이송오차가 발생된 스텝의 상기 간섭무늬의 이송 오차 값을 추정하는 단계; 및상기 추정된 간섭무늬의 이송 오차 값과 상기 선형으로 근사화된 상기 구동유닛의 기준 입력 값에 대한 상기 간섭무늬의 이송량을 이용하여 상기 이송오차가 발생된 스텝의 간섭무늬에 대한 기준 입력 값의 보상 값을 산출하는 단계를 포함하는 위상 이동용 구동유닛의 이송오차 보상방법
7 7
제 6 항에 있어서,상기 간섭무늬의 이송 오차 값은, 상기 제어부에 의해 상기 간섭무늬의 이송오차가 발생된 스텝의 간섭무늬 영상의 밝기 차이 비율 값의 오차를 산출하여 추정하는 것을 특징으로 하는 위상 이동용 구동유닛의 이송오차 보상방법
8 8
제 1 항에 있어서,상기 간섭무늬를 이동시키는 구동유닛은,피에조 액추에이터인 것을 특징으로 하는 위상 이동용 구동유닛의 이송오차 보상방법
9 9
제 1 항에 있어서,상기 기준 입력 값은,상기 구동유닛을 구동시키는 전압(V) 값인 것을 특징으로 하는 위상 이동용 구동유닛의 이송오차 보상방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.